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- [发明专利]装夹装置及晶体加工设备-CN201611019582.3有效
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李旭明
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北京七星华创电子股份有限公司
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2016-11-18
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2020-03-31
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B24B41/06
- 本发明提供了一种装夹装置，包括第一夹紧部、第二夹紧部和固定限位环，第一夹紧部和第二夹紧部分别对应在晶体的上表面和下表面上夹紧晶体，固定限位环的一端面上设置有粘结剂，用于粘结固定晶体并通过其外轮廓在晶体的上表面上或下表面上限制出预设区域，预设区域不大于实际所需区域；第一夹紧部的外轮廓形状和固定限位环的内轮廓形状相同；固定限位环可拆卸地贴合套置在第一夹紧部的外侧壁上，且与第一夹紧部同心。本发明提供装夹装置及晶体加工设备，操作简单、对操作人员的要求低；对中时间很短；可适用于晶体生长面凸度较大的场景，而且工艺窗口还增加有第二夹紧部和第二夹紧部偏心加工；可操作性强。
- 装置晶体加工设备
- [发明专利]微纳米气泡清洗晶圆的系统及方法-CN201610444470.6有效
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刘效岩
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北京七星华创电子股份有限公司
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2016-06-20
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2019-11-22
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H01L21/67
- 本发明提供了一种微纳米气泡清洗晶圆的系统及方法，包括：液体管道，气体管道，气液混合泵，超纯水管道，与超纯水管道相连接的超纯水喷头，曝气装置；超纯水经超纯水管道和超纯水喷头后喷射在晶圆上，在晶圆表面形成超纯水膜；清洗液体通过液体管道进入气液混合泵；用于产生微纳米气泡的气体通过气体管道进入气液混合泵；气液混合泵将从液体管道出来的清洗液体和从气体管道出来的气体充分混合，且使该气体充分溶解于清洗液体中；曝气装置与气体混合泵相连通，充分混合的所述清洗液体和所述气体从气液混合泵出来后，经曝气装置释放后形成微纳米气泡喷射在晶圆表面的超纯水膜上，从而实现在不损伤晶圆表面图案的同时提高对晶圆表面颗粒的去除效果。
- 纳米气泡清洗系统方法
- [发明专利]硅片清洗的调度方法及调度系统-CN201611092596.8有效
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朱金恒;郭训容
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北京七星华创电子股份有限公司
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2016-11-30
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2019-04-05
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B08B3/08
- 本发明公开了一种硅片清洗的调度方法，用于调度两个承载硅片的硅片载片盒在硅片清洗设备中同时进行硅片清洗工艺，包括当在非化学药液槽中的硅片载片盒完成工艺时，判断其下一工艺单元以及机械手是否均为空闲；若是，则判断如果机械手将该硅片载片盒取出并放入下一工艺单元，该硅片载片盒是否会与另一硅片载片盒同时处于不同的化学药液槽中或该另一硅片载片盒是否会无法在工艺完成后立即从化学药液槽中取出。当判断结果均为否时才将硅片载片盒取出并放入下一工艺单元。本发明还提供了一种调度系统，能够确保两个硅片载片盒不会同时处于化学药液槽中，且工艺完成后能及时从化学药液槽中取出。
- 硅片清洗调度方法系统
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