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[发明专利]碳膜叠层体-CN201180020414.5有效
发明人：长谷川雅考;石原正统;古贺义纪;金载浩;津川和夫;饭岛澄男 -专利权人：独立行政法人产业技术总合研究所
申请日： 2011-02-25 - 公布日： 2013-01-02 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：本发明的目的在于，解决作为以往的将铜箔用于基板中的利用热CVD的石墨烯成膜的课题的晶体尺寸小的问题，提供一种堆积了晶体尺寸更大的石墨烯而成的碳膜叠层体，通过制成如下的碳膜叠层体，即，具备具有由在原子水平下平坦的平台面和原子层台阶构成的表面的蓝宝石
碳膜叠层体

[发明专利]导电膜层叠体的制造方法及导电膜层叠体-CN202310151431.7在审
发明人：远藤和幸;黄晋二;渡边刚志;黑松将 -专利权人：日本富拉司特株式会社;黄晋二;渡边刚志;黑松将
申请日： 2023-02-22 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H01B13/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种导电膜层叠体的制造方法及导电膜层叠体，该导电膜层叠体的制造方法是具备被层叠基材、形成于被层叠基材的表面的粘着层以及形成于粘着层的表面的碳导电膜的导电膜层叠体的制造方法，具备：第一层叠体制作工序，制作具备用于在表面形成碳导电膜的形成用基板、形成于形成用基板的表面的碳导电膜以及形成于碳导电膜的表面的粘着层的第一层叠体；热压接工序，在使第一层叠体的粘着层与被层叠基材接触后，进行加热压接而制作第二层叠体；以及蚀刻工序，对第二层叠体的形成用基板进行蚀刻而制作导电膜层叠体。
导电层叠制造方法

[发明专利]碳膜叠层体及其制造方法以及VOC除去装置-CN200580007611.8有效
发明人：海川和之;富田俊弘;吉田学;小畑政道 -专利权人：日本碍子株式会社
申请日： 2005-03-11 - 公布日： 2007-05-02 - 主分类号： B01D69/12 文献下载
摘要：一种碳膜叠层体(1)，其具有由大量颗粒构成的多孔性基材(6)以及设置在多孔性基材(6)表面上的碳膜(2)，其中多孔性基材(6)具有与碳膜(2)相接且由平均粒径为0.01～0.11μm的颗粒(3a)构成的表面层(3)以及由平均粒径与构成表面层(3)的颗粒(3a)的平均粒径不同的颗粒构成的多孔体(5)。本发明提供了一种抑制碳膜叠层体(1)中龟裂和针孔的产生并适于薄膜化的碳膜叠层体。
碳膜叠层体及其制造方法以及 voc 除去装置

[发明专利]通液型电容器、去离子液制造装置、及去离子液制造方法-CN201380005656.6有效
发明人：石田修一;川崎修治;山田隆之 -专利权人：可乐丽化学株式会社
申请日： 2013-01-10 - 公布日： 2014-12-03 - 主分类号： C02F1/48 文献下载
摘要：本发明是多个单元叠层的通液型电容器，其中，单元具备第1电极、第2电极、以及介于第1电极与第2电极之间的隔离片，第1电极具备石墨片构成的第1集电体片、叠层于第1集电体片的第1多孔质碳片、以及叠层于第1多孔质碳片的阳离子交换膜，第2电极具备石墨片构成的第2集电体片、叠层于2集电体片的第2多孔质碳片、以及叠层于第2多孔质碳片的阴离子交换膜，阳离子交换膜与阴离子交换膜隔着隔离片对置配置，第1集电体片及第2集电体片中的至少一方具有不与多孔质碳片对置的翼部
通液型电容器离子制造装置方法

[发明专利]橡胶叠层密封用阀-CN201580037303.3在审
发明人：古贺晶子 -专利权人： NOK株式会社
申请日： 2015-07-09 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： F16K1/36 文献下载
摘要：橡胶叠层密封用阀，其是将氟橡胶层和无定形碳膜依次叠层而成的橡胶叠层密封用阀，其中，无定形碳膜是使用烃气体，通过从高频电源供给高频电力的CVD等离子体处理法形成的。该橡胶叠层密封用阀中，在橡胶层表面上形成了具有压痕硬度5GPa以上(相当于维氏硬度约Hv500以上，根据ISO 14577‑1的Hv(kg/m2)=HIT(MPa)×0.0926换算的情况)的硬度的无定形碳膜，橡胶层相对于对偶材料为非粘着性的。
橡胶密封

[发明专利]一种车载燃料电池用叠层结构膜电极及其制备方法-CN201710326695.6在审
发明人：谷军;楚天阔;黎刚宇 -专利权人：上海亮仓能源科技有限公司
申请日： 2017-05-10 - 公布日： 2017-08-22 - 主分类号： H01M4/92 文献下载
摘要：本发明涉及一种车载燃料电池用叠层结构膜电极，膜电极包括多层依次交替的碳载体层和催化剂层，该膜电极的最外层为碳载体层，碳载体层和催化剂层喷涂Nafion溶液后，与处理过的膜经热压形成叠层结构膜电极，与现有技术相比，本发明采用Pt或其合金催化剂作为活性组分，以高导电性的石墨、炭黑、纳米碳管、纳米碳纤维、碳纳米角作为碳载体，通过过滤法制备叠层结构膜电极，使膜电极的传质、电子传输、电催化活性、贵金属利用率和耐久性获得了较大提升
一种车载燃料电池用叠层结构电极及其制备方法

[发明专利]一种含防渗透碳薄膜的高效稳定钙钛矿电池及其制备方法-CN201610805058.2有效
发明人：杨冠军;楚倩倩;李长久;李成新 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2016-09-06 - 公布日： 2019-05-03 - 主分类号： H01L51/42 文献下载
摘要：本发明公开一种含防渗透碳薄膜的高效稳定钙钛矿电池及其制备方法，包括依次叠层设置的透明导电基底、电子传输层、钙钛矿膜、防渗透碳薄膜和阴极导电层；或者包括依次叠层设置的透明导电基底、电子传输层、钙钛矿膜、空穴传输层、防渗透碳薄膜和阴极导电层。本发明在钙钛矿或者是无机空穴传输层表面制备一层防渗透碳薄膜，该层碳膜的存在首先可以保证了碳电极与钙钛矿完全的接触，较少电子和空穴复合；同时该层防渗透碳薄膜的存在还可以避免阴极导电浆体中溶剂和空气中的水分子等透过破坏钙钛矿薄膜或者空穴传输层
一种渗透薄膜高效稳定钙钛矿电池及其制备方法

[发明专利]具有碳膜保护层的有机半导体磁阻器件及其制备方法和应用-CN202010084178.4有效
发明人：胡文平;丁帅帅;于曦;王冬 -专利权人：天津大学
申请日： 2020-02-10 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： H10N50/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有碳膜保护层的有机半导体磁阻器件及其制备方法和应用，有机半导体磁阻器件为由衬底、第一导电层、有机半导体层、碳膜保护层和第二导电层自下而上依次构成的垂直叠层结构，所述碳膜保护层为碳，所述第一导电层的结构包括多个平行设置的第一长方体，所述第二导电层的结构包括多个平行设置的第二长方体，所述第二长方体的正上方有所述第一长方体且所述第二长方体的长度方向和第一长方体的长度方向垂直，所述碳膜保护层在水平面上的横截面形状与所述第二导电层在水平面上的横截面形状相同有效解决传统有机半导体磁阻器件中第二导电层制备方法中热辐射和金属粒子渗透对有机半导体层的污染和破坏问题。
具有保护层有机半导体磁阻器件及其制备方法应用

[发明专利]等离子体处理方法和等离子体处理装置-CN201810921324.7有效
发明人：江藤隆纪;泽田石真之 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-08-14 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： H01L21/311 文献下载
摘要：本发明涉及等离子体处理方法和等离子体处理装置。课题在于实现金属层选择比和掩模选择比的兼顾。技术方案为：一种等离子体处理装置，对配置有多层膜的处理容器内供给至少含有氟碳系气体或氢氟碳系气体、氧气、氮气和CO的处理气体，在供给了处理气体的处理容器内产生等离子体，对多层膜进行蚀刻，其中，该多层膜至少具有氧化层、比该氧化层的上表面在叠层方向上配置于下方的导电层和配置于上述氧化层的上表面的掩模层。
等离子体处理方法装置

[发明专利]一种硬掩膜叠层结构及半导体器件的形成方法-CN202110460771.9在审
发明人：唐平;刘峻;鞠韶复;李喆;田宝毅 -专利权人：长江先进存储产业创新中心有限责任公司
申请日： 2021-04-27 - 公布日： 2021-10-19 - 主分类号： H01L21/033 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种硬掩膜叠层结构，用于自对准四重构图工艺，其特征在于，所述硬掩膜叠层结构包括：层叠设置的第一硬掩膜层、第一核心层和第二核心层，所述第一核心层位于所述第一硬掩膜层和所述第二核心层之间；其中，所述第一硬掩膜层包括无定形碳层，所述第一核心层和所述第二核心层均包括旋涂的含碳材料层。
一种硬掩膜叠层结构半导体器件形成方法

[发明专利]减少在半导体装置制造过程中图案变形及光阻膜毒化的方法-CN03818258.0有效
发明人： D·J·邦瑟;M·V·普拉特;C·Y·杨;S·A·贝尔;D·A·陈;P·A·菲舍尔;C·F·利昂斯;M·S·张;P－Y·高;M·I·赖特;L·尤;S·达克施纳－摩西 -专利权人：先进微装置公司
申请日： 2003-07-29 - 公布日： 2005-09-21 - 主分类号： H01L21/033 文献下载
摘要：一硬质屏蔽叠包括交替的掺杂非晶形碳层(22)和无掺杂非晶形碳层(20)。无掺杂非晶形碳层(20)系作为抑止掺杂非晶形碳层(22)中压缩应力影响用的缓冲层以防止剥离。该堆栈具有一上封盖物质层(12)。在封盖物质层(12)之下最好系无掺杂非晶形碳层以减少光阻膜毒化。一替代的硬质屏蔽叠包含交替的封盖物质层(42)和非晶形碳层(40)。该非晶形碳层(40)可以有掺杂物或没有。封盖物质层(42)系作为抑止非晶形碳层(40)中压缩应力影响用的缓冲层以防止剥离。该堆栈的上层系由封盖物质层(42)所组成。在封盖物质层的下层最好系无掺杂非晶形碳层(40)以减少光阻膜毒化。该堆栈最下层最好系非晶形碳层(40)以方便利用灰化移除法(ashing process)自下层物质(8)移除该硬质屏蔽叠。
减少半导体装置制造过程图案变形光阻膜毒化方法

[发明专利]采用包含氟代烃的聚合物的高保真构图-CN201280052536.7有效
发明人： M·布林克;S·U·恩格尔曼;N·C·M·富勒;M·A·古罗恩;宫副裕之;中村昌洋 -专利权人：国际商业机器公司;日本瑞翁株式会社
申请日： 2012-10-24 - 公布日： 2014-07-23 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：在衬底上形成硬掩膜层、软掩膜层和光致抗蚀剂的叠层。对所述光致抗蚀剂进行构图以包括至少一个开口。通过各向异性蚀刻将所述图形转移到所述软掩膜层中，该各向异性蚀刻形成包含比氟多的碳的富碳聚合物。可以通过采用利用包含比氟多的氢的氟代烃分子产生的包含氟代烃的等离子体，形成所述富碳聚合物。所述富碳聚合物涂覆所述软掩膜层的侧壁，并且防止转移到所述软掩膜中的图形被加宽。随后去除所述光致抗蚀剂，并且将所述软掩膜层中的图形转移到所述硬掩膜层中。所述硬掩膜层的侧壁被所述富碳聚合物涂覆，以防止转移到所述硬掩膜中的图形被加宽。
采用包含氟代烃聚合物高保真构图

[实用新型]锂电池-CN200720090946.7无效
发明人：庄俊峰;丁晓兵 -专利权人：濮阳迈奇科技有限公司
申请日： 2007-07-05 - 公布日： 2008-06-04 - 主分类号： H01M6/14 文献下载
摘要：本实用新型是一种电池，它解决了大体积碳包式电池的碳包的不均一问题，它是由壳体、正极柱、锂片、底膜、边膜、碳包数个叠放、盖膜和盖组连接而成，在壳体内的正极柱上依次叠放着锂片、边膜、碳包数个，边膜位于锂片和碳包之间，底膜位于碳包的下面，盖膜位于碳包的上面；盖组与壳体焊接在一起；正极柱与盖组为一体；碳包可有数个叠放；每个碳包的直径一致，高度一致；本实用新型的意义是，碳包分段摆放、均一性能好，制作简单，操作方便。
锂电池

[发明专利]一种钒酸铋光阳极及其制备方法与应用-CN202011002543.9有效
发明人：张晓阳;王敏瑞;王泽岩;黄柏标;程合锋;郑昭科;王朋;刘媛媛;张倩倩 -专利权人：山东大学
申请日： 2020-09-22 - 公布日： 2022-01-25 - 主分类号： C25B11/031 文献下载
摘要：本发明公开了一种钒酸铋光阳极及其制备方法与应用，制备方法为：在透明导电基底表面制备依次制备钒酸铋层、碳球层，再重复制备钒酸铋层和碳球层，使得透明导电基底表面形成活性层，活性层由n层钒酸铋层及n‑1层碳球层交错叠放形成，所述活性层的两侧最外层均为钒酸铋层，n为大于1的自然数；将钒酸铋前驱体溶液旋涂成钒酸铋前驱体膜，再烘干、煅烧形成钒酸铋层；所述钒酸铋前驱体溶液中含有钒盐和铋盐；将碳球分散液旋涂成碳球膜，再烘干形成碳球膜
一种钒酸铋光阳极及其制备方法应用

[发明专利]在平面化过程中保护磁位的方法-CN201210208548.6无效
发明人：郭晓民;M·R·费尔德鲍姆;P·拉乔拉;H·拉姆 -专利权人：希捷科技有限公司
申请日： 2012-06-21 - 公布日： 2013-01-02 - 主分类号： H01L43/12 文献下载
摘要：各实施例披露了一种在碳域平面化过程中保护磁位的方法，包括在经布图的叠层的磁位和磁膜上沉积止蚀层；在止蚀层上沉积碳填充层；以及在碳域的平面化和回蚀过程中使用止蚀层以在碳域平面化过程中保护经布图的叠层磁位。
平面化过程保护方法

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