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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种聚晶金刚石复合片抛光面色差的消除方法-CN202211717924.4在审
发明人：朱岩;白书争;赵东鹏;康迪 -专利权人：河南四方达超硬材料股份有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明属于聚晶金刚石复合片的抛光领域，具体涉及一种聚晶金刚石复合片抛光面色差的消除方法。该方法包括以下步骤：将聚晶金刚石复合片在450～550℃保温，然后在空气中自然冷却，冷却后打磨去除抛光面的氧化杂质。本发明的聚晶金刚石复合片抛光面色差的消除方法，通过高温处理在抛光面上形成氧化杂质，再打磨去除氧化杂质，实现抛光面色差的去除，使PCD面颜色趋于一致。经过电镜检测证明，本发明的色差消除方法的聚晶金刚石组织、成分与高温处理之前基本相当，证明了方法的有效性。
一种金刚石复合抛光色差消除方法

[发明专利]一种双工器-CN202310301895.1在审
发明人：许夏茜;雷强;董元旦;杨涛;马增红 -专利权人：成都频岢微电子有限公司
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H03H9/70 文献下载
摘要：该双工器包括层叠设置的封装基板、接收滤波器晶圆和发射滤波器晶圆；所述接收滤波器晶圆的上表面布设由声表面波谐振器构成的接收滤波器；所述发射滤波器晶圆的上表面布设由体声波谐振器构成的发射滤波器；所述发射滤波器的天线端口、发射端口和接地端口均通过金属柱引至接收滤波器晶圆的上表面，并与封装基板的金属层电性连接。
一种双工器

[发明专利]一种利用电子束诱导在非晶中生长纳米级二维材料的方法-CN202310221603.3在审
发明人：张军伟;王楠;徐琦;姜泽;褚非同;邓霞;朱柳;关超帅;李华;彭勇 -专利权人：兰州大学
申请日： 2023-03-09 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： C01B19/04 文献下载
摘要：本发明属于纳米材料技术领域，具体涉及一种利用电子束诱导在非晶中生长纳米级二维材料的方法。本发明利用聚焦电子束对铁电样品的结晶区域与非晶区域的交界处和非晶区域的原子团进行辐照，电子束辐照铁电样品会引入能量，因为铁电样品的结晶与非晶边缘和不稳定的原子团处能量较高，电子束辐照引入的能量会在铁电样品的结晶与非晶边缘或者不稳定的原子团中产生空穴和点缺陷
一种利用电子束诱导非晶中生长纳米二维材料方法

[发明专利]外延晶圆生产设备、外延晶圆生产方法和装置-CN202211684529.0在审
发明人：崔贤斌;金柱炫;张海博;梁鹏欢 -专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： C30B25/14 文献下载
摘要：本发明提供一种外延晶圆生产设备、外延晶圆生产方法和装置。外延晶圆生产设备包括反应腔以及设置于所述反应腔内的气体输入管路和排气管路，其中，所述排气管路用于排出所述反应腔内的气体，所述气体输入管路包括主输入管路和辅助输入管路，所述主输入管路和所述辅助输入管路独立控制本发明通过设置辅助输入管路在外延晶圆的成膜阶段输入辅助掺杂气体，能够改善成膜效果，提高外延晶圆的电阻率的均一性。
外延生产设备方法装置

[发明专利]一种高强度玻璃的制备方法-CN202111442533.1在审
发明人：吴波 -专利权人：深圳市微思腾新材料科技有限公司
申请日： 2021-11-30 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： C03B32/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种高强度玻璃的制备方法，包括如下步骤：步骤一：基础玻璃制备；步骤二：核化热处理；步骤三：晶化热处理；步骤四：冷却后制得高强度玻璃；其中，所述核化热处理和晶化热处理均采用多段热处理。本发明通过对核化热处理及晶化热处理控制，实现在玻璃两侧表面形成有区别于玻璃本体的微晶化的第一区域。通过本发明所述的制备方法，热处理减少玻璃内部缺陷、微晶化提高第一区域玻璃强度、差异化形成正向有利压应力，提高玻璃的本体强度，提升玻璃的抗冲击和抗跌落性能。
一种强度玻璃制备方法

[发明专利]一种TaCo二元非晶合金薄膜及其制备方法-CN202211735030.8在审
发明人：朱政权;孙保安;周靖;刘霄;李伟峰;刘果明 -专利权人：东莞市昱懋纳米科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供了一种TaCo二元非晶合金薄膜及其制备方法，属于非晶合金薄膜技术领域。本发明提供的TaCo二元非晶合金薄膜以原子百分含量计，化学组成包括：Ta90.1～91.2％；Co8.8～9.9％。本发明使用Ta、Co二元体系作为合金薄膜成分，它们之间具有较大的负混合焓和原子尺寸错配程度，能够提升非晶形成能力，使非晶薄膜更加稳定，均匀且致密；本发明通过控制Ta的原子百分含量为90.1～91.2％，Co的原子百分含量为8.8～9.9％，所得二元非晶合金薄膜具备高硬度、高强度及耐高温性能，以及良好的塑性和热稳定性。
一种 taco 二元合金薄膜及其制备方法

[发明专利]一种三维集成电路堆叠结构及其制备方法-CN202211599489.X在审
发明人：朱智源;王骏豪;彭德光 -专利权人：重庆兆光科技股份有限公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： H01L21/60 文献下载
摘要：本申请提供一种三维集成电路堆叠结构及其制备方法，该制备方法包括：提供多个晶圆封装体，所述多个晶体封装体通过同侧电极相对设置形成两两相接的堆叠结构，所述堆叠结构中两个相邻晶圆封装体之间通过钝化层进行临时键合，使得所述两个相邻晶圆封装体同侧电极相互对齐；加热分解所述钝化层将所述堆叠结构中的各晶圆封装体进行永久键合，以使所述堆叠结构中各晶圆封装体之间通过各自电极形成贯通所述堆叠结构的信号通路，完成器件堆叠结构制作
一种三维集成电路堆叠结构及其制备方法

[发明专利]封装件及其形成方法-CN202210707612.9在审
发明人：余振华;顾诗章;黄建元;王垂堂;孙诗平 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2022-06-21 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： H01L23/528 文献下载
摘要：方法包括：在第一晶圆上形成第一介电层；以及形成穿透第一介电层的第一接合焊盘。第一晶圆包括第一半导体衬底，并且第一接合焊盘与第一半导体衬底的第一表面接触。方法还包括：在第二晶圆上形成第二介电层；以及形成延伸至第二介电层中的第二接合焊盘。第二晶圆包括第二半导体衬底。将第一晶圆锯切成多个管芯，第一接合焊盘位于多个管芯中的第一管芯中。
封装及其形成方法

[发明专利]一种化学机械抛光系统和抛光方法-CN202211523645.4在审
发明人：许振杰;请求不公布姓名;陈映松;吴兴;赵德文;路新春 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2022-12-01 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种化学机械抛光系统和抛光方法，所述化学机械抛光系统包括：前置单元；抛光单元；清洗单元，设置于前置单元与抛光单元之间；所述抛光单元包括多个抛光模块和晶圆传输机构，所述抛光模块围绕所述晶圆传输机构设置，所述晶圆传输机构能够在相邻抛光模块之间传输晶圆；所述抛光模块包括抛光盘、抛光组件和装卸台，所述装卸台设置于抛光盘的外侧，所述抛光组件设置于抛光盘和装卸台的上侧；所述抛光组件包括支撑架和悬挂于支撑架下方的承载头，所述支撑架旋转，以带动承载头装载的晶圆在装卸台与抛光盘之间移动。
一种化学机械抛光系统抛光方法

[发明专利]一种烧结法制备微晶玻璃的方法-CN202211304005.4在审
发明人：闫炳基;黄晓峰;国宏伟;赵伟;李洪玮 -专利权人：苏州大学
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： C03C10/06 文献下载
摘要：本发明涉及固废资源利用及微晶玻璃材料领域，公开了一种烧结法制备微晶玻璃的方法。本发明以萤石尾矿和铬铁合金渣作为原料，通过添加硼砂作为助熔剂和液相生成剂制备出主晶相为透辉石和钙长石的CaO‑SiO2‑MgO‑Al2O3系微晶玻璃，并具有较佳的抗折强度、硬度、密度和吸水率等性能，既解决了两种废料的回收利用和污染问题，又产生了高经济价值，相比较常规熔融法无需使用过多晶核剂促进析晶以及过多的试剂参与
一种烧结法制备微晶玻璃方法

[发明专利]耐压IGBT器件及其沟道推进方法和栅极制备方法-CN202211345231.7在审
发明人：张洁;刘东栋;梅佳 -专利权人：上海积塔半导体有限公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： H01L21/331 文献下载
摘要：使用该沟道推进方法制备IGBT器件时，在干法刻蚀N型掺杂多晶层后，使用炉管工艺执行P阱推进形成沟道，工艺中通过调整炉管中各片晶圆之间间距，使晶圆之间的距离增加至原有工艺的至少2倍距离，并且进炉过程的氮气保护氛围中提供氧气，使得晶圆的正面形成氧化层，结合增加晶圆之间的距离和增加氧化层这两种方式，减小在P阱推进时受到相邻晶圆N型杂质掺杂的影响，从而避免器件耐压失效，提高晶圆的良率，良率稳定性收敛更好，提升器件产品的可靠性。
耐压 igbt 器件及其沟道推进方法栅极制备

[发明专利]一种手指间距可调的晶圆搬运机构-CN202110900410.1在审
发明人：刘恩龙 -专利权人：沈阳富创精密设备股份有限公司
申请日： 2021-08-06 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及基板搬运机器人的技术领域，具体提供了一种手指间距可调的晶圆搬运机构，包括基座、立板、导轨、晶圆装载单元、手指连接部、间距改变装置，其中间距改变装置设置于基座和立板上，导轨竖直安装固定于立板上，晶圆装载单元和手指连接部固定连接实现与间距改变装置的传动连接，晶圆装载单元中包括至少三个以上奇数个手指，各手指上均设有多个防滑垫，间距改变装置滑动连接于导轨上且用于有效调节晶圆装载单元中各手指的间距。
一种手指间距可调搬运机构

[发明专利]一种测试蒸镀膜厚的方法-CN202211289147.8在审
发明人：叶顺闵;林伯璋;蔡孟霖;许邦泓;萧维彬 -专利权人：滁州钰顺企业管理咨询合伙企业（有限合伙）
申请日： 2022-10-20 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明属于半导体制造技术领域，具体涉及一种测试蒸镀膜厚的方法，将晶圆和测试片均放入行星盘相应的放置槽并进行晶圆背面金属化蒸镀制程，蒸镀完成后对两吋测试片进行膜厚测试，确认镀层厚度是否符合需求，进行破坏测试和拉力测试确认镀层外观有无剥落或颗粒产生，本发明完善了晶圆背面金属化蒸镀制程，可检测蒸镀制程后晶圆的镀层膜厚，同时可检测晶圆镀层外观有无剥落或颗粒产生，以此降低了产品异常率，可保证后续工序顺利进行，降低了成品的报废率，大大提升了生产效率，并降低了生产成本
一种测试镀膜方法

[发明专利]一种固晶设备及固晶方法-CN202111435636.5在审
发明人：雷伟庄 -专利权人：微见智能封装技术（深圳）有限公司
申请日： 2021-11-26 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明涉及固晶技术领域，特别涉及一种固晶设备及固晶方法，所述固晶设备包括主体，所述主体上界定有用于对基板和芯片进行焊接处理的焊接区，所述主体上还设有用于获取基板图像信息的下视视觉装置及用于获取芯片图像信息的上视视觉装置，所述主体上设置芯片位置调整设备，用于根据上下视觉装置获取的基板以及芯片的图像信息调整芯片的位置以对应到基板的预定位置；本发明通过下视视觉装置、上视视觉装置以及芯片位置调整设备三者相配合可以在固晶过程中自动对芯片和基板进行校准
一种设备方法

[发明专利]基于纳米机器人的晶界立体结构与电性能原位映射表征方法-CN202211048841.0在审
发明人：曹宁 -专利权人：郑州轻工业大学
申请日： 2022-08-30 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G01B15/04 文献下载
摘要：本发明属于微纳测量技术领域，公开一种基于纳米机器人的晶界立体结构与电性能原位映射表征方法，包括以下步骤：步骤1，氧化锌抛光放置；对氧化锌进行抛光处理，将抛光后的面记为X‑Y面，将氧化锌放置到SEM的样品室内，使X‑Y面水平向上；步骤2，筛选两个晶界表面；步骤3，对晶界表面的立体结构进行三维表征；在晶界表面划分位置点，探测位置点的Z向高度，提取Z向高度数据；步骤4，获取位置点的电性能；步骤5，建立晶界立体结构与电性能原位映射表征数据库
基于纳米机器人立体结构性能原位映射表征方法

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