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[实用新型]一种电阻性超导异步双线逻辑与门电路-CN200920190225.2无效
发明人：官伯然;王磊;方志华;张忠海;吴爱婷 -专利权人：杭州电子科技大学
申请日： 2009-08-03 - 公布日： 2010-05-19 - 主分类号： H03K19/20 文献下载
摘要：目前已有的超导异步双线电路的逻辑门结构具有使用约瑟夫森结的数量过多和布线困难的缺陷。本实用新型包括四个约瑟夫森量子干涉器和一个扼流电阻，第一约瑟夫森量子干涉器和第二约瑟夫森量子干涉器均由四个约瑟夫森结和二个连接电感组成，第三约瑟夫森量子干涉器和第四约瑟夫森量子干涉器均由三个约瑟夫森结和一个连接电感组成本实用新型提出的逻辑与门结构，利用电阻消耗掉逻辑门触发后残留在门电路中的环路电流，而使得所需的约瑟夫森结的数量大大减小。
一种电阻超导异步双线逻辑与门电路

[发明专利]无磁屏蔽环境下抑制磁场干扰的SQUID器件的结构-CN201410414568.8有效
发明人：刘全胜;王会武;应利良;张国峰;王镇 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2014-08-21 - 公布日： 2017-09-26 - 主分类号： H01L39/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种无磁屏蔽环境下抑制磁场干扰的SQUID器件的结构，其特征在于在约瑟夫森结的周围制作一圈超导壁，超导壁包围了约瑟夫森结，超导壁起到一个微型磁屏蔽的作用，使外加磁场对约瑟夫森结的干扰得到抑制。超导壁的高度远大于约瑟夫森结的绝缘层厚度。在SQUID的核心结构约瑟夫森结周围制作了一圈基于超导薄膜材料的超导壁，这圈超导壁可以有效的屏蔽外界磁场进入到约瑟夫森结中，从而有效的防止了外界磁场对约瑟夫森结的影响，提高SQUID参数的稳定性。
屏蔽环境抑制磁场干扰 squid 器件结构

[发明专利]约瑟夫森结制备装置、方法及约瑟夫森结-CN202210879939.4在审
发明人：黄自强;王晨;徐敏;徐赛生;张卫 -专利权人：复旦大学;上海集成电路制造创新中心有限公司
申请日： 2022-07-25 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： H01L39/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种约瑟夫森结制备装置、方法及约瑟夫森结。该装置包括输送单元、第一沉积单元、第二沉积单元、光刻单元和刻蚀单元，通过第一沉积单元和第二沉积单元制备约瑟夫森结，通过光刻单元和刻蚀单元对约瑟夫森结进行图形化。本发明的约瑟夫森结制备装置通过真空通道对第一沉积单元、第二沉积单元、光刻单元和刻蚀单元进行连通，通过第一沉积单元、第二沉积单元、光刻单元和刻蚀单元分别设置于真空通道的不同侧面，通过输送单元对约瑟夫森结在四个加工单元内进行输送，能够极大的降低约瑟夫森结在制备和图形化过程中需要移动的距离，降低传递过程会对器件性能的影响，保证约瑟夫森结薄膜质量的一致性。
约瑟夫制备装置方法

[发明专利]可容错的约瑟夫森结阵、动态三进制设计方法及设备-CN202310189237.8在审
发明人：曹文会;杨二昆;李劲劲;马孟泽;钟源;钟青;乔瓛 -专利权人：中国计量科学研究院
申请日： 2023-02-22 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G06F30/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种可容错的约瑟夫森结阵、动态三进制设计方法及设备，所述方法包括步骤：预先设计约瑟夫森结阵为动态三进制结阵；测试分析制作完成的约瑟夫森结阵是否出现超导短路；若是，则判断超导短路导致段中缺失的结数是否超出预设的缺失结数阈值；若未超出，则判断该约瑟夫森结阵正常。在约瑟夫森结阵的制作出现超导短路导致的结数缺失问题时，采用本发明的可容错的设计方法，使得约瑟夫森结阵仍可以正常工作，并且其电压输出精度不受影响。
容错约瑟夫森结阵动态三进制设计方法设备

[实用新型]一种超导电路结构-CN202223377229.6有效
发明人：请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;赵勇杰 -专利权人：本源量子计算科技（合肥）股份有限公司
申请日： 2022-12-14 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： H10N60/12 文献下载
摘要：针对相关技术中约瑟夫森结由于环境改变带来的温度湿度及其它影响因素的干扰，而导致电学参数的改变甚至损坏的问题，本申请提供的超导电路结构包括至少一个约瑟夫森结，以及位于约瑟夫森结上的保护膜，通过保护膜使约瑟夫森结与外部环境隔绝，实现了对约瑟夫森结的保护，提高了电学参数的稳定性，确保约瑟夫森结的电学参数不易因工艺环境的改变而波动。
一种超导电路结构

[发明专利]一种约瑟夫森行波放大器及其制备方法-CN202010524020.4在审
发明人：薛光明;于海峰;金贻荣 -专利权人：北京量子信息科学研究院
申请日： 2020-06-10 - 公布日： 2020-09-08 - 主分类号： H03F7/04 文献下载
摘要：本申请公开一种约瑟夫森行波放大器及其制备方法。所述约瑟夫森行波放大器包括两层金属层和中间介质层；第一金属层为铝薄膜，使用紫外光刻制备电容的下面板、电感和地平面；第二金属层使用双角度蒸发制备约瑟夫森结和电容的上面板；中间介质层使用单原子层沉积生长的氧化铝薄膜，完全覆盖第一金属层；多个约瑟夫森结构成传输线，传输线两端分别构成约瑟夫森行波放大器输入端口和输出端口；每个约瑟夫森结之间用平板电容与地连接，并在传输线弯折处采用共面波导线连接。采用本申请提供的约瑟夫森行波放大器能够减少材料损耗，简化制备工艺，提高器件制备的成品率。
一种约瑟夫行波放大器及其制备方法

[发明专利]电阻性超导异步双线逻辑通用型门电路-CN200910101082.8有效
发明人：官伯然;王磊;吴爱婷;方志华;张忠海 -专利权人：杭州电子科技大学
申请日： 2009-08-03 - 公布日： 2010-01-13 - 主分类号： H03K19/20 文献下载
摘要：目前已有的超导异步双线电路的逻辑门结构具有使用约瑟夫森结的数量过多和布线困难的缺陷。本发明包括四个约瑟夫森量子干涉器和两个扼流电阻，每个约瑟夫森量子干涉器由四个约瑟夫森结和三个连接电感组成。其中相邻的两个约瑟夫森量子干涉器共用两个约瑟夫森结。本发明提出的逻辑门结构，利用电阻消耗掉逻辑门触发后残留在门电路中的环路电流，而使得所需的约瑟夫森结的数量大大减小。
电阻超导异步双线逻辑通用型门电路

[发明专利]可扩展的超导量子比特结构-CN201910070947.2有效
发明人：邓辉;龚明;吴玉林;梁福田;廖胜凯;彭承志;朱晓波;潘建伟 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2019-01-24 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： G06N10/40 文献下载
摘要：本发明公开了一种可扩展的超导量子比特结构，包括：多个超导量子比特线路，每个超导量子比特线路包含：至少一个约瑟夫森结结构，该约瑟夫森结结构为一个约瑟夫森结、或多个约瑟夫森结、或者约瑟夫森结与辅助线路构成的组合；以及与约瑟夫森结直接相连的电容和电感；以及一耦合器线路，用于调节与耦合器相连的超导量子比特之间的耦合强度，且该耦合强度可调至接近或等于零；其中，与约瑟夫森结直接相连的电容为多个，超导量子比特通过多个电容形成的分支结构与其它电路进行耦合
扩展超导量子比特结构

[发明专利]约瑟夫森结阵列及共面波导结构-CN201810373181.0在审
发明人：钟源;王兰若;李劲劲;钟青;王雪深;屈继锋;曹文会 -专利权人：中国计量科学研究院
申请日： 2018-04-24 - 公布日： 2018-09-14 - 主分类号： H01L39/24 文献下载
摘要：本申请提供一种约瑟夫森结阵列及共面波导结构。所述第一结堆栈和所述第二结堆栈均为多层势垒结构，在垂直于所述第一电极方向形成多堆栈约瑟夫森结。所述多个第一电极间隔设置，一个所述第二电极将相邻的两个所述结堆栈对中的所述第一结堆栈和所述第二结堆栈电连接，形成多堆栈约瑟夫森结不同方向的串联。所述约瑟夫森结阵列及共面波导结构在相同结数集成度条件下缓解了垂直方向上的约瑟夫森结堆栈数量的压力。通过约瑟夫森结在不同方向上的串联连接，所述约瑟夫森结阵列的分布散热的效果大大提高，大规模集成约瑟夫森结阵的大电流偏置工作范围不会受到限制，并且在制备角度有利于后续绝缘层的高质量覆盖，提高芯片成品率。
约瑟夫森结堆栈共面波导结构第一电极绝缘层大规模集成芯片成品率第二电极间隔设置势垒结构大电流电连接集成度散热多层偏置制备串联垂直缓解覆盖申请

[发明专利]实现拓扑量子比特的装置和相应的制备方法-CN201811416752.0有效
发明人：王骏华;吕力 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2018-11-26 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： H01L39/22 文献下载
摘要：本发明提供一种实现拓扑量子比特的装置，包括：可调门的拓扑绝缘层；所述拓扑绝缘层之上的第一绝缘层和第二绝缘层；第一射频超导量子干涉器和第二射频超导量子干涉器，所述第一射频超导量子干涉器包括第一约瑟夫森结和用于连通所述第一约瑟夫森结的超导部分的第一超导连通部分，所述第二射频超导量子干涉器包括第二约瑟夫森结和用于连通所述第二约瑟夫森结的超导部分的第二超导连通部分；绝缘介质薄膜，其位于所述第一约瑟夫森结和所述第二约瑟夫森结之间并覆盖所述第一约瑟夫森结的至少一部分和所述第二约瑟夫森结的至少一部分
实现拓扑量子比特装置相应制备方法

[发明专利]一种约瑟夫森结、约瑟夫森结阵列、其制备方法和用途-CN202111480542.X有效
发明人：杨丽娜;冯加贵;熊康林;贾浩林;吴艳伏 -专利权人：材料科学姑苏实验室
申请日： 2021-12-07 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： H01L39/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种约瑟夫森结、约瑟夫森结阵列、其制备方法和用途，所述约瑟夫森结的制备方法包括：选用A面蓝宝石作为衬底，基于小的晶格错配度，可制备出表面平整的准外延Ta（110）超导薄膜，作为约瑟夫森结下电极；进一步地，借助氧化或者沉积方法形成致密、稳定且可控的Ta2O5氧化层作为约瑟夫森结中间层；其上再沉积一层Ta超导层作为约瑟夫森结上电极；后兼容光刻和空气桥方案进行超导电路制备及结电极的导通，完成约瑟夫森结阵列制备。所涉及方案中采用化学钝化方式对超导电路及约瑟夫森结进行保护。本发明避免了复杂的悬胶和双倾角蒸镀等工艺步骤，具有工艺步骤简洁，成品率高、可规模化等特点。
一种约瑟夫阵列制备方法用途

[发明专利]一种约瑟夫森结及超导量子干涉器件的制备方法-CN202010066840.3有效
发明人：伍文涛;梁恬恬;张国峰;应利良;王永良;高波;彭炜;王镇 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2020-01-20 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H10N60/01 文献下载
摘要：本申请提供一种约瑟夫森结及超导量子干涉器件的制备方法，该约瑟夫森结的制备方法包括以下步骤：获取衬底；在衬底上依次制备第一超导薄膜层、绝缘层和第二超导薄膜层；采用曝光显影结合刻蚀技术对第二超导薄膜层的第一区域进行刻蚀处理，形成第一约瑟夫森结区；采用曝光显影结合刻蚀技术对第二超导薄膜层的第二区域进行刻蚀处理，于第一区域和第二区域的重叠部分形成第二约瑟夫森结区；第二约瑟夫森结区的尺寸能够通过调整衬底的位置或调整校准片的位置调整为本申请实施例提供的约瑟夫森结的制备方法对第二超导薄膜层采用两次曝光显影结合刻蚀技术定义约瑟夫森结区，能够实现亚微米约瑟夫森结的制备。
一种约瑟夫超导量子干涉器件制备方法

[发明专利]基于反常约瑟夫森效应的器件、其制备及相位调控方法-CN202111411901.6在审
发明人：张祥;吕力 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： H01L39/22 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于反常约瑟夫森效应的器件所述基于反常约瑟夫森效应的器件从下至上依次包括衬底、纳米片、约瑟夫森N结图层(N为≥3的整数)、第一层金属膜、绝缘层、探测电极图层、第二层金属膜，还提供了其制备及相位调控方法本发明的基于反常约瑟夫森效应的器件利用反常约瑟夫森效应来调控结区的相位差，从而丰富调控结区相位差的手段，同时也能完全控制约瑟夫森多结所有的相位差，有助于未来对拓扑量子比特的操控与读取。
基于反常约瑟夫效应器件制备相位调控方法

[发明专利]超导量子比特及其制备方法、量子储存器及量子计算机-CN202011166998.4在审
发明人：邓昊 -专利权人：阿里巴巴集团控股有限公司
申请日： 2020-10-27 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： H01L39/02 文献下载
摘要：其中，该超导量子比特包括：约瑟夫森结和非约瑟夫森结部分，其中，非约瑟夫森结部分包括：第0层超导材料层，其中，第0层超导材料层为在制备超导量子比特载体时，在对约瑟夫森结和非约瑟夫森结部分进行离子铣削前，在非约瑟夫森结部分积淀的超导材料
超导量子比特及其制备方法储存器计算机

[发明专利]使用具有非重叠带宽的级联多路干涉约瑟夫逊隔离器的频率复用微波信号的隔离-CN201880076614.4有效
发明人： B.阿卜杜 -专利权人：国际商业机器公司
申请日： 2018-01-05 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H03K3/38 文献下载
摘要：一种级联微波隔离器(级联体)，包括约瑟夫逊器件的集合，该集合中的每个约瑟夫逊器件具有微波频率的相应操作带宽。不同的操作带宽具有不同的相应中心频率。串联耦合形成在来自该集合的第一约瑟夫逊器件与来自该集合的第n约瑟夫逊器件之间。串联耦合使得第一约瑟夫逊器件在通过串联耦合的第一信号流方向上隔离来自频率复用微波信号(复用信号)的第一频率的信号，并且使得第n约瑟夫逊器件在通过串联耦合的第一信号流方向上隔离来自复用信号的第n频率的信号
使用具有重叠带宽级联干涉约瑟夫隔离器频率微波信号隔离