专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果591680个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]一种单芯片平行位置的确定方法-CN201711442714.8有效
  • 孙彬;周文静;夏志伟;刘婷婷;侯佳丽;颜剡;孟庆嵩 - 北京中电科电子装备有限公司
  • 2017-12-26 - 2020-07-03 - H01L21/68
  • 本发明提供一种单芯片平行位置的确定方法,包括以下步骤:步骤1,确定图像模板及图像模板对准点的坐标;步骤2,通过图像模板找到对应位置的芯片图像;步骤3,根据图像模板对准点的坐标和芯片图像对准点的坐标对比得到芯片图像与图像模板的角度偏差值和芯片图像对准点与图像模板对准点坐标的偏差值,以得到芯片图像对准点A的坐标A(m,n)及对准点A在坐标系中的角度β;步骤4,根据角度偏差值和芯片图像对准点A的坐标偏差值得出芯片图像对准点旋转至平行位置时芯片图像对准点坐标B(x,y)。根据本发明的实施例能够在任一对准点进行拉直计算,方便快捷的确定芯片的平行位置,减少了对准时间,提高了对准精度。
  • 一种芯片平行位置确定方法
  • [发明专利]光栅对准程序-CN200410085715.8有效
  • 余政宏 - 联华电子股份有限公司
  • 2004-10-15 - 2005-04-27 - H01L21/027
  • 一半导体芯片表面包含至少一前层芯片对准记号。首先进行一基线测试,以将一当层光栅上的一当层光栅对准记号与该前层芯片对准记号相对准。接着撷取并比对该当层光栅对准记号与该前层芯片对准记号的图像信号,以校正该当层光栅与该半导体芯片的相对坐标。最后进行一微影制程,将该当层光栅上的该当层光栅对准记号的图形转移至该半导体芯片上,以在该半导体芯片上形成一相对应于该当层光栅对准记号的当层芯片对准记号。
  • 光栅对准程序
  • [实用新型]一种量子芯片封装装置-CN201721871596.8有效
  • 李松;孔伟成 - 合肥本源量子计算科技有限责任公司
  • 2017-12-28 - 2018-05-11 - H01L23/16
  • 本实用新型公开了一种量子芯片封装装置,属于量子芯片封装技术领域。它包括固定腔、对准腔、铜皮、量子芯片和连接部,固定腔内设置有凹槽,量子芯片位于凹槽内,量子芯片上设置有基准连接点,铜皮位于量子芯片上表面且位于凹槽内,铜皮呈环形,对准腔位于固定腔的上方,且铜皮和量子芯片位于固定腔和对准腔之间,固定腔与对准腔可拆卸的连接,对准腔上设置有对准孔,连接部贯穿对准孔,且一端与量子芯片的基准连接点连接。本实用新型能够解决量子芯片封装时对准精度低,封装过程中无法实时监测、矫正的量子芯片对准孔相对位置的问题,实现PCB板上的焊盘孔与量子芯片上的基准连接点的精确对准
  • 一种量子芯片封装装置
  • [发明专利]一种三维集成电路、三维集成电路对准工艺及设备-CN202080092397.5在审
  • 许俊豪;朱伟骅;张日清 - 华为技术有限公司
  • 2020-03-12 - 2022-08-19 - H01L21/60
  • 本申请公开了一种三维集成电路、三维集成电路对准工艺及设备,该三维集成电路至少包括叠置的两个芯片。上述三维集成电路包括叠置的第一芯片与第二芯片,上述第一芯片具有第一磁性对准标记,第二芯片具有第二磁性对准标记。上述第一磁性对准标记和第二磁性对准标记由磁性材料制备。因此,第一磁性对准标记和第二磁性对准标记在磁场中能够被磁化产生磁场。上述第一磁性对准标记与第二磁性对准标记相对,即在第一芯片靠近第二芯片的表面上的投影,上述第一磁性对准标记的投影与第二磁性对准标记的投影至少部分重叠,具体的,上述投影的方向垂直于上述第一芯片靠近第二芯片的表面上该方案的对准精度较高,对准方法较为简单。
  • 一种三维集成电路对准工艺设备
  • [发明专利]一种适用于三维集成技术的模版对准方法-CN201110185954.0无效
  • 陈倩文;吕建强;王喆垚;刘理天 - 清华大学
  • 2011-07-05 - 2011-12-21 - H01L21/68
  • 本发明公开了属于三维集成电路和微传感器芯片系统领域的一种适用于三维集成技术的模版对准方法。其技术方案如下:以深槽对准模板为定位基准,将平板对准装置嵌入深槽对准模板,两者在垂直方向上重叠;深槽对准模板的内侧面与平板对准装置的外侧面接触。本发明的有益效果为:1)不需要机械装置测量芯片的相对位置以及移动距离,亦不需要进行复杂的光学视觉对准过程,可以直接实现芯片芯片芯片到晶圆、或晶圆到晶圆的对准,具有很强的通用性;2)同时完成两层晶圆或芯片对准与接触,能有效地避免机械转移过程所带来的误差,有利于实现高精度的晶圆或芯片对准
  • 一种适用于三维集成技术模版对准方法
  • [实用新型]一种芯片对准测试设备-CN202220122735.1有效
  • 周凯 - 武汉匠泽自动化设备有限公司
  • 2022-01-18 - 2022-07-19 - G01R1/04
  • 本实用新型涉及半导体技术领域,公开了一种芯片对准测试设备,包括上料模组、搬运模组、定位移动模组、对准测试模组、芯片下料模组以及底座;所述上料模组用于放置芯片且能够水平移动和转动;所述搬运模组用于将上料模组上的芯片搬运至定位移动模组和用于将定位移动模组上的芯片搬运至芯片下料模组;所述定位移动模组用于将芯片自搬运模组上取下后供对准测试模组进行对准测试;所述对准测试模组用于对芯片进行测试以辨别是良品还是不良产品;所述芯片下料模组用于分开放置良品和不良产品,并能够在底座上进行水平移动本实用新型的有益效果为:能够硅光芯片对准测试的自动化。
  • 一种芯片对准测试设备
  • [发明专利]一种芯片键合对准方法-CN201310463023.1在审
  • 宋崇申 - 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
  • 2013-10-08 - 2014-01-08 - H01L21/60
  • 本发明公开了一种芯片键合对准方法,具有如下特征:在加工有用于芯片组装的金属焊接盘的下层芯片或晶圆上设置限位结构;所述限位结构突出于下层芯片或晶圆表面,利用所述限位结构的辅助,实现芯片对准键合;在键合对准过程中,至少一个所述限位结构的内壁与芯片边缘接触。本发明通过制作限位结构,辅助芯片对准,不需要精密设备,简单易行,通过优化控制过程,可以提供高效率、低成本键合对准解决方案。
  • 一种芯片对准方法

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top