“蒸镀腔体”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果488669个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]蒸镀机以及蒸镀方法-CN201410050558.0无效
发明人：严达祥;李政军;黄俊允 -专利权人：上海和辉光电有限公司
申请日： 2014-02-13 - 公布日： 2014-05-14 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种蒸镀机以及蒸镀方法，能够显著提高对有机材料的利用率，降低成本。该蒸镀机，包括：第一蒸镀腔体和第二蒸镀腔体，所述第一蒸镀腔体和所述第二蒸镀腔体彼此连通；一个线性蒸镀源，所述线性蒸镀源能够在所述第一蒸镀腔体和所述第二蒸镀腔体之间移动。
蒸镀机以及方法

[实用新型]蒸镀设备-CN201821722248.9有效
发明人：李嘉宸 -专利权人：陕西坤同半导体科技有限公司
申请日： 2018-10-23 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种蒸镀设备，可在真空环境自动填充有机材料，并对玻璃基板进行蒸镀，其中蒸镀设备包括：蒸镀腔体；蒸镀装置，设置于蒸镀腔体内，蒸镀装置用于蒸镀有机材料；填料腔体，与蒸镀腔体衔接，填料腔体用于存放有机材料；真空阀门，设置于蒸镀腔体与填料腔体之间，真空阀门用于蒸镀腔体与填料腔体的连通或隔离；送料装置，设置于填料腔体内，送料装置用于在真空阀门打开时将填料腔体内的有机材料输送至蒸镀装置内；以及传感器，设置于蒸镀腔体内本实用新型可完全做到真空状态下进行填料，使蒸镀设备持续保持在真空状态进行连续蒸镀，提高生产效率。
填料腔有机材料真空阀门蒸镀腔体蒸镀设备送料装置蒸镀装置体内蒸镀本实用新型真空状态蒸镀腔传感器玻璃基板生产效率真空环境自动填充送料连通隔离衔接

[实用新型]蒸镀设备-CN202122005493.6有效
发明人：赵利;孙军旗;刘芳军;孙玉群;鲁艳春 -专利权人：北海惠科半导体科技有限公司
申请日： 2021-08-24 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种蒸镀设备，具有一蒸镀腔体，所述蒸镀设备包括：蒸镀源和蒸镀锅；蒸镀源，设置在所述蒸镀腔体的底部；其中，所述蒸镀源的数量设置至少两个，每个所述蒸镀源间隔排布，且每个所述蒸镀源到所述蒸镀腔体的中心线的距离相等；蒸镀锅，设置在所述蒸镀腔体的顶部，所述蒸镀锅在所述蒸镀腔体内绕所述中心线公转；其中，单个所述蒸镀源用于将蒸镀材料转化为气体分子蒸镀材料，所述气体分子蒸镀材料在所述蒸镀腔体中运动形成单个蒸镀区域；所有所述单个蒸镀区域构成总蒸镀区域，所述蒸镀锅对应设置在所述总蒸镀区域内。本实用新型实施例以此提高了蒸镀的效率。
设备

[实用新型]一种蒸镀装置-CN201821852911.7有效
发明人：刘东升;周梁;陈玉;周涛 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2018-11-09 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及显示技术领域，公开了一种蒸镀装置，该蒸镀装置包括：蒸发源，蒸发源的一侧设有蒸气出口；弹性蒸镀腔体，弹性蒸镀腔体设有进气口，弹性蒸镀腔体背离进气口的一侧设有出气口，进气口与蒸发源的蒸气出口连接，且弹性蒸镀腔体的腔体壁设有调温层；与弹性蒸镀腔体连接的驱动机构；喷嘴，喷嘴与弹性蒸镀腔体的出气口连接。该蒸镀装置中，弹性蒸镀腔体可以扩张或收缩以增大或减小容积以收容气态材料，且弹性蒸镀腔体的腔体壁中设置有调温层可以保障在弹性蒸镀腔体内的气态材料维持气态，增加了蒸镀材料的利用率，减少停机维护清洗次数，从而提高产能，且使弹性蒸镀腔体内的气态材料有更好的均一性，有利于提高蒸镀膜层厚度的均一性。
蒸镀腔体蒸镀装置进气口气态材料蒸发源蒸气出口喷嘴出气口调温层均一性腔体壁蒸镀腔体内本实用新型驱动机构蒸镀材料蒸镀膜层产能减小停机清洗收容收缩背离维护

[实用新型]一种蒸镀设备-CN202021523780.5有效
发明人：郑沂;林志斌 -专利权人：福建华佳彩有限公司
申请日： 2020-07-28 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种蒸镀设备，包括蒸镀腔体、蒸镀装置、填料装置以及旋转机构；蒸镀装置、填料装置分别设置于蒸镀腔体内，填料装置设置于蒸镀装置的一侧，旋转机构与填料装置可拆卸连接；蒸镀装置用于蒸镀蒸镀材料；填料装置用于向蒸镀装置提供蒸镀材料；旋转机构用于将填料装置旋转至蒸镀装置上方；填料装置包括填料腔体、感应机构以及出料开关；感应机构设置于填料腔体的内壁上，出料开关设置于填料腔体上；填料腔体用于存放蒸镀材料；感应机构用于感应蒸镀材料的重量变化蒸镀过程中，可以完全在真空状态下进行加料，使蒸镀设备持续保持在真空状态进行连续蒸镀，避免外界空气中的颗粒进入腔体内，保持了蒸镀腔体内的洁净度，提高产品质量。
一种设备

[发明专利]真空蒸镀系统及真空蒸镀方法-CN201310046198.2无效
发明人：若林雅;加藤升;石泽泰明 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2013-02-05 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供能够在串联地配置真空搬运腔体与真空蒸镀腔体的真空蒸镀系统中降低材料损失的经济性好的真空蒸镀系统及真空蒸镀方法。本发明是一种真空蒸镀系统，其交替且串联地配置水平搬运工件的真空搬运腔体与对上述工件蒸镀蒸镀材料的真空蒸镀腔体，由具有多个上述真空蒸镀腔体的线构成，互相并列地设置N条上述线，其中N为2以上，上述真空蒸镀腔体是横跨各个上述N条线而设置的N条线真空蒸镀腔体，上述N条线真空蒸镀腔体在每条线上具有对工件进行蒸镀的蒸镀位置，当在上述N条线中的第一线对第一上述工件进行蒸镀期间，在与上述第一线不同的另一线上将第二工件搬出到下游侧的上述真空搬运腔体，并从上游侧的上述真空搬运腔体搬入第三工件。
真空系统方法

[发明专利]蒸镀设备及其蒸镀源更换方法-CN200710084481.9有效
发明人：李兴铨 -专利权人：友达光电股份有限公司
申请日： 2007-03-02 - 公布日： 2007-08-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种蒸镀设备及其蒸镀源更换方法，其中该蒸镀设备包括一反应腔体、一子腔体、以及一第一蒸镀源。该子腔体连通该反应腔体，该子腔体包括一真空阀门以及一减压阀门，该真空阀门设于该子腔体与该反应腔体之间，该减压阀门设于该子腔体与大气环境之间。第一蒸镀源设于该子腔体之中。根据本发明的蒸镀设备及其蒸镀源更换方法可节省更换蒸镀源所花费的时间，降低生产成本。
设备及其蒸镀源更换方法

[发明专利]蒸镀装置-CN201811206219.1在审
发明人：徐超 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2018-10-17 - 公布日： 2019-02-12 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请提出了一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括主腔体及位于所述主腔体两侧的至少两个子腔体。所述子腔体用于提供蒸镀工艺中的蒸镀材料。本发明通过将至少一所述子腔体作为备用蒸镀源。当其中一个或一个以上的所述子腔体中的蒸镀材料耗尽时，另一所述子腔体中的备用蒸镀源开始工作，使蒸镀装置能连续镀膜，增加了蒸镀装置的产能。并且，减少了蒸镀装置的维修保养时间。
蒸镀装置子腔体蒸镀材料蒸镀源主腔体备用连续镀膜维修保养产能腔体蒸镀耗尽申请

[发明专利]蒸发镀膜装置和镀膜方法-CN202210747978.9在审
发明人：吕凯丽;赵利;孙军旗;孙帅;任宏志 -专利权人：北海惠科半导体科技有限公司
申请日： 2022-06-29 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请公开了一种蒸发镀膜装置，蒸发镀膜装置包括蒸镀腔体、设置在所述蒸镀腔体的底部的蒸镀源、设置在所述蒸镀腔体的顶部的驱动组件，所述蒸镀源上的蒸镀材料转化为气体分子蒸镀材料，在所述蒸镀腔体中运动形成蒸镀区域；所述蒸发镀膜装置还包括对应设置在所述蒸镀区域内的多个蒸镀锅，所述驱动组件驱动多个所述蒸镀锅围绕所述蒸镀源的中心线进行旋转；其中，多个所述蒸镀锅环绕所述蒸镀源错层设置。本申请在将蒸镀腔体内的蒸镀锅以错层设置的方式进行排布，可以更好的利用蒸镀空间，更换尺寸更大的蒸镀锅，从而可以放置更多的晶圆，错层设置还减少了蒸镀锅之间的缝隙，避免更多蒸镀锅材料跑出，同时提高了蒸锅装置的产量
蒸发镀膜装置方法

[实用新型]一种真空蒸镀源-CN201821175508.5有效
发明人：景东 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2018-07-24 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空蒸镀源，涉及真空蒸镀设备技术领域，其中一种真空蒸镀源包括：蒸镀腔体，其内部设置有用于放置待蒸镀基板的基板支架；坩埚，设置于所述蒸镀腔体内部，用于加热蒸镀材料使其升华或者形成蒸镀蒸汽；密封过渡装置，设置于所述坩埚的开口处；所述密封过渡装置设置有开合状态可控的隔离门；当所述隔离门打开时，所述坩埚内的蒸镀蒸汽可通过所述密封过渡装置进入蒸镀腔体；当所述隔离门关闭时，所述蒸镀腔体与所述坩埚隔离通过本实用新型，可以将蒸镀腔体与坩埚隔离，实现仅对蒸镀腔体破真空而不影响坩埚内的蒸镀材料，或者仅对坩埚破真空而不影响蒸镀腔体内已制备的OELD的性能，从而能够减少快速破真空的成本。
坩埚蒸镀腔体过渡装置真空蒸镀破真空密封本实用新型隔离门蒸镀腔蒸镀蒸汽加热蒸镀材料真空蒸镀设备隔离隔离门打开基板支架开合状态内部设置蒸镀材料蒸镀基板开口处可控的体内部制备体内升华

[发明专利]蒸镀设备及采用该蒸镀设备的操作方法-CN201510201679.5有效
发明人：赵德江;王浩;藤野诚治 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2015-04-24 - 公布日： 2015-07-22 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种蒸镀设备及采用该蒸镀设备的操作方法。蒸镀设备包括具有一内部空间的主腔体和设置于主腔体下方的蒸镀机构，蒸镀机构包括至少两个坩埚容纳腔体；在第一状态，第一坩埚容纳腔体位于蒸镀执行位置，且与所述主腔体之间连通，构成真空空间，所述第一坩埚容纳腔体中的坩埚所盛放材料执行蒸镀过程；在第二状态，在真空环境下，所述第一坩埚容纳腔体移离所述蒸镀执行位置，第二坩埚容纳腔体移动至所述蒸镀执行位置处，且与所述主腔体之间连通。通过设置至少两个坩埚容纳腔体，能够解决现有技术的蒸镀设备在重新添加材料时破真空对内部蒸镀环境造成污染以及使OLED显示器的制作效率较低的问题。
设备采用操作方法

[实用新型]一种蒸镀装置-CN202222190944.2有效
发明人：高超帆 -专利权人：乐金显示光电科技（中国）有限公司
申请日： 2022-08-19 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蒸镀装置，包括真空腔体、拾取机构、蒸镀源以及挡板，拾取机构设置于真空腔体内，用于拾取待蒸镀的基板置于真空腔体中，蒸镀源设置于真空腔体内，蒸镀源朝向于基板的有机蒸镀面喷射有机物，挡板覆盖在基板远离蒸镀源的无机蒸镀面上该蒸镀装置能够在有机蒸镀时确保蒸镀源不会附着到基板的无机蒸镀面上，从而提升良品率。
一种装置

[发明专利]一种真空蒸镀装置-CN201810646031.2在审
发明人：苏艳波;宋永明 -专利权人：深圳市永盛隆科技有限公司
申请日： 2018-06-21 - 公布日： 2019-12-31 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及真空镀膜领域，尤其涉及一种真空蒸镀装置。所述蒸镀装置包括蒸镀腔体和驱动机构；所述蒸镀腔体的底板上开设有供蒸镀源通过的第一通孔，所述驱动机构可驱动所述蒸镀源穿过所述第一通孔，并在所述蒸镀腔体内上下移动。本发明的真空蒸镀装置，其纵向驱动机构可驱动蒸镀源穿过第一通孔，并在蒸镀腔体内上下移动，从而达到调节蒸镀源与蒸镀腔体内基片之间距离的目的，继而达到合理控制镀膜厚度的目的，提高了镀膜效率和镀膜质量。
蒸镀源蒸镀腔通孔真空蒸镀装置驱动机构上下移动蒸镀腔体体内镀膜穿过底板纵向驱动机构驱动镀膜效率真空镀膜蒸镀装置

[发明专利]一种新型真空蒸镀机-CN202011618412.3在审
发明人：薛蒙晓 -专利权人：苏州佑伦真空设备科技有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本申请提出一种新型真空蒸镀机，包括：蒸镀机本体、加热灯结构、镀锅结构、水冷隔热机构、坩埚、离子源、控制机构、和驱动机构，所述蒸镀机本体内部分为蒸镀腔体和控制件腔体，加热灯结构、镀锅结构、水冷隔热机构、坩埚、离子源和驱动机构均设置于蒸镀腔体内，控制机构设置于控制件腔体内，所述驱动机构包括马达和抽真空泵组，蒸镀腔体的一侧面设有主阀腔，主阀腔的下部设有与主阀腔通过真空管连通的抽真空泵组，抽真空泵组位于蒸镀机本体外部的支架上，蒸镀腔体为中空的圆柱体或者为中空的椭圆柱体，镀锅结构的伞架有3个，设置在蒸镀腔体的腔体侧面内壁上的防着板，能够与蒸镀腔体的腔体侧面内壁挂住固定及拆卸。
一种新型真空蒸镀机

[实用新型]一种新型真空蒸镀机-CN202023304257.6有效
发明人：薛蒙晓 -专利权人：苏州佑伦真空设备科技有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本申请提出一种新型真空蒸镀机，包括：蒸镀机本体、加热灯结构、镀锅结构、水冷隔热机构、坩埚、离子源、控制机构、和驱动机构，所述蒸镀机本体内部分为蒸镀腔体和控制件腔体，加热灯结构、镀锅结构、水冷隔热机构、坩埚、离子源和驱动机构均设置于蒸镀腔体内，控制机构设置于控制件腔体内，所述驱动机构包括马达和抽真空泵组，蒸镀腔体的一侧面设有主阀腔，主阀腔的下部设有与主阀腔通过真空管连通的抽真空泵组，抽真空泵组位于蒸镀机本体外部的支架上，蒸镀腔体为中空的圆柱体或者为中空的椭圆柱体，镀锅结构的伞架有3个，设置在蒸镀腔体的腔体侧面内壁上的防着板，能够与蒸镀腔体的腔体侧面内壁挂住固定及拆卸。
一种新型真空蒸镀机

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条