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[发明专利]一种脉冲组合的飞秒-纳秒激光加工系统及加工方法-CN201810033949.X有效
发明人：杨立军;丁烨;程柏;王懋露;王扬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2018-01-15 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： B23K26/062 文献下载
摘要：本发明公开一种脉冲组合的飞秒‑纳秒激光加工系统及加工方法，其系统包括，飞秒‑纳秒双脉冲激光系统、监视系统、激光工作系统、电源系统，所述飞秒‑纳秒双脉冲激光系统产生具有脉冲延迟的飞秒‑纳秒双脉冲激光，并传送到所述激光工作系统中对工件进行加工，所述监视系统位于所述飞秒‑纳秒双脉冲激光系统和所述激光工作系统之间，用于检测飞秒‑纳秒双脉冲激光的实际脉冲延迟，所述电源系统为上述所有系统供电。本发明大幅度提高了半导体材料的加工效率，对具有一定脉冲延迟的飞秒‑纳秒双脉冲激光波形和激光光斑的聚焦情况和加工过程进行实时观测，确保加工的精确性和半导体材料的加工质量。
一种脉冲组合激光加工系统方法

[发明专利]一种用于产生高平均功率皮秒脉冲激光的装置-CN201410122645.2在审
发明人：彭焕运;其他发明人请求不公开姓名 -专利权人：上海飞涅尔激光科技有限公司
申请日： 2014-03-28 - 公布日： 2014-10-29 - 主分类号： H01S3/0941 文献下载
摘要：一种用于产生高平均功率皮秒脉冲激光的装置，包括产生亚纳秒至纳秒脉冲的半导体激光器，啁啾脉冲调制器，固体或光纤激光功率放大器，脉冲压缩器，所述的半导体激光器由高速驱动电源驱动产生亚纳秒至纳秒脉冲激光，所产生的脉冲激光由啁啾脉冲调制器对光脉冲进行啁啾调制，调制后的脉冲再经过激光功率放大器对激光脉冲进行放大，最后由脉冲压缩器对光脉冲进行压缩，获得皮秒级脉冲激光。本发明可获得高平均功率皮秒脉冲激光，具有脉冲输出稳定，可靠性高，结构简单，体积小，效率高的优点。
一种用于产生平均功率脉冲激光装置

[实用新型]应用纳秒脉冲激光以剥离外延芯片的系统-CN202022333183.2有效
发明人：蔡明聪;洪瑜亨;游家豪;黄俊杰 -专利权人：旭臻科技有限公司
申请日： 2020-10-19 - 公布日： 2021-08-17 - 主分类号： B23K26/36 文献下载
摘要：一种应用纳秒脉冲激光以剥离外延芯片的系统，包括一纳秒脉冲激光光机、一加工载台、一扩束镜组、一绕射光学元件、一振镜扫描模块、一视觉辨识模块及一控制单元。纳秒脉冲激光光机提供一激光脉冲光束作为剥离外延芯片的激光加工光源；扩束镜组、绕射光学元件与振镜扫描模块皆位于激光脉冲光束的传递途径上；视觉辨识模块，用以检视激光脉冲光束投射于所欲加工位置的状态；控制单元则以电性连接并使加工载台、振镜扫描模块、视觉辨识模块及纳秒脉冲激光光机同步协作，并搭配特定的激光加工路径，与经适当设计的绕射光学元件，以克服纳秒脉冲激光用于精密加工时，激光热效应的问题，进而实现以纳秒脉冲激光光机对外延芯片进行激光烧蚀的剥离作业
应用脉冲激光剥离外延芯片系统

[发明专利]采用多脉冲激光诱导等离子体光谱分析设备检测钢铁样品成分的方法-CN201610717184.2有效
发明人：孙辉;樊仲维 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2016-08-24 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： G01N21/71 文献下载
摘要：本发明涉及采用多脉冲激光诱导等离子体光谱分析设备检测钢铁样品成分的方法，尤其是采用包括皮秒和纳秒激光脉宽的多脉冲激光诱导等离子体光谱分析设备检测钢铁样品成分的方法，激光诱导光源是包含纳秒级和皮秒级超短脉冲的激光光源，能够用一个脉冲激光器产生两个脉冲激光即纳秒激光和皮秒激光，通过同样的输出和聚焦光路使得这两个脉冲激光聚焦在待测样品上相同位置，利用第一束纳秒激光脉冲照射样品表面产生等离子体，稍后第二束皮秒激光脉冲照射等离子体以增强谱线发射
采用脉冲激光诱导等离子体光谱分析设备检测钢铁样品成分方法

[发明专利]一种基于应力叠加作用的高效激光清洗装置及方法-CN201810895090.3有效
发明人：孟宪凯;郭维诚;周建忠;吴重军;孙奇;黄舒;苏纯;徐家乐;李京 -专利权人：江苏大学
申请日： 2018-08-08 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于应力叠加作用的高效激光清洗装置及方法，包括脉冲激光发生装置、振动台和控制集成系统；所述振动台上放置工件，所述脉冲激光发生装置输出纳秒激光束，且纳秒激光束射入所述工件表面；所述控制集成系统连接振动台和脉冲激光发生装置所述脉冲激光发生装置包括纳秒脉冲激光器、反光镜Ⅰ、反光镜Ⅱ、反光镜Ⅲ、和高速振镜；所述控制集成系统控制纳秒脉冲激光器输出纳秒激光束，所述纳秒激光束依次经过反光镜Ⅰ、反光镜Ⅱ、反光镜Ⅲ和高速振镜后射入所述工件表面本发明可以通过热影响区内的热应力与振动应力叠加，促进热影响区内裂纹的快速萌生与扩展进而迅速剥落，有效增加了激光清洗效率。
一种基于应力叠加作用高效激光清洗装置方法

[发明专利]脉宽和功率可调谐的纳秒脉冲激光光源结构-CN201910130897.2在审
发明人：周保充 -专利权人：四川沃飞光电科技有限公司
申请日： 2019-02-22 - 公布日： 2019-05-28 - 主分类号： H01S3/067 文献下载
摘要：本发明公开了一种脉宽和功率可调谐的纳秒脉冲激光光源结构，包括：用于将固定功率、脉宽的主激光束进行同步触发和分束，以得到多个分光束脉冲激光的纳秒种子光源系统；分别设置在分光束输出链路上，以对各分光束激光进行增益放大的多个放大系统；用于对各放大后的各分光束激光信号输出进行延迟调整的纳秒延迟系统；用于将经放大延迟后的各分光束激光信号进行合束处理的信号合束器。本发明提供一种脉宽和功率可调谐的纳秒脉冲激光光源结构，其采用调节各分束激光脉冲的功率和相互延时的方式，实现平均功率200‑5000W、脉宽30‑2000ns可调谐纳秒脉冲激光输出，从而提升纳秒脉冲激光光源在工业和国防领域的通用性
纳秒脉冲激光分光束可调谐光源结构激光信号脉宽放大激光分束激光脉冲分光束脉冲信号合束器输出放大系统固定功率国防领域平均功率同步触发延迟调整延迟系统增益放大种子光源主激光束输出链分束合束延时光源延迟

[实用新型]脉宽和功率可调谐的纳秒脉冲激光光源结构-CN201920239835.0有效
发明人：周保充 -专利权人：江苏沃飞激光技术有限公司
申请日： 2019-02-22 - 公布日： 2019-08-06 - 主分类号： H01S3/067 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种脉宽和功率可调谐的纳秒脉冲激光光源结构，包括：用于将固定功率、脉宽的主激光束进行同步触发和分束，以得到多个分光束脉冲激光的纳秒种子光源系统；分别设置在分光束输出链路上，以对各分光束激光进行增益放大的多个放大系统；用于对各放大后的各分光束激光信号输出进行延迟调整的纳秒延迟系统；用于将经放大延迟后的各分光束激光信号进行合束处理的信号合束器。本实用新型提供一种脉宽和功率可调谐的纳秒脉冲激光光源结构，其采用调节各分束激光脉冲的功率和相互延时的方式，实现平均功率200‑5000W、脉宽30‑2000ns可调谐纳秒脉冲激光输出，从而提升纳秒脉冲激光光源在工业和国防领域的通用性
纳秒脉冲激光分光束可调谐光源结构本实用新型激光信号脉宽放大激光分束激光脉冲分光束脉冲信号合束器输出放大系统固定功率国防领域平均功率同步触发延迟调整延迟系统增益放大种子光源主激光束输出链分束合束延时光源延迟

[发明专利]一种纳秒脉冲光纤激光器-CN201711089617.5有效
发明人：钟亥哲;杨建龙;胡斌;王世伟;范滇元 -专利权人：深圳大学
申请日： 2017-11-08 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： H01S3/067 文献下载
摘要：本发明属于激光技术领域，公开了一种纳秒脉冲光纤激光器，该纳秒脉冲光纤激光器包括：第一级脉冲激光发生器、第二级脉冲激光发生器、第三级脉冲激光发生器和连续激光二极管，第一级脉冲激光发生器包括激光二极管，该第一级脉冲激光发生器的输出端连接于该第二级脉冲激光发生器的输入端，该第二级脉冲激光发生器的输出端和该连续激光二极管分别连接于该第三级脉冲激光发生器的两个输入端的其中一个输入端，构成串联式级联结构。以该激光二级管产生的1.55微米脉冲激光作为初始泵浦源，可直接产生3.47微米纳秒脉冲激光。该纳秒脉冲光纤激光器具有低损耗、紧凑和一体化的优点。
一种脉冲光纤激光器

[实用新型]一种纳秒脉冲翠绿宝石激光装置-CN202123159084.8有效
发明人：陆富源;吉恩才;戴逸翔 -专利权人：密尔医疗科技（深圳）有限公司;北京密尔医疗激光科技有限公司
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： H01S3/08 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种纳秒脉冲翠绿宝石激光装置，涉及激光器技术领域，为解决现有获得波长为725nm到785nm范围内的脉冲激光的方法，不利于实现大能量激光脉冲输出的问题而设计。该纳秒脉冲翠绿宝石激光装置包括沿设定方向依次设置的纳秒脉冲绿光激光器、汇聚透镜和激光谐振腔，其中，纳秒脉冲绿光激光器用于实现波长为532nm的脉冲激光输出；汇聚透镜用于将纳秒脉冲绿光激光器输出的激光汇聚至激光谐振腔；激光谐振腔内设置有翠绿宝石晶体；设定方向为激光输出方向。本实用新型能够实现大能量、短脉冲的波长为725nm到785nm范围内的脉冲激光输出。
一种脉冲翠绿宝石激光装置

[发明专利]一种毫秒长波-纳秒短波双脉冲激光点火系统-CN202110546749.6有效
发明人：吴清潮;吴坚;蔡金;邱岩;李兴文 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2021-05-19 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： F42B3/113 文献下载
摘要：本发明公开了一种毫秒长波‑纳秒短波双脉冲激光点火系统，包括双脉冲激光光纤耦合模块、激光控制模块及膛外激光点火装置；其中，双脉冲激光光纤耦合模块包括毫秒长波激光器、纳秒短波激光器、二向色镜、平凸透镜以及高功率传输光纤；激光控制模块包括第一分光镜、第二分光镜、脉冲激光能量计、连续激光功率计以及可编程脉冲延迟发生器；从毫秒长波激光器发出的毫秒长波脉冲激光直接透过二向色镜，从纳秒短波激光器发出的纳秒短波脉冲激光经二向色镜反射，两者都通过高功率传输光纤进入到膛外激光点火装置。膛外激光点火装置固定于炮膛后部，两束脉冲激光依次输入燃烧室作用于发射药颗粒。本发明可以实现对大口径火炮膛内发射药的直接快速点火。
一种毫秒长波短波脉冲激光点火系统

[发明专利]一种基于变脉宽双脉冲的激光焊接方法及多尺度观测系统-CN202311106732.4在审
发明人：姜澜;高宇航;王素梅;詹洁;李鹏 -专利权人：北京理工大学长三角研究院（嘉兴）;上海无线电设备研究所
申请日： 2023-08-30 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： B23K26/21 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于变脉宽双脉冲的激光焊接方法及多尺度观测系统，属于飞秒激光焊接应用技术领域。本发明通过将一束飞秒脉冲激光分束成两束飞秒脉冲激光，将其中一束飞秒脉冲激光通过脉冲展宽器展成皮秒‑纳秒的脉宽可调脉冲，通过延时平移台可以调控两束脉冲之间的延时，使被焊接界面先被皮秒‑纳秒脉冲激光辐照产生适量的热效应，再由飞秒脉冲激光辐照形成“冷焊接”，通过调控冷热相变过程提高焊接效率和焊接性能，结合多尺度观测系统对焊接过程从飞秒量级到秒量级进行实时观测，本发明具有高效、简单的优点，能够实现对难加工异质材料之间的高质量
一种基于变脉宽双脉冲激光焊接方法尺度观测系统

[发明专利]一种CO2激光/纳秒脉冲激光复合清洗方法-CN201910276904.X有效
发明人：雷正龙;孙浩然;田泽;陈曦;陈彦宾;黎炳蔚 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2019-04-08 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：一种CO2激光/纳秒脉冲激光复合清洗方法，它涉及材料加工工程领域，本发明的目的是针对CO2激光清洗容易对基材产生热影响、纳秒激光清洗效率低的问题，本发明将CO2激光/纳秒脉冲激光复合清洗方法即按照一定的时空关系和能量配比将CO2激光和纳秒脉冲激光进行复合，用复合后的激光进行清洗，充分发挥CO2激光和纳秒脉冲激光清洗的优势，在提高清洗效率的同时，尽可能降低对基材的热影响，并利用两种激光复合产生的复合效应降低所需的能耗
一种 co2 激光脉冲复合清洗方法

[发明专利]半导体硅表面大面积规则分布纳米孔阵列结构制备方法-CN201810440548.6在审
发明人：张成云 -专利权人：广州大学
申请日： 2018-05-09 - 公布日： 2018-10-09 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本发明提供了半导体硅表面大面积规则分布纳米孔阵列结构制备方法，包括：处理硅样品并将其放在三维微位移平台上；飞秒脉冲激光放大级输出飞秒脉冲激光，飞秒脉冲激光依次经过半波片、格兰棱镜、光阑、快门和聚焦物镜后照射在硅样品表面，同时PC机控制所述三维微位移平台在XYZ三个方向上移动，实现样品表面的飞秒脉冲激光直写；利用扫描电子显微镜分析表征经过飞秒脉冲激光直写加工后的硅样品表面微纳结构形貌。该方法基于飞秒脉冲激光微纳加工平台，结合激光直写技术，通过控制飞秒脉冲激光能量密度、激光偏振、激光扫描速度和扫描间距，实现对半导体硅材料表面纳米结构的诱导，方便快速在硅表面诱导出大面积规则分布的纳米孔阵列结构
飞秒脉冲激光纳米孔阵列结构规则分布硅样品半导体硅表面微位移平台直写制备三维诱导扫描电子显微镜分析半导体硅材料表面纳米结构形貌格兰棱镜激光偏振激光扫描激光直写聚焦物镜微纳加工微纳结构样品表面半波片放大级硅表面上移动光阑快门照射扫描输出加工

[发明专利]基于连续/纳秒脉冲组合激光的激光辐照加强方法及系统-CN202310586432.4在审
发明人：李泽文;唐杰;周义青;吕欣宇;吴克寒 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2023-05-23 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于连续/纳秒脉冲组合激光的激光辐照加强方法及系统，方法包括以下步骤：构建连续/纳秒脉冲组合激光，所述连续‑纳秒脉冲组合激光包括连续激光和纳秒脉冲激光；使用连续/纳秒脉冲组合激光对硅基PIN光电探测器进行辐照；系统包括连续激光模块、纳秒激光模块、空间合束模块和系统控制模块。
基于连续脉冲组合激光辐照加强方法系统

[发明专利]陶瓷基复合材料的飞秒-纳秒超脉冲激光平整加工系统-CN202010566345.9有效
发明人：梅雪松;李国基;王文君;凡正杰;闫兆暄;张勇;刘斌;崔健磊;孙铮;运侠伦 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2020-06-19 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： B23K26/352 文献下载
摘要：一种陶瓷基复合材料的飞秒‑纳秒超脉冲激光平整加工系统，包括计算机控制系统，计算机控制系统分别与超脉冲光路系统、监控系统以及激光加工系统连接，计算机控制系统先控制超脉冲光路系统出光和参数调整，然后通过监控系统反馈光路状态，确认超脉冲光路系统正常后，最后通过激光加工系统进行样品制备；计算机控制系统包括计算机，计算机通过数字延时发生器分别连接飞秒激光器和纳秒激光器；超脉冲光路系统包括飞秒激光双脉冲序列光路、纳秒激光单脉冲序列光路以及飞秒‑纳秒激光合束光路；本发明利用飞秒激光双脉冲序列和纳秒激光单脉冲序列组合成具有脉冲时序调控及参数匹配耦合的超脉冲激光，实现陶瓷基复合材料的高效高质表面平整加工。
陶瓷复合材料纳秒超脉冲激光平整加工系统

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