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[实用新型]一种磁控管尾气处理装置-CN202222684910.9有效
发明人：殷国辉;郭庆荣 -专利权人：中山市美格电子科技有限公司
申请日： 2022-10-12 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01J25/50 文献下载
摘要：本实用新型公开一种磁控管尾气处理装置，包括工作台面、电极单元、电源模块和控制面板；所述工作台面上开设有若干用于放置磁控管的定位孔；所述电极单元所述定位孔内设置有电极触点，所述电极触点与所述电源模块电性连接，并由所述控制面板控制所述电极触点与电源模块之间的电通断，所述电极触点与所述磁控管的引线端子适配。本实用新型通过工作台面上排列设置的定位孔，一次工艺处理过程可以接入与工作台面上定位孔数量相等的磁控管同步进行电热处理，从而提高了磁控管尾气处理装置的工艺处理效率。定位孔为工作台面上向内凹陷的凹孔，凹孔的深度与磁控管的阴极侧高度所适配，方便磁控管的装配夹紧，提高工艺效率。
一种磁控管尾气处理装置

[发明专利]一种同电压一体式双频输出微波炉用磁控管-CN202211531513.6在审
发明人：殷勇;陈良萍;李海龙;王彬;蒙林 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2022-12-01 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： H01J25/50 文献下载
摘要：本发明属于涉及真空电子器件中的微波源技术领域，尤其涉及一种同电压一体式双频输出微波炉用磁控管，设有两个频率不同以及大小不同的磁控管、散热结构和磁路结构，两个磁控管共用一个磁路结构，磁控管部份和散热结构设在磁路结构内；散热结构设有左散热片、中间散热片和右散热片三部分，其中左散热片设在一个磁控管外侧并向左延伸，右散热片设在另一个磁控管外侧并向右延伸，两个磁控管通过中间散热片固定连接。本发明中利用同电压一体式双频输出磁控管，两个磁控管的频率分别为2.45GHz和5.8GHz，频率差异大，两个输出之间的互耦合小；且该双频结构采用同一个电压，设计成一体式，结构简单，适用于各种微波炉型，解决了两个磁控管的安置问题以及加热均匀性问题。
一种电压体式双频输出微波炉用磁控管

[发明专利]用于PVD平面靶的磁控管装置与磁控溅射设备-CN202310083001.6在审
发明人：杨洪生;黎左兴;张晓军 -专利权人：深圳市矩阵多元科技有限公司
申请日： 2023-01-16 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H01J25/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于PVD平面靶的磁控装置与磁控溅射设备，磁控装置包括磁控管，包括包括外侧磁组件、内侧磁组件与中间磁组件，外侧磁组件包括外侧直线单元与连接于外侧直线单元的端部的外侧弧形单元，内侧磁组件包括内侧直线单元，中间磁组件包括中间直线单元，外侧直线单元、内侧直线单元与中间直线单元均包括多个磁体，外侧直线单元与内侧直线单元内磁体的磁极连线垂直于平面靶，中间直线单元内磁体的磁极连线平行于平面靶，且中间直线单元内磁体的两个磁极分别朝向外侧直线单元与内侧直线单元。本发明既能够减少弧形部与直线部之间刻蚀能力的差距，提高靶材的利用率，又能够保证等离子体的点燃和维持。
用于 pvd 平面磁控管装置磁控溅射设备

[实用新型]一种可快速调谐的磁控管-CN202223511172.4有效
发明人：陈弹蛋;彭宇飞;龙继东;陶小魁 -专利权人：常州华束科技有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： H01J25/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可快速调谐的磁控管，该磁控管包括调谐元件和谐振系统，调谐元件设置于谐振系统内，调谐元件与谐振系统之间通过微波连接；调谐元件采用介电常数或磁导率可随外加条件变化而变化的材料制作而成；本实用新型采用新型材料制作而成的调谐元件代替现有金属调谐元件，普通磁控管的调谐元件安装在谐振腔内或者附近，同轴磁控管的调谐元件安装在外腔的任意位置，通过外加条件来改变调谐元件的微波参数，从而改变谐振系统的工作频率。外加条件是采用非机械式的变化，从而磁控管的调谐可以不再依靠机械运动来实现，而且采用这种非机械式调谐可大幅度提高调谐速率，并提高了磁控管的使用寿命。
一种快速调谐磁控管

[发明专利]用于PVD平面靶的扫描磁控管装置与磁控溅射设备-CN202310088521.6在审
发明人：杨洪生;黎左兴;张晓军 -专利权人：深圳市矩阵多元科技有限公司
申请日： 2023-01-16 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H01J25/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种磁控装置与磁控溅射设备，磁控装置包括磁控管，包括包括外侧磁组件与内侧磁组件，外侧磁组件包括外侧直线单元与连接于外侧直线单元的端部的外侧弧形单元，内侧磁组件包括内侧直线单元，内侧直线单元与外侧直线单元之间具有间隙，驱动装置用于驱动磁控管沿第一方向与第二方向往复移动，磁控管沿第一方向移动的距离L1满足：L1≥d，沿第二方向移动的距离L2满足：0.5d≤L2≤2d，d为两侧间隙的中心线之间的距离。本实施例的磁控管通过沿第一方向与第二方向往复移动一定距离，便可以提升平面靶各区域刻蚀的均匀性，实现平面靶的全面积刻蚀，从而提升平面靶的利用率。
用于 pvd 平面扫描磁控管装置磁控溅射设备

[发明专利]一种基于脉冲磁控管占空比合成的功率源系统-CN202010795897.7有效
发明人：蒙林;宋岷生;殷勇;王彬;李海龙 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2020-08-10 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： H01J25/50 文献下载
摘要：本发明属于电真空器件领域，涉及磁控管，具体提供一种基于脉冲磁控管占空比合成的功率源系统，用以克服现有技术中脉冲磁控管的工作比(或者说重复频率)无法提高的问题。本发明基于脉冲磁控管占空比合成的功率源系统包括：时序发生器1、N个高压脉冲调制器2、N个脉冲磁控管3、以及N合1输出装置4，N≥2；利用时序发生器分别给N个高压脉冲调制器发送频率相同、相位依次相差360°/N的错位时序信号，使得N个脉冲磁控管交替输出脉冲微波信号，并由N合1输出装置4将N路不同相位的微波信号耦合为一路微波信号输出；有效提高了系统整体微波脉冲能量输出的重复频率及最大占空比。
一种基于脉冲磁控管占空合成功率系统

[发明专利]一种分块式实时调控靶磁距的磁控管及磁控管装置-CN202211665556.3在审
发明人：杨洪生;朱新华;张晓军 -专利权人：深圳市矩阵多元科技有限公司
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H01J25/50 文献下载
摘要：本发明属于磁控溅射技术领域，公开一种分块式实时调控靶磁距的磁控管及磁控管装置，包括若干第一磁铁及若干第二磁铁，若干第一磁铁与若干第二磁铁的磁性相反，还包括磁轭主体，磁轭主体包括能够旋转的至少二个磁轭；至少二个磁轭由内向外依序设置，至少二个磁轭中的任一个磁轭均能够沿磁轭主体的厚度方向进行移动；若干第一磁铁分为至少两组第一磁铁，若干第二磁铁分为至少两组第二磁铁，至少两组第一磁铁及至少两组第二磁铁分别依序设置在磁轭主体的底面，至少两组第一磁铁形成第一磁极，至少两组第二磁铁形成第二磁极。通过单独对某一个磁轭在磁轭主体的厚度方向上进行位置调节，改变该磁轭的底面设置的第一磁极及第二磁极与靶材之间的距离。
一种分块实时调控靶磁距磁控管装置

[发明专利]一种可快速调谐的磁控管-CN202211693609.2在审
发明人：陈弹蛋;彭宇飞;龙继东;陶小魁 -专利权人：常州华束科技有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： H01J25/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种可快速调谐的磁控管，该磁控管包括调谐元件和谐振系统，调谐元件设置于谐振系统内，调谐元件与谐振系统之间通过微波连接；调谐元件采用介电常数或磁导率可随外加条件变化而变化的材料制作而成；本发明采用新型材料制作而成的调谐元件代替现有金属调谐元件，普通磁控管的调谐元件安装在谐振腔内或者附近，同轴磁控管的调谐元件安装在外腔的任意位置，通过外加条件来改变调谐元件的微波参数，从而改变谐振系统的工作频率。外加条件是采用非机械式的变化，从而磁控管的调谐可以不再依靠机械运动来实现，而且采用这种非机械式调谐可大幅度提高调谐速率，并提高了磁控管的使用寿命。
一种快速调谐磁控管

[发明专利]微波发生装置、家用电器-CN202111012722.5在审
发明人：施志雄;张昀;王贤友;唐相伟;周勇;谢刚;邓文件;李文娟;黄韬妃 -专利权人：广东威特真空电子制造有限公司;美的集团股份有限公司
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： H01J25/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种微波发生装置和家用电器。微波发生装置包括阳极筒和磁极组件，阳极筒的内侧壁围绕阳极筒的轴线环绕设置有多个叶片，磁极组件包括上磁极和下磁极，上磁极包括第一环部，上磁极通过第一环部连接阳极筒的一端，下磁极包括第二环部，下磁极通过第二环部连接阳极筒的另一端，多个叶片沿轴线朝向上磁极方向的侧面共同形成上端面，第一环部和上端面间隔形成第一间距，多个叶片沿轴线朝向下磁极方向的侧面共同形成下端面，第二环部和下端面间隔形成第二间距，第一间距小于第二间距。上述微波发生装置，通过改变上端面和下端面分别到叶片的间距以使得第一间距小于第二间距，可避免发生跳模，有利于提高微波振荡时的稳定性。
微波发生装置家用电器

[发明专利]一种新型磁控管-CN202110873987.8在审
发明人：马中发;宇坤;孙琪琛 -专利权人：陕西青朗万城环保科技有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H01J25/50 文献下载
摘要：本发明提供了本发明提供一种新型磁控管，涉及微波电源技术领域，磁控管包括：磁控管一、波导一、喇叭一、磁控管二、波导二、喇叭二；其中，波导一和波导二镜像设置；波导一的一侧与磁控管一连接，对侧与喇叭一连接；波导二的一侧与磁控管二连接，对侧与喇叭二连接；磁控管一与磁控管二分别通过波导一和波导二将微波分别馈入喇叭一和喇叭二。本发明通过将两个磁控管合二为一体，并将不同磁控管的微波馈入同一腔体中，降低了单个磁控管在连使用时过程中的损坏率，提高了磁控管的使用寿命，进而提升了用户的体验感。
一种新型磁控管

[实用新型]一种磁控管输出组件-CN202221237611.4有效
发明人：万鹏;冯健 -专利权人：中山市美格电子科技有限公司
申请日： 2022-05-20 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： H01J25/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种磁控管输出组件,包括天线封盖、绝缘环、排气管，在绝缘环端面设置限位结构，该限位结构与天线封盖和排气管端面匹配形成磁控管输出组件组合结构，一方面，利用限位组合结构，增加绝缘环、天线封盖、排气管组装便利行，提高组装的精准度与效率。另一方面，绝缘环端面设置的限位结构，增加了有效焊接面积，提升焊接的便利性及改善焊接质量，提高组件的组装焊接密闭性，防止微波泄漏。
一种磁控管输出组件

[发明专利]微波产生器、紫外光源、与基板处理方法-CN202110244695.8在审
发明人：杨胜钧;郑智龙;黄柏智;林艺民;陈冠廷;王仁珏;庄智尧 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2021-03-05 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： H01J25/50 文献下载
摘要：一种微波产生器、紫外光源，与基板处理方法，微波产生器包含核心组件、第一磁性元件、第二磁性元件以及散热件。核心组件包含第一电极元件与套接于第一电极元件的第二电极元件。第一磁性元件套接于第一电极元件，第二磁性元件套接于第一电极元件，并与第一磁性元件分开。第二电极元件位于第一磁性元件与第二磁性元件之间。散热件包含至少一散热鳍片，散热鳍片朝向第二磁性元件延伸。
微波产生器紫外光源处理方法

[发明专利]一种磁控管输出组件-CN202210561138.3在审
发明人：万鹏;冯健 -专利权人：中山市美格电子科技有限公司
申请日： 2022-05-20 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： H01J25/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种磁控管输出组件,包括天线封盖、绝缘环、排气管，在绝缘环端面设置限位结构，该限位结构与天线封盖和排气管端面匹配形成磁控管输出组件组合结构，一方面，利用限位组合结构，增加绝缘环、天线封盖、排气管组装便利行，提高组装的精准度与效率。另一方面，绝缘环端面设置的限位结构，增加了有效焊接面积，提升焊接的便利性及改善焊接质量，提高组件的组装焊接密闭性，防止微波泄漏。
一种磁控管输出组件

[实用新型]一种利用瓷环保护叶片的大功率磁控管-CN202123404789.1有效
发明人：牛文斗;柴彦科;曹永升;赵杰;马正军;穆建中;李小琴 -专利权人：甘肃虹光电子有限责任公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： H01J25/50 文献下载
摘要：本实用新型是一种利用瓷环保护叶片的大功率磁控管，偶数个叶片以轴向为旋转轴形成环状均布结构；上瓷封件、波纹瓷、下瓷封件、下极靴钎焊构成阴极腿组件；涂粉阴极、上屏蔽片、下屏蔽片连接在阴极筒上，与阴极支撑筒共同构成阴极部件；阴极腿组件与阴极部件通过钎焊实现连接；在阴极支撑筒与下极靴之间设置瓷环，减少在磁控管装配过程中，发生上屏蔽片、下屏蔽片碰伤叶片的情况。有益效果：在磁控管阴极支撑筒和下极靴之间设置陶瓷环，一是解决在装配过程中，阴极屏蔽片碰伤阳极叶片，导致产品电性能不佳的问题，二是解决产品长期工作中，由于高温作用使得阴极筒发生轻微倾斜，使得阴阳极同轴度无法保证，导致电性能劣化的难题。
一种利用环保叶片大功率磁控管

[实用新型]一种防止大功率连续波磁控管泄漏微波的装置-CN202123419467.4有效
发明人：马正军;牛文斗;穆建中;李涛;柴彦科;曹永升;赵杰 -专利权人：甘肃虹光电子有限责任公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： H01J25/50 文献下载
摘要：本实用新型属于真空电子器件领域，涉及防止大功率连续波磁控管泄漏微波的装置，含有大扼流筒、小扼流筒、阴极座，小扼流筒外套圆管，圆管一端面与阴极座连接，圆管非连接端面切出略大于八分之一磁控管工作波长的槽，形成λ/8扼流槽，大扼流筒插入λ/8扼流槽，大扼流筒与λ/8扼流槽同心，大扼流筒与λ/8扼流槽形成两非机械接触端面，小扼流筒伸入圆管内部。有益效果：解决了大功率连续波磁控管阴极腿的泄漏微波功率的技术问题，有效的防止了微波的泄漏，将泄漏微波值降低到传统结构的0.1%以下，有效的保护了人身安全和周围环境。
一种防止大功率连续波磁控管泄漏微波装置

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