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[发明专利]PVD-CVD联用制备类金刚石膜的方法、类金刚石膜、合金材料及汽车部件-CN202111124614.7有效
发明人：龙丹;林勇刚;王立利 -专利权人：科汇纳米技术（深圳）有限公司
申请日： 2021-09-25 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： C23C28/00 文献下载
摘要：本申请涉及类金刚石层领域，尤其涉及一种PVD‑CVD联用制备类金刚石膜的方法、类金刚石膜、合金材料及汽车部件。PVD‑CVD联用制备类金刚石膜的方法，先在基材表面通过PVD法依次镀制Cr层、CrW层以及WC层；之后在所述WC层上通过CVD法镀制类金刚石层。类金刚石膜，采用上述PVD‑CVD联用制备类金刚石膜的方法制备而得，类金刚石膜包括依次叠合的Cr层、CrW层、WC层以及类金刚石层，Cr层与基材连接。合金材料，其表面镀制有上述类金刚石膜。本申请通过在基材表面依次镀制Cr层、CrW层及WC层而构成了一个性能渐变的过渡层，使从基材到类金刚石层的性能变化更加缓和，从而减少了“蛋壳效应”的产生，有利于类金刚石层更好的发挥作用。
pvd cvd 联用制备金刚石方法合金材料汽车部件

[发明专利]一种多层结构的类金刚石膜及其制备方法-CN201811516132.4在审
发明人：刘畅;刘晓阳;张钦辉;张海峰 -专利权人：北京首量科技股份有限公司
申请日： 2018-12-12 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种多层结构的类金刚石膜，包括基层、N个软类金刚石亚层，M个硬类金刚石亚层，其中，所述M等于所述N为自然数，且一一对应，所述基层设置在最下端，所述硬类金刚石亚层设置在基层的上表面，所述软类金刚石亚层设置在硬类金刚石亚层的上表面，所述软类金刚石亚层和硬类金刚石亚层交替叠加的方式设置。相对于现有技术，该类金刚石膜当基体脉冲直流偏压占空比较高(如40％)时，类金刚石膜和内应力会得到提高。
一种多层结构金刚石及其制备方法

[发明专利]膜层及其形成方法-CN202110304036.9有效
发明人：邓新莲 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2021-03-22 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种膜层及其形成方法，其中，形成方法包括：提供基底；在所述基底上形成类金刚石膜层，所述类金刚石膜层内具有碳氢化学键；对所述类金刚石膜层进行光催化处理，以使至少部分所述碳氢化学键断开，减少所述类金刚石膜层中的氢元素含量本发明实施例提供的膜层的形成方法，有利于提高类金刚石膜层的硬度并且降低类金刚石膜层的内应力。
及其形成方法

[发明专利]一种类金刚石厚膜及其制备方法及一种工件-CN201510099972.5有效
发明人：孙德恩;张文勇;陈美容;黄佳木 -专利权人：重庆大学
申请日： 2015-03-06 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种类金刚石厚膜，包括结合层；复合于结合层的过渡层；复合于过渡层的类金刚石膜层；所述类金刚石膜层由sp3键含量不同的类金刚石子膜叠加而成。本发明通过将sp3键含量不同的类金刚石子膜叠加，得到类金刚石膜层，其中不涉及到引入外加异质元素，有效避免了异质元素掺杂导致膜层力学性能恶化的难题。并且，本发明通过将sp3键含量不同的类金刚石子膜进行叠加，大大降低了层与层之间的应力，层与层之间结合力较强，不会发生剥离。
种类金刚石及其制备方法一种工件

[发明专利]一种聚晶金刚石复合片的基底材料及其制备方法、聚晶金刚石复合片-CN201810717712.3有效
发明人：李翠;孔帅斐 -专利权人：河南富莱格超硬材料有限公司
申请日： 2018-06-29 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及一种聚晶金刚石复合片的基底材料及其制备方法、聚晶金刚石复合片，属于聚晶金刚石复合片技术领域。本发明的硬质合金复合材料，包括硬质合金衬底层、用于设置聚晶金刚石层的类金刚石碳膜层、设置于硬质合金衬底层和类金刚石碳膜层之间的过渡层；所述过渡层包括金属层、金属键型硬质材料层中的至少一种。本发明的聚晶金刚石复合片的基底材料，表面为用于设置聚晶金刚石层的类金刚石碳膜层，能够大大增强基底材料与聚晶金刚石层的结合强度，延长聚晶金刚石复合片的使用寿命；在衬底层与类金刚石碳膜层之间设置过渡层以增强类金刚石碳膜层与硬质合金衬底层之间的结合强度
一种金刚石复合基底材料及其制备方法

[发明专利]一种硅基底类金刚石保护膜及其制备方法-CN201811574807.0在审
发明人：李刚;董力;杨伟声;张红梅;吴栋才;王春育;田湫 -专利权人：云南北方驰宏光电有限公司
申请日： 2018-12-21 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： C23C28/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅基底类金刚石保护膜，包括硅基底、类金刚石保护膜及锗连接层；所述锗连接层设置于硅基底与类金刚石保护膜之间。本发明中的一种硅基底类金刚石保护膜，在硅基底与类金刚石保护膜之间设置了锗连接层，增强了类金刚石保护膜在硅基底上的附着力，特别是提高了硅基底边缘类金刚石保护膜的附着力，避免了边缘出现脱膜现象，实现类金刚石保护膜在硅基底上全口径稳定覆盖
类金刚石保护膜硅基连接层附着力脱膜现象底边缘全口径制备生产成本覆盖

[发明专利]一种湿度环境自适应类金刚石膜及其制备方法-CN201811516645.5在审
发明人：刘畅;刘晓阳;张钦辉;张海峰 -专利权人：北京首量科技股份有限公司
申请日： 2018-12-12 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种湿度环境自适应类金刚石膜，包括基层，N个无氢型类金刚石亚层和M个含氢型类金刚石亚层，其中，所述M等于所述N为自然数，且一一对应，所述基层的上面设有含氢型类金刚石亚层，所述含氢型类金刚石亚层的上表面设有无氢型类金刚石亚层，其中，所述含氢型类金刚石亚层和无氢型类金刚石亚层交替叠加设置。相对于现有技术，该类金刚石膜多层结构的设计其目的在于自适应相对湿度变化较大的环境。
一种湿度环境自适应金刚石及其制备方法

[发明专利]类金刚石膜层的表面处理方法及制品-CN201210117519.9有效
发明人：曹达华 -专利权人：深圳富泰宏精密工业有限公司
申请日： 2012-04-20 - 公布日： 2017-09-29 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：一种类金刚石膜层的表面处理方法，其包括如下步骤提供基体；采用离子束辅助磁控溅射沉积技术，在基体表面形成类金刚石膜层；对该类金刚石膜层进行离子源渗透处理，在类金刚石膜层内掺杂硅元素和氟元素，该离子源渗透处理的温度为本发明还提供一种经上述类金刚石膜层的表面处理方法制得的制品。
金刚石表面处理方法制品

[发明专利]透明导电膜及其制备方法-CN200810207263.4无效
发明人：张德恒;徐照方 -专利权人：上海摩根碳制品有限公司
申请日： 2008-12-18 - 公布日： 2010-06-23 - 主分类号： H01B5/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种透明导电膜，包括一金属银层，所述金属银层两侧分别复合有一类金刚石薄膜层，上述层结构的排列顺序为内层类金刚石薄膜/银/外层类金刚石膜，所述内层类金刚石膜层的厚度为10～60nm，所述银层厚度为12～22nm，所述外层类金刚石膜层厚度为20～50nm，并且上述层厚度不能同时取两端的值。
透明导电及其制备方法

[发明专利]用于有机发光二极管器件的防水涂层-CN200880005878.7无效
发明人：莫塞斯·M·大卫;弗雷德·B·麦考密克;马克·A·勒里希 -专利权人： 3M创新有限公司
申请日： 2008-02-07 - 公布日： 2010-01-20 - 主分类号： H01L51/52 文献下载
摘要：本文描述了一种用于制造无定形类金刚石膜层的方法，所述无定形类金刚石膜层用于保护水分或氧气敏感的电子器件。所述方法包括从硅油中形成等离子体，从所述等离子体中沉积无定形类金刚石膜层，并且将所述无定形类金刚石膜层与水分或氧气敏感的电子器件结合以形成受保护的电子器件。本发明还公开了包括在有机电子器件上的无定形类金刚石膜层的制品。
用于有机发光二极管器件防水涂层

[发明专利]一种悬臂件-CN202111591056.5在审
发明人：李万品 -专利权人：东莞新科技术研究开发有限公司
申请日： 2021-12-23 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： C23C14/14 文献下载
摘要：本发明涉及机械技术领域，公开了一种悬臂件，其包括悬臂件本体、硅过渡层、碳化硅缓冲层和类金刚石膜；所述硅过渡层设于所述悬臂件本体和所述碳化硅缓冲层之间，所述碳化硅缓冲层设于所述硅过渡层和所述类金刚石膜之间，这样，类金刚石膜的内应力通过硅过渡层和碳化硅缓冲层得到释放，从而增强了类金刚石膜与悬臂件本体之间的结合力以及各个层之间的结合力，确保了类金刚石膜能够可靠连接在悬臂件上。
一种悬臂

[发明专利]一种具有多层类金刚石碳膜的模具的制作方法-CN200510101790.3无效
发明人：陈杰良 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2005-11-25 - 公布日： 2007-05-30 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有多层类金刚石碳膜的模具的制作方法，其制作的多层类金刚石碳膜的模具包括：一基底，该基底上依次形成一粘合层、一强化层、一非晶质含氮类金刚石碳层、一非晶质含氮氢类金刚石碳层、一非晶质含氢类金刚石碳层该制作方法是采用射频溅镀沉积形成各膜层，各膜层沉积质量高，彼此之间附着力强，所制作的具有多层类金刚石碳膜的模具具有良好的机械性能，高硬度与高耐磨性，良好的抗腐蚀性，低摩擦系数及长使用寿命。
一种具有多层金刚石模具制作方法

[发明专利]类金刚石复合膜、其制备方法及超声工具头-CN201710153419.4在审
发明人：张建华;吕博;吴行阳 -专利权人：上海大学
申请日： 2017-03-15 - 公布日： 2017-08-15 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：本发明提供一种类金刚石复合膜、其制备方法及及超声工具头。一种类金刚石复合膜，包括金属层；过渡层，层叠于所述金属层的表面；类金刚石层，层叠于所述过渡层的表面；其中，所述过渡层的材料包括硅的碳化物及钛的碳化物。上述类金刚石复合膜抗空蚀能力较好。
金刚石复合制备方法超声工具

[实用新型]一种触摸显示器及其盖板-CN201520984822.8有效
发明人：丁秒;吴德生;朱得菊;牛永宾;吴雨风 -专利权人：信利光电股份有限公司
申请日： 2015-11-30 - 公布日： 2016-04-06 - 主分类号： G06F3/041 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种触摸屏盖板，该触摸屏盖板包括：基板；设置在所述基板表面的类金刚石膜层；设置在所述类金刚石膜层背离所述基板一侧的防指纹膜层；设置在所述类金刚石膜层与所述防指纹膜层之间的过渡膜层；其中，所述过渡膜层用于增强所述防指纹膜层与所述类金刚石膜层之间的附着力。所述触摸屏盖板解决了所述防指纹膜层使用寿命短的问题。
一种触摸显示器及其盖板

[发明专利]封装保护结构-CN02142953.7有效
发明人：陈光荣 -专利权人：统宝光电股份有限公司
申请日： 2002-09-13 - 公布日： 2004-03-17 - 主分类号： H05B33/04 文献下载
摘要：该封装保护结构完全覆盖在一基底上的一电路元件上，该封装保护结构包含有一第一层类金刚石碳膜，用来当作该封装保护结构的最下层，一缓冲层设于该第一层类金刚石碳膜表面，以及一第二层类金刚石碳膜，覆盖该缓冲层及部分该第一层类金刚石碳膜，用来当作该封装保护结构的最上层并与该第一类金刚石碳膜形成一回路结构。
封装保护结构

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