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- [发明专利]一种声表面波滤波器-CN202311163571.2在审
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黄磊;邹洁;唐供宾
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深圳新声半导体有限公司
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2023-09-11
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2023-10-20
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H03H9/02
- 本申请实施例公开了一种声表面波滤波器，包括至少一个声表面波谐振器，声表面波谐振器除包括叉指换能器外，还包括分布式电极，分布式电极包括沿第一方向排布的第一分布式电极和第二分布式电极，第一分布式电极包括沿第二方向排布的多个第一块状电极，第二分布式电极包括沿第二方向排布的多个第二块状电极，第一块状电极与叉指电极一一对应，第一块状电极在衬底所在平面的投影位于其对应的叉指电极在衬底所在平面的投影范围内；第二块状电极与叉指电极一一对应，第二块状电极在衬底所在平面的投影位于其对应的叉指电极在衬底所在平面的投影范围内，以抑制声表面波谐振器的杂散信号，提高声表面波谐振器的性能，从而提高声表面波滤波器的性能。
- 一种表面波滤波器
- [发明专利]一种声表面波滤波器-CN202311163498.9在审
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黄磊;邹洁;唐供宾
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深圳新声半导体有限公司
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2023-09-11
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2023-10-17
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H03H9/02
- 本申请实施例公开了一种声表面波滤波器，包括至少一个声表面波谐振器，所述声表面波谐振器除包括叉指换能器外，还包括辅助电极，且所述辅助电极，所述辅助电极包括第一辅助电极和第二辅助电极，在垂直于所述衬底所在平面的方向上，所述第一辅助电极覆盖多个所述第一叉指电极的端部，且与多个所述第二叉指电极相交，所述第二辅助电极覆盖多个所述第二叉指电极的端部，且与多个所述第一叉指电极相交，以减小所述声表面波谐振器的杂散信号，提高所述声表面波谐振器的性能，从而提高所述声表面波滤波器的性能。
- 一种表面波滤波器
- [发明专利]一种体声波谐振器的制备方法和封装方法-CN202310926926.2在审
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梁骥;邹洁;唐供宾
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深圳新声半导体有限公司
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2023-07-27
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2023-09-01
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H03H3/02
- 本发明提供了一种体声波谐振器的制备方法和封装方法，属于体声波谐振器技术领域。本发明首先提供预设结构的前驱体器件，在所述前驱体器件的上表面键合第一晶圆，然后去除所述前驱体器件中的第一衬底，得到待成腔器件；按照第一空腔的形状对第二晶圆进行刻蚀，然后与所述待成腔器件的过渡层键合，或者，将所述待成腔器件的过渡层与第一键合层键合，按照第一空腔的形状对所述过渡层与第一键合层进行刻蚀，然后与第二晶圆键合，或者，按照第一空腔的形状对所述过渡层进行刻蚀，然后与第二晶圆键合，得到成腔器件；将所述成腔器件中第一晶圆去除，得到体声波谐振器。本发明形成谐振空腔时避免使用释放牺牲层的方法，有利于提高产品良率。
- 一种声波谐振器制备方法封装
- [发明专利]一种滤波器及其制备方法-CN202310934361.2在审
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王友良;邹洁;唐供宾
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深圳新声半导体有限公司
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2023-07-28
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2023-09-01
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H03H9/17
- 本发明提供了一种滤波器及其制备方法，属于滤波器技术领域。本发明提供了一种滤波器，包括依次层叠设置的基底、空腔填充层、下电极、压电层和上电极，所述空腔填充层相对下电极内缩，所述内缩形成的空间设置支撑层，所述支撑层的上表面与下电极的上表面的水平高度相同，所述空腔填充层与下电极之间存在空腔。本发明在BE层下方做支撑层，支撑层的上表面与下电极的上表面的水平高度相同，PZ生长在平滑的表面，保证PZ的质量，不会因晶向不一致、应力问题产生缺陷，无需BE刻蚀形成斜坡，降低BE刻蚀难度。且本发明所述空腔填充层与下电极之间存在空腔，谐振区完好，无需打孔，不容易破裂。
- 一种滤波器及其制备方法
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