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[发明专利]带有整流结构的镂空热膜式流量传感器及其制作方法-CN201610383122.2有效
发明人：焦斌斌;刘瑞文;孔延梅 -专利权人：苏州容启传感器科技有限公司
申请日： 2016-06-02 - 公布日： 2019-05-10 - 主分类号： G01F1/86 文献下载
摘要：本发明涉及一种带有整流结构的镂空热膜式流量传感器及其制作方法。带有整流结构的镂空热膜式流量传感器，它包括硅衬底、位于该硅衬底正面并具有加热电阻及多个测温元件的薄膜结构，硅衬底具有绝热空腔，薄膜结构的位于该绝热空腔上方的部分被定义为热膜，薄膜结构具有分别位于热膜上游侧和下游侧且用于将流经的流体整流为平流状态并增加薄膜结构与流体接触面积的两个整流结构带有整流结构的设计，一方面可将流经热膜的待测流体整流为平流状态，从而提高其探测精度，另一方面增大了待测流体与热膜的接触面积，因此提高了换热效率，从而使得探测灵敏度得到提高。
带有整流结构镂空热膜式流量传感器及其制作方法

[发明专利]双栅极光电薄膜晶体管的光栅极复合膜结构及薄膜晶体管-CN201610289482.6在审
发明人：王凯;刘兴慧;李惠敏 -专利权人：广东顺德中山大学卡内基梅隆大学国际联合研究院;中山大学
申请日： 2016-05-03 - 公布日： 2016-08-17 - 主分类号： H01L29/423 文献下载
摘要：本发明涉及一种双栅极光电薄膜晶体管的光栅极复合膜结构及薄膜晶体管，其中复合膜结构包括第一透明导电氧化物薄膜、第二透明导电氧化物薄膜和金属层，其中第一透明导电氧化物薄膜、金属层、第二透明导电氧化物薄膜从上到下依次设置，第一透明导电氧化物薄膜与金属层、第二透明导电氧化物薄膜与金属层紧贴。本发明提供的复合膜结构由第一氧化物透明导电薄膜、第二氧化物透明导电薄膜和金属层构成，由于引入了金属层，不仅能降低电阻率，而且能够利用层间的干涉和等离子激元作用形成减反射膜，减少光学损失，增加透光率，可以有效的解决目前透明导电氧化物薄膜表面反射率高的问题
栅极光电薄膜晶体管复合膜结构

[发明专利]一种ITO/Ag/ITO薄膜结构的制备方法-CN202211180490.9在审
发明人：陈溢杭;郭志达;董剑楠;吴栋;张飞连 -专利权人：华南师范大学
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： C23C14/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种ITO/Ag/ITO薄膜结构的制备方法，包括以下步骤：提供基片、ITO靶材和Ag靶材；对基片进行清洗处理；采用ITO靶材，按照预设的ITO薄膜镀膜参量，调节成膜腔室内的镀膜环境，在通入工作气体和溅射温度为650℃‑700℃下，于基片上镀第一ITO薄膜层；采用Ag靶材，按照预设的Ag薄膜镀膜参量，调节成膜腔室内的镀膜环境，在通入工作气体和溅射温度为室温的溅射温度下，于第一ITO薄膜层上镀Ag薄膜层；采用ITO靶材，按照预设的ITO薄膜镀膜参量，调节成膜腔室内的镀膜环境，通入工作气体和溅射温度为室温的溅射温度下，于Ag薄膜层上镀第二ITO薄膜层，得到ITO/Ag/ITO薄膜结构。本发明能够提高薄膜结构的载流子浓度以及ENZ位置蓝移，使得ITO的ENZ特性可以在更短波段处得到应用。
一种 ito ag 薄膜结构制备方法

[发明专利]半导体薄膜结构及其制备方法-CN202211486509.2在审
发明人：钟高阔;戴李雨芬;钟向丽;任传来;王金斌 -专利权人：中国科学院深圳先进技术研究院
申请日： 2022-11-24 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H10N97/00 文献下载
摘要：本发明公开一种半导体薄膜结构及其制备方法，其中，半导体薄膜结构包括衬底、底电极层及功能层，所述衬底为刚性YSZ基片；所述底电极层形成与所述衬底的表面，所述底电极层为ITO薄膜；所述功能层形成于所述底电极层背离所述衬底的表面，所述功能层为具有双边负电容现象的Ga2O3单晶薄膜。本发明的技术方案的半导体薄膜结构为一种稳定的Ga2O3亚稳相，并具有双边负电容现象，可以拓宽其应用范围，应用于晶体管内
半导体薄膜结构及其制备方法

[发明专利]碳纳米管复合材料及其制备方法-CN200810065181.0有效
发明人：范守善;程群峰;王佳平;姜开利 -专利权人：清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
申请日： 2008-01-11 - 公布日： 2009-07-15 - 主分类号： B32B27/06 文献下载
摘要：一种碳纳米管复合材料，包括高分子基体和碳纳米管，其中该碳纳米管以碳纳米管薄膜结构的形式设置于高分子基体中。一种碳纳米管复合材料的制造方法，其包括以下步骤：制备一高分子基体；制备一碳纳米管薄膜；将至少一碳纳米管薄膜设置于高分子基体的至少一个表面形成一碳纳米管薄膜结构，从而形成一碳纳米管复合材料预制体；加热该碳纳米管复合材料预制体，使碳纳米管薄膜结构与高分子基体复合，从而得到一碳纳米管复合材料。
纳米复合材料及其制备方法

[发明专利]一种三层膜结构的Low-E玻璃及其生产工艺-CN201010530471.5无效
发明人：俞志稳 -专利权人：俞志稳
申请日： 2010-10-29 - 公布日： 2012-05-16 - 主分类号： C03C17/36 文献下载
摘要：本发明涉及一种三层膜结构的Low-E玻璃及其生产工艺。玻璃基片上由里到外依次复合有三层膜，中间的膜为纯银薄膜，纯银薄膜两侧的膜为金属氧化物膜。本发明产品设置了三层膜结构，中间的膜为纯银薄膜，两侧为金属氧化物膜，金属氧化物膜对纯银薄膜提供保护，增加了玻璃的耐磨性，同时作为膜层中间的纯银薄膜增加了色彩的纯度和光透射度，节能环保。本发明工艺实施难度低、方法简便，形成的三层膜结构均匀一致，对设备的要求较低，容易实现。
一种三层膜结构 low 玻璃及其生产工艺

[实用新型]锂电池复合包装膜结构-CN201220639234.7有效
发明人：周秦政 -专利权人：东莞市芯能新材料有限公司
申请日： 2012-11-28 - 公布日： 2013-06-12 - 主分类号： H01M2/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种软包装膜，尤指一种锂电池复合包装膜结构。一种锂电池复合包装膜结构，它由外到内依次设有耐热树脂薄膜层、铝箔层和热塑性树脂薄膜层，耐热树脂薄膜层与铝箔层粘性连接，铝箔层的内表面和/或外表面经铬化处理形成铬化膜层，铬化膜层直接附着于热塑性树脂薄膜层的一侧表面，热塑性树脂薄膜层的另一侧表面贴置有聚合物吸水层。本实用新型提供了一种高强度粘接、绝缘性好且具有吸水功能的锂电池复合包装膜结构。
锂电池复合包装膜结构

[发明专利]一种充气柔性结构固有特性求解方法-CN201510142538.0有效
发明人：汪俊;邱志平;王晓军;何巍 -专利权人：北京航空航天大学;中国航空工业集团公司;中国特种飞行器研究所
申请日： 2015-03-27 - 公布日： 2017-11-17 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种充气柔性结构固有特性求解方法，该方法首先根据充气薄膜结构的受力特点，考虑大变形、初始预应力等几何非线性因素，引入复位平衡法进行找力分析得到给定的目标形态和充气压力所对应的应力分布，然后继承充气平衡态的刚度矩阵，采用里兹向量直接叠加法对充气薄膜结构模态进行数值计算。本发明法在进行充气薄膜结构形态分析时更容易得到平衡状态且平衡状态的应力分布更真实，因此得到的固有特性更合理。
一种充气柔性结构固有特性求解方法

[发明专利]面热光源，其制备方法及应用其加热物体的方法-CN200710077394.0有效
发明人：冯辰;柳鹏;姜开利;魏洋;范守善 -专利权人：清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
申请日： 2007-09-28 - 公布日： 2009-04-01 - 主分类号： H05B33/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种面热光源，该面热光源包括一第一电极、一第二电极和一碳纳米管薄膜结构。第一电极和第二电极之间相隔一定的距离，该碳纳米管薄膜结构设置于上述第一电极和第二电极之间，并与上述第一电极和第二电极分别电接触。本发明还涉及一种面热光源的制备方法，包括以下步骤：提供一碳纳米管阵列形成于一基底；采用一拉伸工具从碳纳米管阵列中拉取获得一碳纳米管薄膜结构；提供一第一电极和一第二电极，将上述第一电极和第二电极间隔地设置在碳纳米管薄膜结构的表面上，并与碳纳米管结构表面形成一电接触，从而得到一面热光源。本发明还涉及一种应用面热光源加热物体的方法，包括以下步骤：提供一待加热的物体，该物体具有一表面；将面热光源中的碳纳米管薄膜结构靠近待加热的物体的表面设置；以及在面热光源中的电极间施加电压，加热该物体。
光源制备方法应用加热物体

[发明专利]一种四肢清创引流装置及其使用方法-CN202210004737.5在审
发明人：赵爽;姜润东;陈翔;黄凯 -专利权人：赵爽
申请日： 2022-01-05 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： A61M3/02 文献下载
摘要：一种四肢清创引流装置，包括引流装置本体，引流装置本体包括上框架和下框架，所述上框架为上下两端贯通的矩形空腔结构，下框架为上端开口的矩形空腔结构，上框架的外轮廓尺寸小于下框架的内轮廓尺寸，上框架的外壁设有与下框架内壁配合的组合卡扣；上框架的前后两面为的塑料层，左右两面为薄膜结构层，薄膜结构层的下部水平固定有弹力圈，下框架的前后两面为的塑料层，左右两面为具有伸缩性的薄膜结构层，薄膜结构层的上部水平固定有弹力圈；下框架的顶部为开口结构
一种四肢引流装置及其使用方法

[发明专利]一种无水泡的低应力氮化硅薄膜制作方法-CN201910252107.8在审
发明人：陈曦;王俊力 -专利权人：武汉大学
申请日： 2019-03-29 - 公布日： 2019-07-05 - 主分类号： C23C16/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种无水泡的低应力氮化硅薄膜的制作方法，包括如下步骤：步骤1、使用CVD工艺在基底上淀积一层二氧化硅薄膜，作为中间层；步骤2.对步骤1得到二氧化硅薄膜进行快速退火处理；步骤3、继续在二氧化硅薄膜层上采用CVD工艺沉积一层氮化硅薄膜；步骤4、对氮化硅薄膜层进行紫外光刻，将所设计的薄膜图形转移到氮化硅层上；步骤5、在曝光显影过后对氮化硅薄膜层进行RIE即反应离子刻蚀，刻出氮化硅薄膜结构的形状，在氮化硅薄膜结构边缘刻蚀若干小孔，用于释放H₂；步骤6、刻出薄膜结构后对氮化硅薄膜进行快速退火，得到表面无水泡的低应力氮化硅薄膜。本发明方法既能够精确控制氮化硅薄膜应力，又能够保证薄膜的完整性。
氮化硅薄膜低应力氮化硅薄膜二氧化硅薄膜水泡氮化硅薄膜层快速退火反应离子刻蚀薄膜结构薄膜图形氮化硅层结构边缘曝光显影紫外光刻中间层淀积基底刻蚀小孔薄膜沉积制作释放保证

[发明专利]一种石墨烯薄膜无损转移方法-CN201510237214.5有效
发明人：刘敬权;潘东晓;朱慧慧 -专利权人：青岛华高能源科技有限公司
申请日： 2015-05-12 - 公布日： 2017-06-09 - 主分类号： C01B32/186 文献下载
摘要：本发明属于材料科学技术领域，涉及一种环保、高效、便捷的石墨烯薄膜无损转移方法，先将生长有石墨烯薄膜的金属箔平放在载玻片上，将胶带紧贴在石墨烯薄膜上；再将表面贴有胶带的金属箔放入腐蚀液中腐蚀2‑10h，去除金属箔后得到胶带/石墨烯薄膜结构；将胶带/石墨烯薄膜结构捞起后放入装有去离子水的培养皿中重复漂洗3‑5次(每次10‑30min)；再将胶带/石墨烯薄膜结构捞起，贴附在用10‑50W的等离子体清洗机进行亲水处理后的目标基底上，并在常温下自然放置3‑6h，得到胶带/石墨烯薄膜/目标基底结构；最后将胶带/石墨烯薄膜/目标基底结构表面的胶带缓慢的以平行方向撕掉即实现无损转移；该方法设计新颖，原理科学，过程简单，操作简易，转移效果较好
一种石墨薄膜无损转移方法

[发明专利]用于太空基地的铝合金索膜结构的建造方法-CN201910186084.5有效
发明人：马会环;马越洋;范峰;符洋钰;谢渺鑫;刘思彤;周鹏 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2019-03-12 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： E04B1/342 文献下载
摘要：用于太空基地的铝合金索膜结构及其建造方法，本发明涉及太空基地建造领域，它要解决现有膜结构建筑难以适用于月球或火星基地的大气压差环境的问题。该用于太空基地的建筑结构的基座固定在月球或者火星表面，建筑薄膜罩设在基座的座体上形成建筑物，多层建筑薄膜叠层设置，多层建筑薄膜与基座气密连接，最内层的建筑薄膜与基座之间形成气压腔，相邻两层建筑薄膜之间也形成气压腔，建筑物最外层的建筑薄膜的膜表面设置有拉索，设标准大气压与月球或火星的气压差为P，建筑薄膜共有N层，相邻气压腔内的气压差为P/N。本发明提出的多层分级充气建筑结构能够降低每层薄膜所承受的压力，使膜结构这种自重极轻的建筑材料在太空基地上得以应用。
用于太空基地铝合金膜结构建造方法

[发明专利]氧化物薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板、显示装置-CN202111222802.3有效
发明人：薛大鹏;袁广才;宁策;胡合合;李正亮;王利忠;董水浪;姚念琦;王东方;赵磊;雷利平 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2021-10-20 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01L29/10 文献下载
摘要：本发明公开一种氧化物薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板、显示装置，氧化物薄膜晶体管的制作方法包括：在基板的一侧形成有源层；在有源层远离基板的一侧形成待形成源极和漏极的金属层；在金属层远离基板的一侧通过构图工艺形成第一掩膜结构；在形成有第一掩膜结构的基板上通过构图工艺形成第二掩膜结构；第一掩膜结构的形成位置和第二掩膜结构的形成位置之一位于待形成的源极的区域，另一位于待形成的漏极的区域；第一掩膜结构和第二掩膜结构位于同一层相互间隔预设距离设置，间隔的区域漏出金属层；刻蚀掉金属层未被第一掩膜结构和第二掩膜结构遮挡的部分，形成相互间隔预设距离保持绝缘的源极和漏极；源极和漏极之间的间距小于3μm。
氧化物薄膜晶体管及其制作方法阵列显示装置

[发明专利]一种柔性器件的超薄复合封装薄膜结构及制备方法-CN201910413501.5有效
发明人：陈蓉;杨惠之;单斌;曹坤;李云;李邹霜 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2019-05-17 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： H01L51/52 文献下载
摘要：本发明属于薄膜封装技术领域，并公开了一种柔性器件的超薄复合封装薄膜结构及制备方法。所述封装薄膜结构包括基底、设于基底上的器件、封装于所述器件表面的第一无机隔离层以及设于该无机隔离层表面的第一复合阻隔层；第一复合阻隔层包括设于第一无机隔离层上的至少两层第一无机阻隔层以及设于相邻两层第一无机阻隔层之间的至少一层第一有机阻隔层本发明还公开了相应结构的制备方法。本发明封装薄膜结构中存在不同无机结构之间和有机结构与无机结构之间相互掺杂、相互交联的界面特征，极大地改善了薄膜应力集中的缺点，隔离了无机层之间的缺陷，大幅度延长了水氧透过薄膜的时间和路径、提高薄膜阻隔水氧的能力
一种柔性器件超薄复合封装薄膜结构制备方法