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[发明专利]基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置-CN202211659327.0在审
发明人：请求不公布姓名 -专利权人：东方晶源微电子科技（北京）有限公司
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G06V20/69 文献下载
摘要：本申请提供了一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质，该方法包括：在采集到待检测区域的扫描电子显微镜图像的情况下，提取扫描电子显微镜图像的第一扫描电子显微镜图像轮廓；基于扫描电子显微镜图像对第一扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第二扫描电子显微镜图像轮廓；将第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图对准，生成对准结果；基于对准结果对第二扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓；提取第三扫描电子显微镜图像轮廓的轮廓信息。本申请能够有效地提高扫描电子显微镜图像轮廓的精细度。
基于设计版图扫描电子显微镜图像轮廓提取方法装置

[发明专利]一种扫描电子显微镜能谱仪用测试夹具及测试方法-CN202010257508.5在审
发明人：李嘉琳;李玲;阎海亮;吴军民;金锐;潘艳;邱宇峰;汤广福;滕乐天 -专利权人：全球能源互联网研究院有限公司
申请日： 2020-04-03 - 公布日： 2021-10-12 - 主分类号： G01N23/2204 文献下载
摘要：本发明涉及一种扫描电子显微镜能谱仪用测试夹具，所述测试夹具包括多个夹口，所述各夹口的两边包括不同金属，所述扫描电子显微镜能谱仪包括扫描电子显微镜和能谱分析仪，所述扫描电子显微镜包括扫描电子显微镜舱室，所述夹具设置于所述扫描电子显微镜舱室内，所述能谱分析仪用于：对待测样品截面元素分布进行测试，本发明夹具上的各夹口两边采用不同的金属制造，用来避免夹具与测试样品中含有同一种金属所造成的测试结果干扰，以及测量元素分布不准确的技术问题。
一种扫描电子显微镜能谱仪用测试夹具方法

[发明专利]高精度扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置及设备-CN202211658956.1在审
发明人：张荣佳;韩春营 -专利权人：东方晶源微电子科技（北京）有限公司
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G06T7/13 文献下载
摘要：本申请提供了一种高精度扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质，该方法包括：在采集到多个待检测位置的多个扫描电子显微镜图像的情况下，将多个扫描电子显微镜图像分别与设计版图对准，生成对准结果；基于对准结果提取每一个扫描电子显微镜图像的第一扫描电子显微镜图像轮廓；将每一个第一扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图进行比对，生成比对结果；基于比对结果对每一个第一扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成多个第二扫描电子显微镜图像轮廓；对所有第二扫描电子显微镜图像轮廓求平均，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓。本申请能够有效地提高扫描电子显微镜图像轮廓的精准度。
高精度扫描电子显微镜图像轮廓提取方法装置设备

[实用新型]关键尺寸扫描电子显微镜缺陷监测片-CN201822071934.0有效
发明人：陈灵 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2018-12-11 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：该实用新型涉及一种关键尺寸扫描电子显微镜缺陷监测片，用于监测关键尺寸扫描电子显微镜观测以监测关键尺寸扫描电子显微镜的缺陷状况，包括：裸晶圆；光阻条，形成于裸晶圆上表面，光阻条在关键尺寸扫描电子显微镜具有气流缺陷时发生崩塌，用户通过监测光阻条的崩塌状况来确定关键尺寸扫描电子显微镜是否有气流缺陷。本实用新型的关键尺寸扫描电子显微镜缺陷监测片具有光阻条，通过监测关键尺寸扫描电子显微镜缺陷监测片的崩塌与否，就可以检测关键尺寸扫描电子显微镜的气流缺陷，还可以实现对关键尺寸扫描电子显微镜的颗粒缺陷的监测
扫描电子显微镜缺陷监测崩塌光阻监测裸晶扫描电子显微镜观测本实用新型颗粒缺陷缺陷状况监测光上表面检测

[实用新型]一种电动显微镜系统-CN202223103596.7有效
发明人：董必勤;蒋海娃;康子琛;杨杰 -专利权人：莅时智能科技（上海）有限公司
申请日： 2022-11-22 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G02B21/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种电动显微镜系统，属于电子显微镜领域，包括电子显微镜、显微镜架、扫描平台和控制装置，还包括滴油装置，电子显微镜设置在显微镜架上，显微镜架内部具有Z轴电机，带动电子显微镜垂直方向运动，电子显微镜的下方设置有扫描平台，扫描平台底部具有X轴电机和Y轴电机，带动扫描平台水平方向运动，电子显微镜、Z轴电机、X轴电机和Y轴电机分别与控制装置电连接。具有扫描快速、节省人力、准确率高的特点。
一种电动显微镜系统

[发明专利]对准方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质-CN202211397566.3在审
发明人：请求不公布姓名 -专利权人：东方晶源微电子科技（北京）有限公司
申请日： 2022-11-09 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种对准方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质。该对准方法，包括：采集待检测区域的扫描电子显微镜图像；提取扫描电子显微镜图像的扫描电子显微镜图像轮廓；将扫描电子显微镜图像轮廓转化为与设计版图格式相同的扫描电子显微镜图像轮廓；将转化后的扫描电子显微镜图像轮廓与预设的原始设计版图进行对准
对准方法装置电子设备计算机可读存储介质

[发明专利]使用扫描电子显微镜的检查系统-CN201310205662.8有效
发明人：朴英吉;白原奉;吴基元 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2013-05-29 - 公布日： 2017-12-29 - 主分类号： G01N23/22 文献下载
摘要：一种使用扫描电子显微镜的检查系统包括扫描电子显微镜室，该扫描电子显微镜室通过使用电子束检查待检查物体并维持真空条件；位于所述扫描电子显微镜室下方以与所述扫描电子显微镜室分离并安装有待检查物体的台架；以及用于在所述台架上方传送所述扫描电子显微镜室的横向导向部在所述扫描电子显微镜室与待检查物体之间维持大气条件。相应地，待检查物体，尤其是大尺寸的待检查物体可被检查，而不会损坏待检查物体，从而可实现费用的减少和产量的提高。
使用扫描电子显微镜检查系统

[发明专利]一种基于扫描电子显微镜技术的河砂和海砂的区分方法-CN202111683468.1有效
发明人：任颖芝;倪玉根;习龙 -专利权人：广州海洋地质调查局
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： G01N23/2251 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于扫描电子显微镜技术的河砂和海砂的区分方法，先采用扫描电子显微镜微观形貌分析方法观察待鉴别的砂体样品的微观形貌特征并拍照；再采用扫描电子显微镜微区成分分析方法，选取具有代表性的颗粒特征表面测定附着物质主要成分；然后将待鉴定砂体样品的扫描电子显微镜图像及成分数据进行分类整理，并逐一与河砂和海砂分辨标志进行比对，根据分辨标志对砂体样品的各项特征进行归属，综合鉴别砂体属于河砂还是海砂。本发明通过利用扫描电子显微镜技术对砂体样品进行微观形貌观察和微区成分分析，并将数据结果与本发明建立的基于扫描电子显微镜技术的河砂和海砂分辨标志进行比对，从而对不同砂体进行快速、有效、准确的区分。
一种基于扫描电子显微镜技术区分方法

[发明专利]基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷检测方法、装置-CN202211060150.2在审
发明人：请求不公布姓名 -专利权人：东方晶源微电子科技（北京）有限公司
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质。该方法包括：获取待检测位置的第一扫描电子显微镜图像，以及除待检测位置之外的其他位置的第二扫描电子显微镜图像；基于第一扫描电子显微镜图像和第二扫描电子显微镜图像，分别与待检测位置的设计版图进行对准，得到对准结果；基于对准结果，分别将第一扫描电子显微镜图像和第二扫描电子显微镜图像，与待检测位置的设计版图进行比较，得到差异信息；根据差异信息和配方文件，判断第一扫描电子显微镜图像与设计版图之间的第一差异是否为缺陷。
基于设计版图扫描电子显微镜图像缺陷检测方法装置

[发明专利]一种扫描电子显微镜像散的校正方法-CN03141806.6无效
发明人：盛克平;丁听生;陆国辉 -专利权人：上海市计量测试技术研究院
申请日： 2003-07-24 - 公布日： 2004-02-11 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：本发明涉及显微镜像差校正的技术领域，尤其是涉及一种扫描电子显微镜像散的校正方法。它包括如下步骤：a.选取校正样品；b.将校正样品放置在扫描电子显微镜的样品台上；c.开启扫描电子显微镜；d.将扫描电子显微镜的放大倍率调整到≥3000倍，工作距离调整到8～15mm；e.将校正样品的扫描电子显微镜图像调整到正聚焦状态；f.使用扫描电子显微镜的图像消除像散功能，将图像的边缘轮廓调整到清晰状态。本发明解决了以往在未知的被测样品上寻找一块理想的结构来校正系统像散的困难，可使本技术领域的普通技术人员在扫描电子显微镜中校正像散的工作变得很方便。
一种扫描电子显微镜校正方法

[发明专利]一种扫描电子显微镜成像系统的建模方法-CN201611218565.2有效
发明人：李中伟;刘行健;史玉升;钟凯 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2016-12-26 - 公布日： 2019-12-17 - 主分类号： G06T7/80 文献下载
摘要：本发明公开一种扫描电子显微镜成像系统的建模方法，属于计算机视觉领域，其包括S1:建立扫描电子显微镜成像系统的放大倍率m与在该放大倍率下扫描电子显微镜成像系统成像模型矩阵K间的关系，进而推算获得成像模型，S2：解算模型矩阵K，获得扫描电子显微镜成像系统的模型。本发明方法基于扫描电子显微镜成像系统的模型参数随着放大倍率的连续性变化原理，建立了基于扫描电子显微镜成像系统的模型参数与放大倍率之间的函数映射，在此基础上建立了成像模型，该模型可在实际工程中应用。
一种扫描电子显微镜成像系统建模方法

[发明专利]一种扫描电子显微镜有效镀金的植纹鉴定方法-CN202010701112.5在审
发明人：陆静梅;都新林;麻莹;楚金盟 -专利权人：吉林大学
申请日： 2020-07-18 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： G01N23/2251 文献下载
摘要：本发明公开了一种扫描电子显微镜有效镀金的植纹鉴定方法，针对法医物证扫描电子显微镜植物微小植纹的特点，建立扫描电子显微镜植物残片植纹的结构，消除植纹细胞结构中存在原生质体干燥后聚结的堵塞物，使植纹细胞结构成为清晰五杂物；增加了检材的植纹鉴定准确性，提升了法医对扫描电子显微镜植物微小残片的鉴定效果，本发明制作扫描电子显微镜植物残片植纹鉴定标准样，为精准破案提供了理论依据，为刑事侦查破案提供了描电子显微镜植物残片植纹的结构鉴定的技术支持
一种扫描电子显微镜有效镀金鉴定方法

[发明专利]一种与扫描电镜联用的原位疲劳测试系统-CN202210806123.9在审
发明人：张跃飞;王晋;李隆玉;张泽 -专利权人：浙江大学
申请日： 2022-07-08 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： G01N3/06 文献下载
摘要：本发明公开一种与扫描电镜联用的原位疲劳测试系统，包括疲劳室、扫描电子显微镜和试样转移机构，疲劳室内设置有疲劳试验台；扫描电子显微镜的腔体通过输送管路与疲劳室连接，且输送管路上设置有能够使扫描电子显微镜的腔体与疲劳室分隔或连通的阻断器扫描电子显微镜的腔体与疲劳室连通，通过试样转移机构将疲劳试验台经输送管路传输到扫描电子显微镜的腔体内对试验进行观测；观测完成后，试样转移机构将疲劳试验台传回到疲劳室中，并通过阻断器使扫描电子显微镜的腔体与疲劳室分隔由于试样测试空间和观测空间能够完全分隔，疲劳测试系统能不受扫描电子显微镜的使用限制长时间连续运行，而且能够对试样施加多种极端的耦合条件。
一种扫描电镜联用原位疲劳测试系统

[发明专利]高分辨分析探测台-CN99810154.0无效
发明人： F·K·霍尔曼 -专利权人：微操作控制器股份有限公司
申请日： 1999-08-26 - 公布日： 2001-09-26 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：一种用于使用电子显微镜(SEM)通过电测试信号在集成电路样品上探测的方法和系统,其中设置电子显微镜用于观察样品(50)上暴露导电端子的表面。设置托盘为扫描电子显微镜(10)支撑样品(50),同时,计算机从扫描电子显微镜(12)获得确定样品(50)的表面的导电路径标记的图像。由计算机遥控的电动操纵器操纵多个探针(24),它们能够在样品(50)的表面上定位,以在容纳了扫描电子显微镜(12)、托盘(25)、电动操纵器和用于在真空中分析样品(50)的多个探针(24)的真空室内壳(
分辨分析探测

[发明专利]半导体晶圆制造中铝焊盘质量的表征方法-CN202010140862.X在审
发明人：华佑南;李晓旻 -专利权人：胜科纳米（苏州）有限公司
申请日： 2020-03-03 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及半导体晶圆制造中铝焊盘质量的表征方法，对晶圆的铝焊盘进行以下方面检测：光学显微镜观察铝焊盘的缺陷和变色情况；扫描电子显微镜分析铝焊盘的缺陷；俄歇电子能谱分析铝焊盘上的污染水平；透射电子显微镜分析铝焊盘上的氧化铝厚度；若全部合格，则铝焊盘质量合格。本发明提供的半导体晶圆制造中铝焊盘质量的表征方法，联合应用光学显微镜、扫描电子显微镜、俄歇电子能谱和透射电子显微镜来对半导体晶圆上铝焊盘的质量进行检测，若所有的检测结果满足预定的标准，则晶圆上的铝焊盘质量是合格的
半导体制造中铝焊盘质量表征方法

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