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[发明专利]一种印刷机压力调节装置及其控制方法-CN202110882972.8有效
发明人：李训艳;王云;孟祥杰;边国栋 -专利权人：潍坊东航印刷科技股份有限公司
申请日： 2021-08-02 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： B41F13/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种印刷机压力调节装置及其控制方法，属于印刷机技术领域，印刷机压力调节装置包括平行排列的网辊、版辊和承印辊，版辊位于网辊与承印辊之间，网辊与版辊之间以及版辊与承印辊之间分别设置有用于调节辊间距离的调节机构，调节机构与用于输入控制指令的控制系统电连接；调节机构设置有四个，调节机构由伺服电机、连接于伺服电机输出轴的丝杠以及套装在丝杠上的丝套组成；其控制方法由控制系统自动计算并控制到达离合压位置、滑入滑出位置，同时设置了人工微调系统，可根据产品的印刷效果人工调节，能够实现精确定位且具有可存储性，使得压力调节更方便快捷。
一种印刷机压力调节装置及其控制方法

[实用新型]柔版印刷机双刀多幅面供墨系统-CN202121394201.6有效
发明人：王伟;王云;边国栋 -专利权人：潍坊东航印刷科技股份有限公司
申请日： 2021-06-22 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： B41F31/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种柔版印刷机双刀多幅面供墨系统，包括：封闭式刮墨刀，所述封闭式刮墨刀包括U型腔体，设置在所述U型腔体两侧壁上的上刮刀和下刮刀，与所述上刮刀和下刮刀配合的网纹传墨辊，以及与所述网纹传墨辊相切的印刷版辊，所述U型腔体内设置有至少两挡墨板，所述挡墨板将所述U型腔体的内腔分隔成无墨的空腔和至少两个被所述空腔隔开的用于容墨的墨腔，每个所述墨腔分别设置有所述上刮刀和所述下刮刀。本实用新型结构简单，能够实现多个小幅面或者高质量油墨柔版印刷，节省更多油墨。
印刷机双刀幅面系统

[发明专利]用于多腔传输装置的开盖机构-CN201810245055.7有效
发明人：李冰;常青;赵梦欣;边国栋 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-03-23 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种用于多腔传输装置的开盖机构，包括切换组件、驱动组件、多组传动组件和多组开盖执行组件，每组传动组件对应连接有一组开盖执行组件；切换组件用于将驱动组件选择性地与其中一组传动组件相连；驱动组件用于驱动传动组件以带动开盖执行组件摆动。开盖机构可以节约多腔传输装置的安装空间、降低了设备成本和人力成本，大幅地提升开盖机构的工作效率。
用于传输装置机构

[发明专利]一种溅射反应腔室的工艺组件及其溅射反应腔室-CN202010073789.9有效
发明人：韩立仁;李冰;赵可可;裴立新;边国栋 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-01-22 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种溅射反应腔室的工艺组件及溅射反应腔室，其中，该工艺组件包括：内衬，内衬中设置有水道，内衬包括本体部和盖板部，本体部呈环状，盖板部由本体部的底部且沿本体部径向延伸，并与本体部一体成型设置，盖板部用于在进行工艺时固定晶圆；水道设置于盖板部和本体部中。通过改变工艺组件中内衬的结构，使盖板部与内衬的本体部形成一体化的内衬结构，同时在内衬中通水冷却，实现了对盖板部区域的有效冷却，进而扩大靠近晶圆的冷却区域，从而最大限度减少了晶圆上的热量积累，保证温度的稳定，减少工艺过程中气体和杂质的释放，进一步降低薄膜应力变化，控制晶须缺陷的产生，提升产品良率。
一种溅射反应工艺组件及其

[发明专利]磁控管组件及磁控溅射设备-CN201410826533.5有效
发明人：李冰;边国栋;宿晓敖 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2014-12-24 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供一种磁控管组件及磁控溅射设备，包括中心永磁铁和环绕在该中心永磁铁周围的环形永磁铁，中心永磁铁和环形永磁铁的极性相反；其中，环形永磁铁采用一体式结构。本发明提供的磁控管组件，其不仅安装方便、安全，而且还可以提高外圈磁场的分布均匀性，以及在相同尺寸的外圈磁铁的条件下具有更高的磁场强度，从而在保证磁场强度不减小的情况下，可以获得更高的功率密度。
磁控管组件磁控溅射设备

[实用新型]一种矿山钻机钻杆夹紧装置-CN201921995697.5有效
发明人：王凯;张晓明;任智德;孙运兆;王楠;孙怀明;吴振华;杨秀峰;赵猛;王明辉;边国栋;牛世夫;张维扬;赵锋;田志超 -专利权人：临沂矿业集团有限责任公司
申请日： 2019-11-19 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： E21B19/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种矿山钻机钻杆夹紧装置，包括夹紧装置本体和钻杆，所述夹紧装置本体的外壁上下两侧均开设有螺纹孔，且夹紧装置本体的内壁呈线性等距的固定连接有第二L形固定块，且夹紧装置本体的内部设置有固定块，所述夹紧装置本体的内部套有钻杆，所述螺纹孔的内部内壁转动连接有螺杆，所述螺杆的上方设置有固定夹块，且螺杆的上端固定连接有第一球体，所述第二L形固定块的一侧设置有第三L形固定块，所述第三L形固定块的外部滑动连接有第四L形固定块。本实用新型中当钻杆在工作会产生振动，使钻杆带动固定块振动，从而使固定块向下带动第一L形固定块和第三L形固定块向下移动，使弹簧受力压缩，从而减小钻杆在工作时产生的振动。
一种矿山钻机钻杆夹紧装置

[实用新型]磁控溅射反应腔室的冷却组件及其磁控溅射设备-CN201920110253.2有效
发明人：常青;李冰;边国栋 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-01-23 - 公布日： 2020-01-03 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种磁控溅射反应腔室的冷却组件及其磁控溅射设备，其中的组件包括：适配器；适配器被设置为遮蔽内衬的底部和侧壁，用于将内衬固定在反应腔室内；适配器的侧壁与内衬的侧壁之间具有预设的间隙，适配器的底部与内衬的底部相接触，适配器设置有冷却水道，用以对内衬的侧壁、底部进行降温。本实用新型的冷却组件及其磁控溅射设备，能够增加热接触面积，增加适配器与内衬侧壁的传热效率；通过对内衬侧壁和底面的降温，稳定工艺反应区域温度，避免反应区域温度升高对衬底和薄膜的影响；减少水道加工步骤和难度，减少清洗难度；无需密封圈对水路的密封，能够减少漏水的风险。
适配器侧壁内衬磁控溅射设备本实用新型反应区域冷却组件密封圈传热效率磁控溅射反应腔室加工步骤冷却水道内衬侧壁稳定工艺组件包括反应腔热接触衬侧衬底漏水预设遮蔽薄膜密封清洗水道水路室内

[发明专利]加热腔室及半导体加工设备-CN201610357175.7有效
发明人： 边国栋 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2016-05-26 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种加热腔室及半导体加工设备，在加热腔室内设置有介质窗，用以将加热腔室分隔形成上子腔室和下子腔室，其中，在下子腔室内设置有承载部件，承载部件包括用于承载基片的承载面，在上子腔室内设置有多个加热灯，用于透过介质窗朝向承载面辐射热量，各个所述加热灯与承载面之间的竖直间距不同，以使辐射至置于承载面上的基片不同区域的热量趋于一致。本发明提供的加热腔室，其可以更均匀地加热基片，从而可以提高工艺均匀性。
加热半导体加工设备

[发明专利]一种基于手机APP的地下矿井水文在线监测预警系统-CN201910144961.2在审
发明人：田志超;李俊楠;王凯;边国栋;王楠;张晓明;赵锋;张维扬;王明辉;王德民;牛世夫;张会德;王延兵;杜晓峰;段崇军;张广生 -专利权人：临沂矿业集团有限责任公司
申请日： 2019-02-27 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： E21F17/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于手机APP的地下矿井水文在线监测预警系统，包括用于检测水文信息的数据采集设备、用于数据传输的通讯设备、用于分析处理检测信息并将结果输出显示及存储的数据管理设备、用于报警的警报设备、供电设备以及手机APP模块；水文在线监测预警系统主要由各种智能传感器、声光报警器、监测分站、防爆电源、通信线路、通信接口及监控计算机组成，分布在各测点的智能传感器完成被测量的测量，通过一条公共传输线路将测量数据发送给监测分站，再由监测分站通过井下环网远传至地面监控计算机，实现集中处理、存储、报警。报警信息既被送给井下声光报警器，提醒井下人员采取相应的行动，又通过手机APP模块发送到有关人员的手机上。
手机在线监测预警系统监测分站井下水文声光报警器智能传感器地下矿井测量存储地面监控计算机报警公共传输线路数据采集设备数据管理设备监控计算机报警信息测量数据防爆电源分析处理供电设备集中处理检测信息警报设备输出显示数据传输水文信息通信接口通信线路通讯设备测点环网远传检测

[发明专利]磁控溅射反应腔室的冷却组件及其磁控溅射设备-CN201910062064.7在审
发明人：常青;李冰;边国栋 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-01-23 - 公布日： 2019-05-10 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种磁控溅射反应腔室的冷却组件及其磁控溅射设备，其中的组件包括：适配器；适配器被设置为遮蔽内衬的底部和侧壁，用于将内衬固定在反应腔室内；适配器的侧壁与内衬的侧壁之间具有预设的间隙，适配器的底部与内衬的底部相接触，适配器设置有冷却水道，用以对内衬的侧壁、底部进行降温。本发明的冷却组件及其磁控溅射设备，能够增加热接触面积，增加适配器与内衬侧壁的传热效率；通过对内衬侧壁和底面的降温，稳定工艺反应区域温度，避免反应区域温度升高对衬底和薄膜的影响；减少水道加工步骤和难度，减少清洗难度；无需密封圈对水路的密封，能够减少漏水的风险。
适配器侧壁内衬磁控溅射设备冷却组件磁控溅射反应腔室反应区域密封圈传热效率加工步骤冷却水道内衬侧壁稳定工艺组件包括反应腔热接触衬侧衬底漏水预设遮蔽薄膜密封清洗水道水路室内

[实用新型]晶圆传输系统和半导体处理设备-CN201820710174.0有效
发明人：李冰;常青;丁培军;赵梦欣;边国栋 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-05-14 - 公布日： 2019-03-05 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆传输系统和半导体处理设备。包括：传输平台；至少两级相互连接的传输腔室，均依次设置在所述传输平台上，各级所述传输腔室内均安装有第一传输机械手，并且，各级所述传输腔室的外侧壁均挂接有多个工艺腔室；至少一个第一开关结构，其位于相邻传输腔室之间，以使得该相邻两个传输腔室选择性地连通；多个第二开关结构，位于所述传输平台内部，且每个所述第二开关结构均对应一个所述工艺腔室，以使得该工艺腔室与其所对应的传输腔室选择性地连通。第一开关结构和第二开关结构均安装在传输平台内部，这样，第一开关结构和第二开关结构可以采用相同的安装方式，从而可以提高该晶圆传输系统的可维护性，缩小了传输平台的体积。
传输平台传输腔室开关结构传输系统第一开关工艺腔室半导体处理设备晶圆连通本实用新型传输机械手安装方式可维护性依次设置传输腔外侧壁挂接两级种晶室内

[发明专利]一种综掘机快速安装回撤运输装置-CN201711472568.3有效
发明人：张明;范吉宏;宋明东;徐国华;边国栋;马震;孙怀明;王凯;褚夫东 -专利权人：临沂矿业集团有限责任公司
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2019-01-08 - 主分类号： E21F13/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种综掘机快速安装回撤运输装置，包括悬吊主体、滑移主体和平衡调节主体，所述悬吊主体设有前后两组，所述悬吊主体下方设有运输轨道，所述运输轨道右侧设有牵引绞车，所述悬吊主体上侧设有悬吊支臂插口，所述悬吊支臂插口内设有悬吊支臂，所述悬吊支臂顶端固定在巷道的顶壁上。本发明的一种综掘机快速安装回撤运输装置，提供一种更高效、更实用的综掘机运输装置，该设备进行综掘机的运输过程中对运输平衡性、运输方向性、运输调节性进行多重限定，大大的提高了综掘机运输过程中的安全性，也提高了运输的效率。
一种综掘机快速安装回撤运输装置

[发明专利]预清洗腔室及等离子体加工设备-CN201410696531.9有效
发明人：佘清;陈鹏;赵梦欣;丁培军;徐奎;边国栋 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2014-11-26 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本发明提供的预清洗腔室及等离子体加工设备，包括腔体和设置在该腔体顶部的介质窗，在预清洗腔室内设置有基座和环绕在该基座周围的工艺组件，基座、工艺组件和介质窗共同在基座上方形成工艺子腔；腔体位于基座下方的空间用作装卸子腔，预清洗腔室还包括进气装置，该进气装置包括进气口，进气口用于自工艺组件的上方直接将工艺气体输送至工艺子腔内。本发明提供的预清洗腔室，其不仅可以缩短工艺气体的进气路径，而且还可以在通入较少工艺气体的前提下达到所需的等离子体密度，从而可以降低使用成本。
清洗等离子体加工设备

[发明专利]降低磁控溅射设备沉积速率的方法及磁控溅射设备-CN201410757732.5有效
发明人：宿晓敖;赵可可;边国栋 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2014-12-10 - 公布日： 2018-07-06 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供一种降低磁控溅射设备沉积速率的方法及磁控溅射设备。该磁控溅射设备包括靶材、磁控管和功率源，功率源为靶材提供电能，磁控管扫描靶材的表面，通过降低功率源的功率的同时，提高磁控管的功率密度的方式降低薄膜沉积速率。本发明提供的降低磁控溅射设备沉积速率的方法，可以降低薄膜的沉积速率，适于制作厚度较薄的薄膜，而且可以提高靶材的利用率。
磁控溅射设备靶材沉积磁控管功率源薄膜薄膜沉积降低功率扫描制作

[实用新型]沉积环及卡盘组件-CN201720664540.9有效
发明人：李新颖;张禄禄;李冰;赵梦欣;边国栋 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2017-06-08 - 公布日： 2018-04-03 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本申请公开一种沉积环(50)及使用其的卡盘组件，其在卡盘组件中与盖环和基座配合使用，包括具有上表面(52)和下表面(53)的环形本体(51)；形成于所述上表面(52)的环形凹槽(55)；其中，所述沉积环还包括用于卡接到所述基座的卡接部(58)。通过将沉积环卡接到基座，可以降低沉积环的移位和脱落危险，增加沉积环的有效工作时间。
沉积卡盘组件

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