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[发明专利]磁控溅射镀膜腔室、镀膜机以及镀膜方法-CN202111316908.X有效
发明人：谭志 -专利权人：武汉中维创发工业研究院有限公司
申请日： 2021-11-09 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：该磁控溅射镀膜腔室包括镀膜罩，样品台以及多个由外到内分布的磁控管组。其中，各磁控管组中具有偶数个磁控管且第1磁控管组的磁控管组中磁控管的数量≥4，第2磁控管组的磁控管组中磁控管的数量≥2，磁控管包括内磁体和位于内磁体两侧的两个外磁体，内磁体的极性与外磁体的极性相反。第1磁控管组中相邻的两个磁控管的外磁体的极性相反，所述第2磁控管组中相邻的两个磁控管的外磁体的极性相同。此时第2磁控管组中磁控管的磁力线会向外围延伸，同时被第1磁控管组中磁控管的磁力线束缚，这样可以有效提高等离子体的溅射纵深，进而提高大尺寸基材表面镀层厚度的均匀性。
磁控溅射镀膜以及方法

[发明专利]一种磁控管的起动方法和变频电源-CN202111137886.0在审
发明人：官继红 -专利权人：深圳麦格米特电气股份有限公司
申请日： 2021-09-27 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： H05B6/66 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种磁控管的起动方法，所述方法包括：在磁控管预热结束后，调整所述磁控管的阳极电压，以使所述阳极电压变为第一电压，所述第一电压低于所述磁控管的起振阈值电压；等待预设时间后，增大所述磁控管的阳极电压，以使所述阳极电压变为第二电压，所述第二电压高于或等于所述起振阈值电压，所述第二电压用于使所述磁控管起振。本发明提供的磁控管的起动方法，在磁控管预热阶段结束后，调整磁控管阳极电压，使磁控管阳极电压低于磁控管的起振阈值电压，从而使得磁控管阳极电压有机会穿越磁控管的起振阀值电压，保证磁控管能够正常起振以及正常工作
一种磁控管起动方法变频电源

[实用新型]一体化磁控管单元-CN202022437307.1有效
发明人：任昆;苏涛 -专利权人：西安正中装备技术有限公司
申请日： 2020-10-28 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： H01J25/50 文献下载
摘要：本公开提供的一体化磁控管单元，涉及磁控管技术领域。该一体化磁控管单元包括至少一个磁控管、为所述至少一个磁控管供电的电源、以及为所述至少一个磁控管降温的冷却装置；所述至少一个磁控管、为所述至少一个磁控管供电的电源、以及为所述至少一个磁控管降温的冷却装置设置成一个整体本公开提供的一种一体化磁控管单元，通过将至少一个为所述至少一个磁控管供电的电源、以及为所述至少一个磁控管降温的冷却装置组成一个整体，在磁控管阵列使时，一旦一个磁控管单元出现故障时，不会影响其他磁控管单元的运行；并且在批量使用时，可以拆下一个磁控管单元单独进行维修，而不影响磁控管阵列的整体运行。
一体化磁控管单元

[发明专利]用于微波炉的磁控管驱动电路板-CN03103806.9无效
发明人：韩龙云;张成德;曹永元;余周勇;韩大成 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2003-02-11 - 公布日： 2004-03-17 - 主分类号： H05B6/64 文献下载
摘要：一种微波炉，具有能够产生微波的磁控管、为磁控管提供高压电的磁控管驱动电路和容纳所述磁控管和磁控管驱动电路的机械室，所述微波炉包括：单一磁控管驱动电路板，其中所述磁控管和磁控管驱动电路的电子装置安装在单一电路板上其中磁控管驱动电路板通过安装件固定地连接在机械室上。
用于微波炉磁控管驱动电路板

[发明专利]磁控管装置及磁控溅射设备-CN202210467364.5有效
发明人：郭浩;王厚工;李冬冬;佘清;杨玉杰;刘学滨 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-04-29 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本申请公开一种磁控管装置及磁控溅射设备，磁控管装置用于作用靶材组件而溅射粒子。磁控管装置包括第一磁控管、第二磁控管和第一驱动机构，其中：第一驱动机构与第一磁控管和第二磁控管均相连，第一驱动机构用于驱动第一磁控管和第二磁控管移动而使其中一者靠近靶材组件、且另一者远离靶材组件；在第一磁控管靠近靶材组件的情况下，第一磁控管与靶材组件的环带区域对应布置；在第二磁控管靠近靶材组件的情况下，第二磁控管与靶材组件的中部区域对应布置。
磁控管装置磁控溅射设备

[发明专利]磁控管温度调节方法、装置及系统、变频电源及微波设备-CN201710702609.7有效
发明人：官继红 -专利权人：深圳麦格米特电气股份有限公司
申请日： 2017-08-16 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： H05B6/68 文献下载
摘要：本发明涉及微波设备领域，特别是涉及一种磁控管温度调节方法及其装置、控制器、变频电源、磁控管温度调节系统及微波设备。其中，该磁控管温度调节方法包括：确定流经磁控管的阳极电流与变频电源的输出功率,该输出功率用于驱动磁控管工作；根据磁控管的阳极电流与变频电源的输出功率，计算出磁控管的阳极电压；根据磁控管的阳极电压调节变频电源的输出功率因此，其能够直接得到磁控管的阳极电流以便精确地反映磁控管的阳极温度，以精确、可靠地通过调节变频电源的输出功率以调节磁控管的阳极温度，避免磁控管过温损坏。
磁控管温度调节方法装置系统变频电源微波设备

[发明专利]磁控溅射镀膜腔室、镀膜机以及镀膜方法-CN202111317491.9有效
发明人：谭志 -专利权人：维达力实业（深圳）有限公司
申请日： 2021-11-09 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：该磁控溅射镀膜腔室包括镀膜罩、样品台以及多个磁控管组。在磁控溅射镀膜腔室的设计中，从外到内的方向上，当磁控管组的排布位置为奇数时，该磁控管组中的磁控管数量为偶数个，当磁控管组的排布位置为偶数时，该磁控管组中的磁控管数量为奇数个，同时最外层的磁控管组中的磁控管的数量大于或等于4，次外层的磁控管组中的磁控管的数量大于或等于3个，并且最外层的磁控管组中相邻的两个磁控管的外磁体的极性相反。
磁控溅射镀膜以及方法

[发明专利]微波炉-CN200610130655.6无效
发明人：杜永立 -专利权人：乐金电子（天津）电器有限公司
申请日： 2006-12-28 - 公布日： 2008-07-02 - 主分类号： F24C7/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种微波炉，包括炉腔、配电腔、磁控管，炉腔上盖上形成有向炉腔内侧突起的球面，磁控管安装在炉腔侧板上，磁控管上的微波发射天线对准球面的焦点。内部安装有磁控管的磁控管外壳安装在炉腔侧板上，在磁控管外壳内侧的磁控管支架为非等厚，使磁控管外壳上的微波发射天线向上倾斜。或在炉腔侧板和磁控管外壳之间设置有上宽下窄的磁控管外壳固定支架，使磁控管外壳向上倾斜。本发明由于微波经过散射后可以全方位地加热食物，防止微波料理的死角区域，避免由于食物对微波分布影响，造成食物局部受热不均，料理速度提高，微波效率提高，提高磁控管的使用寿命。
微波炉

[发明专利]微波烘干设备及其动态微波发射烘干方法-CN201210046168.7有效
发明人：李富旗 -专利权人：李富旗
申请日： 2012-02-27 - 公布日： 2012-07-18 - 主分类号： F26B11/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种微波烘干设备及其动态微波发射烘干方法，该设备包括一机柜；一滚筒；所述滚筒包括一筒状的骨架及承载网；一驱动装置，磁控管安装腔体，所述磁控管安装面板的外表面设置有磁控管，磁控管安装于波导上并通过波导安装于磁控管安装的腔体上；该方法中，将织物放入滚筒内，启动后，滚筒来回转动，微波动态循环发射，磁控管安装面板的所有磁控管被分成多个磁控管组，每个磁控管组是在五面多边形的磁控管安装面板上选择一个或一个以上的磁控管组成；工作时，磁控管组是动态循环的，即可以同时启动一组或一组以上的磁控管组数。
微波烘干设备及其动态发射方法

[发明专利]一种磁控管的工作状态检测装置及方法-CN201810100333.X在审
发明人：周欣 -专利权人：珠海市拓杰科技有限公司
申请日： 2018-02-01 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种磁控管的工作状态检测装置及方法，该装置包括：阳极电压输入单元，用于采集磁控管的阳极电压；阳极阈值电压确定单元，用于确定磁控管的阳极阈值电压；阳极阈值电压处理单元，用于在阳极阈值电压达到设定值时，降低磁控管的输入功率。通过本发明所提供的装置，在磁控管阳极电压阈值达到设定值时，降低磁控管的输入功率，抑制磁控管温度上升，从而达到有效保护磁控管的目的，降低了磁控管的损坏几率。
磁控管阳极阈值电压工作状态检测装置输入功率阳极电压磁控管阳极处理单元确定单元输入单元采集

[发明专利]磁控源和磁控溅射设备、以及磁控溅射方法-CN201010583271.6有效
发明人：耿波;李杨超;边国栋;武学伟;邱国庆 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2010-12-10 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提出一种磁控源，包括：靶材；磁控管，所述磁控管位于所述靶材上方；和扫描机构，所述扫描机构与磁控管相连以控制所述磁控管围绕所述靶材的中心转动，且所述扫描机构通过控制所述磁控管的转速以调整所述磁控管的转动半径本发明实施例可利用离心水平力的原理，通过控制磁控管的转速来改变磁控管的转动半径，从而可对磁控管的轨迹和转动速度同时进行有效控制，因此有利于调整晶片不同区域薄膜的沉积厚度。
磁控源磁控溅射设备以及方法

[发明专利]一种新型磁控管-CN202110873987.8在审
发明人：马中发;宇坤;孙琪琛 -专利权人：陕西青朗万城环保科技有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H01J25/50 文献下载
摘要：本发明提供了本发明提供一种新型磁控管，涉及微波电源技术领域，磁控管包括：磁控管一、波导一、喇叭一、磁控管二、波导二、喇叭二；其中，波导一和波导二镜像设置；波导一的一侧与磁控管一连接，对侧与喇叭一连接；波导二的一侧与磁控管二连接，对侧与喇叭二连接；磁控管一与磁控管二分别通过波导一和波导二将微波分别馈入喇叭一和喇叭二。本发明通过将两个磁控管合二为一体，并将不同磁控管的微波馈入同一腔体中，降低了单个磁控管在连使用时过程中的损坏率，提高了磁控管的使用寿命，进而提升了用户的体验感。
一种新型磁控管

[发明专利]一种微波磁控管固定辅助装置-CN201510156753.6有效
发明人：郑江家;陈海军;张东辉;孙陪峰 -专利权人：软控股份有限公司
申请日： 2015-04-03 - 公布日： 2017-12-19 - 主分类号： H01J23/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种微波磁控管固定辅助装置，包括磁控部分和波导部分，所述磁控部分包括固定底板，磁控管管芯，所述波导部分包括磁控管固定面。所述固定底板包括基本面、圆形密封固定孔，所述圆形密封固定孔凸出基本面中央，围绕磁控管管芯。所述磁控管固定面上设有磁控管固定孔，所述固定孔为与密封固定孔相匹配的垂直于固定面上的圆环，中空。所述磁控管穿过磁控管固定孔，圆环密封孔套在磁控管固定孔上进行固定。通过本发明装置磁控管可直接插入波导中，通过机械固定延伸面与垂直折弯固定面确定安装方向，通过圆环密封孔与磁控管固定孔的套用固定磁控管，无需使用螺丝固定，方便组装和拆卸，节约人工成本。
一种微波磁控管固定辅助装置

[实用新型]一种微波磁控管固定辅助装置-CN201520199104.X有效
发明人：郑江家;陈海军;张东辉;董兰飞;佟强 -专利权人：软控股份有限公司
申请日： 2015-04-03 - 公布日： 2015-09-30 - 主分类号： H01J23/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种微波磁控管固定辅助装置，包括磁控部分和波导部分，所述磁控部分包括固定底板，磁控管管芯，所述波导部分包括磁控管固定面。所述固定底板包括基本面、圆形密封固定孔，所述圆形密封固定孔凸出基本面中央，围绕磁控管管芯。所述磁控管固定面上设有磁控管固定孔，所述固定孔为与密封固定孔相匹配的垂直于固定面上的圆环，中空。所述磁控管穿过磁控管固定孔，圆环密封孔套在磁控管固定孔上进行固定。通过本实用新型装置磁控管可直接插入波导中，通过机械固定延伸面与垂直折弯固定面确定安装方向，通过圆环密封孔与磁控管固定孔的套用固定磁控管，无需使用螺丝固定，方便组装和拆卸，节约人工成本。
一种微波磁控管固定辅助装置

[实用新型]适用于检测磁控管及电源结构-CN202320069101.9有效
发明人：钟家乐;龚丰;曾冬妮 -专利权人：湖南频动科技有限公司
申请日： 2023-01-10 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： G01R31/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种适用于检测磁控管及电源结构，它包括工作台、腔体、磁控管固定座、固定夹、电源安装槽口、控制开关、电流表、红指示灯和绿指示灯，工作台上面安装有腔体，腔体右侧上面安装有磁控管固定座，磁控管放置在磁控管固定座上面且待测磁控管两侧通过固定夹夹持在磁控管固定座两侧，工作台上面还安装有电源安装槽口且电源安装槽口位于腔体的前侧，磁控管电源放置在电源安装槽口上面，红指示灯和绿指示灯后侧位置的工作台上面设计有交流互感电流表。优点是设计巧妙，结构合理紧凑，通过模拟磁控管工作电流环境，来判断磁控管或磁控管电源的好坏，通过固定夹可以快速装夹磁控管，简单方便。
适用于检测磁控管电源结构

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