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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]可扩展的反应腔室-CN201220172713.2有效
发明人：彭文芳;李春雷;常青;克雷格·伯考 -专利权人：北京七星华创电子股份有限公司
申请日： 2012-04-20 - 公布日： 2012-12-19 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可扩展的反应腔室，涉及机械设计技术领域，所述反应腔室包括：前门板和后门板，所述前门板和后门板之间设有至少一个模块化腔室。本实用新型通过在前门板、后门板和所述前门板和后门板之间设有的至少一个模块化腔室上设置法兰结构，使反应腔室能够扩展，实现了在不需重新设计反应腔室的情况下，提高设备生产率。
扩展反应

[发明专利]可移动转移腔室和包括可移动转移腔室的衬底处理装置-CN200610128695.7有效
发明人：崔宰旭;金映绿 -专利权人：周星工程股份有限公司
申请日： 2006-09-08 - 公布日： 2007-03-14 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：一种衬底处理装置包括：至少一个加工腔室，其处理一衬底；一可移动转移腔室，其可邻近加工腔室进行移动；一驱动构件，其移动可移动转移腔室；和一连接构件，其组合并分离加工腔室和可移动转移腔室。
移动转移包括衬底处理装置

[发明专利]可移动转移腔室和包含可移动转移腔室的衬底处理设备-CN200610109870.8无效
发明人：克劳斯·赫格勒 -专利权人：周星工程股份有限公司;阿西斯自动系统股份有限公司
申请日： 2006-08-18 - 公布日： 2007-12-19 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：一种衬底处理设备包含：复数个模块，其沿着一第一方向而安置，所述复数个模块中的每一者具有一可含有一衬底的内部空间；和一转移单元，其在所述复数个模块之间转移所述衬底，所述转移单元包含沿着所述第一方向而安置的至少一个轨道和沿着所述至少一个轨道而移动的至少一个可移动转移腔室，其中所述至少一个可移动转移腔室在移动时气压上与外部隔离。
移动转移包含衬底处理设备

[发明专利]可拆式闪流腔室-CN201180040444.2有效
发明人： J·K·伯克霍兹;M·Q·黄 -专利权人：贝克顿·迪金森公司
申请日： 2011-07-13 - 公布日： 2013-04-24 - 主分类号： A61M25/06 文献下载
摘要：针头接口包括引导针（30），该引导针中具有贯穿延伸的孔腔。针头接口连接到引导针的近侧端部上。闪流腔室（34）可拆地联接到针头接口或引导针上。当将闪流腔室联接到针头接口或引导针上时，闪流腔室的内部与引导针的孔腔流体连通。这样，闪流腔室可以采集血液样本，当拆下闪流腔室时，可以接近该血液样本。在一些情况下，血液也可以从闪流腔室分配到化验带条（70）或其它化验器械中。
可拆式闪流腔室

[发明专利]腔室的内衬和腔室-CN201710357147.X有效
发明人：张军 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2017-05-19 - 公布日： 2021-03-02 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明属于半导体加工技术领域，具体涉及一种腔室的内衬和腔室。该腔室的内衬包括抽气内衬和均流内衬，所述均流内衬环绕设置于所述抽气内衬的内侧，所述均流内衬至少包括本体和隔离部，所述隔离部上开设有至少两个孔洞，以将所述均流内衬与所述抽气内衬之间的间隙隔离为连通的进气区域与出气区域；所述腔室内的气体经所述进气区域进入所述孔洞进行均流后，进一步通过所述抽气区域连通的排气口排出至所述抽气内衬的外部。该腔室的内衬，实现了对出气口与进气口之间的空间区域的划分，实现了工艺气体及副产物经过匀流后被真空抽走，实现了气体分布的均匀性。
内衬

[发明专利]腔室组件及反应腔室-CN201810457537.9有效
发明人：师帅涛;丁安邦;陈鹏;史小平;李春雷;兰云峰 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-05-14 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种腔室组件及反应腔室，该腔室组件包括：电极板，其与射频源电连接，且在电极板上设置有进气口；匀流部件，其采用绝缘材料制作，且与电极板共同构成匀流空间，进气口与匀流空间连通，并且在匀流部件上设置有多个出气口，出气口分别与匀流空间和反应腔室连通。本发明提供的腔室组件，其避免产生空心阴极放电，从而可以提高等离子体的稳定性。
组件反应

[发明专利]腔室组件及反应腔室-CN201811511088.8有效
发明人：王帅伟;兰云峰;王勇飞 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-12-11 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种腔室组件，包括腔体、腔室盖，其特征在于，还包括铰接模块，所述铰接模块设置在所述腔体与所述腔室盖之间，用于实现所述腔室盖的开合，且在所述铰接模块内设有气体通路，所述气体通路用于将外部气源提供的工艺气体经所述腔体和所述腔室盖通入所述腔体的内部即使腔室盖处于开启状态，气体通路仍然处于封闭状态，而不会暴露在大气环境中，从而避免了在开启腔室盖，以取放衬底或者维护腔室时，因人为操作导致的颗粒掉落进气体通路，进而可以保证腔室的洁净度，降低薄膜的颗粒缺陷
组件反应

[发明专利]腔室-CN201611061883.2在审
发明人：杨敬山;郭浩 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2016-11-28 - 公布日： 2018-06-05 - 主分类号： C23C14/00 文献下载
摘要：本发明提供一种腔室，包括用于承载被加工工件的承载件，以及设置在其上方的加热装置，该加热装置用于朝向被加工工件辐射热量，加热装置包括：安装板，设置在承载件的上方；热源，设置在安装板的下方，且沿安装板的周向间隔分布本发明提供的腔室，其可以满足对多种尺寸的被加工工件的加热均匀性的要求。
安装板被加工工件加热装置热源调节组件承载件腔室加热均匀性辐射热量径向移动周向间隔种腔室承载

[发明专利]具有可移除燃烧腔室的炉子-CN201580072109.9有效
发明人：安妮·佐根·欧辛戈;马瑞金·哈尔托赫;阿尔特·赫拉尔杜斯·德赫尔;勒内·马顿斯 -专利权人：密密摩托控股有限公司
申请日： 2015-10-28 - 公布日： 2019-02-19 - 主分类号： F24B1/02 文献下载
摘要：一种用于烹饪和/或加热的轻量炉子具备燃烧腔室，和所述燃烧腔室周围的外部壳体。所述燃烧腔室可拆卸地支撑在所述外部壳体的内壁内的空隙中。所述燃烧腔室现为所述炉子的可拆卸部分，且可从所述炉子取出并由任何人携载，以便排空所述卸下的腔室使其灰渣在安全储存位置。归因于所述燃烧腔室的低重量，排空较容易，且可在无恼人和有害的灰尘灰云溢出或形成的情况下进行。有利地，此并不需要所述炉子作为整体的任何运送。
燃烧腔室炉子外部壳体可拆卸排空储存位置可移除灰渣内壁腔室轻量加热烹饪卸下溢出取出运送支撑安全

[发明专利]可喷射材料喷发腔室的止回阀-CN201580079488.4有效
发明人： K·奈利;J·R·普日比拉 -专利权人：惠普发展公司;有限责任合伙企业
申请日： 2015-07-14 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： B41J2/14 文献下载
摘要：一种用于防止可喷射材料喷发腔室内的可喷射材料在喷发事件期间的反向流动的止回阀包括自由浮动的塞。所述止回阀还包括至少一个保持柱，其中，该自由浮动的塞被布置在喷发腔室的至少一个壁和保持柱之间，该至少一个壁和保持柱限制该自由浮动的塞在腔室内的移动。
喷射材料喷发止回阀

[发明专利]智能腔室及智能腔室元件-CN201910307866.X在审
发明人：西蒙·尼古拉斯·宾斯;布赖恩·T·韦斯特;罗纳德·维恩·肖尔;罗杰·M·约翰逊;迈克尔·S·考克斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-02-16 - 公布日： 2019-09-06 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：处理腔室包括腔室主体、一或多个监控装置，及一或多个天线，腔室主体具有设置于腔室主体上的腔室盖组件，一或多个监控装置与腔室盖组件耦接，一或多个天线邻近于与一或多个监控装置通信的腔室盖组件设置。
监控装置腔室主体腔室盖智能腔天线元件处理组件设置腔室耦接邻近通信

[发明专利]腔室冷却装置及反应腔室-CN201910160484.9有效
发明人：弓利军 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-03-04 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种腔室冷却装置及反应腔室，包括槽状本体、隔水板、冷却管和多个喷嘴，其中，冷却管设置在槽状本体相对的两个侧边，且用于向多个喷嘴中通入冷却介质，多个喷嘴用于向槽状本体中通入冷却介质，隔水板覆盖在槽状本体上本发明提供的腔室冷却装置及反应腔室，其能够避免空气在槽状本体中无法排除，并且减少槽状本体中冷却介质乱流的情况发生，从而提高腔室冷却装置的冷却效果。
冷却装置反应

[发明专利]组合处理腔室和处置腔室-CN201910130024.1有效
发明人：王安川;X·陈;Z·李;H·哈玛纳;Z·陈;C-M·徐;J·黄;N·K·英格尔;D·卢博米尔斯基;S·文卡特拉马;R·撒库尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-03-06 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明涉及组合处理腔室和处置腔室。提供用于控制湿气污染物造成的工艺缺陷的系统、腔室及工艺。系统可提供用于腔室的配置以在真空或受控环境中施行多项操作。腔室可包括组合腔室设计中的配置以提供附加处理功能。
组合处理处置

[实用新型]用于处理腔室的腔室部件-CN201820695755.1有效
发明人：邬笑炜;D·芬威克;詹国栋;J·Y·孙;M·R·赖斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-05-10 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： C23C16/40 文献下载
摘要：公开了一种用于处理腔室的腔室部件。腔室部件包括：由金属或陶瓷中的至少一种构成的制品；以及在所述制品的至少一个表面上的钇基氧氟化物层，所述钇基氧氟化物层具有10nm至300μm的厚度，并且其中所述钇基氧氟化物层具有选自由以下构成的组的成分
腔室部件氧氟化物钇基处理腔室复合陶瓷第二相陶瓷金属自由

[其他]用于处理腔室的腔室元件-CN202090000944.8有效
发明人：林丽萍;斯里斯卡塔拉贾赫·西里纳瓦卡拉苏;艾娜．王 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-08-05 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：揭示了用于处理腔室的腔室元件。在一个实施方式中，用于处理腔室的所述腔室元件包括具有一体式整体构造的元件部件主体。元件部件主体具有外表面。在外表面上形成设计复合表面。
用于处理元件

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