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[发明专利]一种用于基板磨削的搬运装置和基板磨削装备-CN202311154280.7在审
发明人：路新春;李小娟;马旭;靳凯强;刘远航;赵德文 -专利权人：华海清科（北京）科技有限公司;华海清科股份有限公司
申请日： 2023-09-08 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B24B7/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于基板磨削的搬运装置和基板磨削装备，所述搬运装置包括固定座、摆臂和装载头，所述装载头设置于摆臂的端部并绕固定座摆动；所述装载头包括：导向轴，其竖向设置于所述摆臂的端部；第一吸盘，其滑动连接于所述导向轴；弹性件，其套设于导向轴的外侧并位于摆臂与第一吸盘之间；第二吸盘，其设置于导向轴的下端；装载基板时，下移的装载头使得第一吸盘抵接于基板，沿导向轴下移的第二吸盘抵接于基板，对第二吸盘抽真空以吸附基板；吸附有基板的装载头继续下移，使得第一吸盘和第二吸盘同时抵接于基板，对第一吸盘抽真空以吸附基板。
一种用于磨削搬运装置装备

[实用新型]一种往复式潜油电泵试验台架-CN202223401088.7有效
发明人：李占彪;史轩玮;黄新春;张嵘;李志鹏;苗杰;杨璐;陈露;周建龙;栾德爵;罗玉玺;赵德文;刘攀;苏鹏兄;穆俊松 -专利权人：中国海洋石油集团有限公司;中海油能源发展股份有限公司
申请日： 2022-12-19 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： F04B51/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种往复式潜油电泵试验台架。包括槽体，其用于盛装冷却介质、待测往复式潜油电泵和待测直线电机；待测直线电机安装架，其可拆卸地安装在所述槽体的右部，用于固定待测直线电机；液压装置，其设置在所述槽体的左侧；冷却介质循环装置，其设置在所述槽体的右侧，用于带动冷却介质循环；其中，在所述槽体外壁上设有震动传感器，所述冷却介质循环装置上设有温度传感器。本实用新型的有益效果是：能够模拟井下工作情况，便于对待测往复式潜油电泵的推力情况、运行振动情况和电机温升情况进行监测，以便实现对待测往复式潜油电泵在测试阶段进行负荷调节。
一种往复式潜油电泵试验台架

[发明专利]一种用于基板减薄的清洗方法及清洗装置-CN202111672103.9有效
发明人：刘远航;付永旭;王江涛;赵德文;路新春 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B08B1/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于基板减薄的清洗方法及清洗装置，所述清洗方法包括：水平移动部驱动第一清洗单元水平移动至待清洗基板上侧，第一清洗单元的刷体抵接于吸盘工作台顶面的基板；驱动部的旋转机构驱动第一清洗单元旋转，刷体清除基板上的颗粒，喷嘴朝向基板以及刷体与基板的接触处喷射流体，以冲洗基板顶面的颗粒；第二清洗单元的修整体与待清洗吸盘工作台抵接；驱动部的旋转机构驱动第二清洗单元旋转，第二清洗单元的修整体磨削吸盘工作台，第二清洗单元的刷体清除吸盘工作台顶面的颗粒，喷嘴朝向吸盘工作台以及刷体与吸盘工作台的接触处喷射流体，以冲洗吸盘工作台顶面的颗粒。
一种用于基板减薄清洗方法装置

[发明专利]一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆减薄设备-CN202011085594.2有效
发明人：刘远航;马旭;王江涛;赵德文 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2020-10-12 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆减薄设备，晶圆对中机构包括一固定台、一旋转驱动机构、一锥齿轮组件、预设数量的滚珠丝杠组件和预设数量的移动夹持组件；预设数量的滚珠丝杠组件沿周向均匀安装在固定台上，滚珠丝杠组件沿水平方向设置，滚珠丝杠组件的直线运动端连接移动夹持组件，滚珠丝杠组件位于锥齿轮组件外围并且滚珠丝杠组件的转动端与锥齿轮组件固定连接，锥齿轮组件与位于其下方的旋转驱动机构固定连接。
一种机构传输装置晶圆减薄设备

[发明专利]一种用于化学机械抛光的承载头、抛光系统和抛光方法-CN202211325513.0有效
发明人：孟松林;温世乾;赵德文;路新春 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B24B37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于化学机械抛光的承载头，其包括承载盘、弹性膜和保持环，所述弹性膜设置于承载盘的下方，所述保持环设置于所述弹性膜的外周侧并位于承载盘的底部；所述弹性膜包括底板部、直立部和水平部，所述底板部为盘状结构，直立部沿所述底板部的外缘竖直向上延伸，所述水平部自所述直立部的顶端水平向内延伸；还包括应变检测件和位置调节件，应变检测件沿周向设置于承载盘的底部，并且，所述弹性膜加压后，所述水平部抵接于应变检测件，以测量水平部的应力信息；位置调节件与应变检测件水平相邻设置于承载盘，位置调节件能够抵接于水平部，其基于应变检测件的测量值调节水平部的应力，使得水平部构成的腔室沿圆周方向的变形均匀。
一种用于化学机械抛光承载抛光系统方法

[发明专利]一种晶圆清洗装置-CN202310787611.4在审
发明人：陈贺;李长坤;赵德文 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆清洗装置，其包括箱体，其内部设置有溢流槽；支撑组件，其设置于所述溢流槽中，以支撑并带动晶圆旋转；喷液组件，其设置于所述溢流槽中，以朝向溢流槽底部喷射液体；所述溢流槽包括槽主体、整流部和收缩部，所述槽主体为矩形槽体，所述整流部和收缩部依次设置于所述槽主体的上方；所述整流部与收缩部之间设置有振板，其倾斜设置并朝向晶圆发出高频声波；所述整流部为矩形槽体，其内部宽度小于槽主体的内部宽度；经由整流部上移的流体，能够将高频声波剥离的污染物从溢流槽的顶部排出。
一种清洗装置

[发明专利]一种基板磨削工作台和基板磨削装备-CN202310739542.X在审
发明人：刘远航;陈超;靳凯强;赵德文 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2023-06-21 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： B24B7/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种基板磨削工作台和基板磨削装备，所述基板磨削工作台包括：安装座；旋转驱动部，其设置于所述安装座的下方；陶瓷吸盘，其设置于所述安装座的上方，以吸合待磨削的基板；所述安装座与陶瓷吸盘的接触处配置有辅助结构，其能够在所述接触处的至少部分区域形成真空，使得陶瓷吸盘紧密贴合于安装座的上方；所述基板磨削工作台是陶瓷吸盘真空吸合于安装座上方时，按照设定顺序安装固定螺栓，以保证陶瓷吸盘顶面的平整度。
一种磨削工作台装备

[发明专利]一种晶圆清洗装置和晶圆后处理装备-CN202310787613.3在审
发明人：陈贺;李长坤;赵德文 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆清洗装置和晶圆后处理装备，所述晶圆清洗装置包括：箱体；支撑部，其设置于箱体中，以竖向支撑待清洗的晶圆；振板，其倾斜设置于箱体中，以从侧向提供高频振动；喷液部，其朝向振板围成的内槽喷射流体，以将高频振动剥离的污染物从内槽的顶部溢流排出。
一种清洗装置晶圆后处理装备

[实用新型]一种泵工况集成控制柜-CN202223400498.X有效
发明人：陈露;苗杰;张嵘;黄新春;史轩玮;付军;栾德爵;李志鹏;李继承;郝丽翠;周建龙;罗玉玺;苏鹏兄;李刚;赵德文 -专利权人：中国海洋石油集团有限公司;中海油能源发展股份有限公司
申请日： 2022-12-19 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： H05K7/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种泵工况集成控制柜。包括：柜体，其前端面设有可开合的柜门；控制回路板，其设置在柜体左上部；多个抽屉，其分别通过导轨可抽拉地设置在所述柜体内；多个泵工况控制模块，其与所述多个抽屉一一对应，并分别设置在对应的抽屉内，多个泵工况控制模块分别与控制回路板电连接；多个行程开关，其分别设置在导轨内，并与对应的泵工况控制模块和控制回路板电连接，用于在拉出或推入抽屉时，断开或接通泵工况控制模块与控制回路板间的电路。本实用新型的有益效果是：将多个泵工况控制模块分别收纳在柜体的抽屉内，并设有行程开关，用于在维修泵工况控制模块抽出抽屉时断开泵工况控制模块与控制回路板间的电路，保障安全作业。
一种工况集成控制

[发明专利]具有柔性连轴器的晶圆对中机构、传输装置及减薄设备-CN202011085593.8有效
发明人：刘远航;马旭;王江涛;赵德文 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2020-10-12 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有柔性连轴器的晶圆对中机构、传输装置及减薄设备，其中，晶圆对中机构包括一固定台、一旋转驱动机构、一柔性连轴器、一锥齿轮组件、预设数量的滚珠丝杠组件和预设数量的移动夹持组件；预设数量的滚珠丝杠组件沿周向均匀安装在固定台上，滚珠丝杠组件沿水平方向设置，滚珠丝杠组件的直线运动端连接移动夹持组件，滚珠丝杠组件位于锥齿轮组件外围并且滚珠丝杠组件的转动端与锥齿轮组件固定连接，锥齿轮组件通过柔性连轴器与位于其下方的旋转驱动机构固定连接。
具有柔性连轴机构传输装置设备

[发明专利]晶圆竖直旋转处理设备及其应用的通风系统-CN202110761694.0有效
发明人：曹自立;李灯;申兵兵;李长坤;赵德文 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2021-07-06 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆竖直旋转处理设备及其应用的通风系统，晶圆竖直旋转处理设备包括：用于竖直旋转晶圆的夹持机构、用于输送流体的供给臂、用于在晶圆处理腔室内形成动态气流的通风系统；通风系统包括进气组件和排气组件，外部的气体从设于进风罩下方的进气管路引入并通过进风面板的进风口通入晶圆处理腔室，腔室内的气体从排风背板的排风口进入环形排风罩进行汇集，并通过环形排风罩的底部引出结构向下方的排气管路引出；进风面板上不同面积的进风口按照特定方式分布，进风口为台阶孔形状，其包括位于进气侧的第一通孔和位于出气侧的第二通孔，第一通孔的截面积不同于第二通孔的截面积从而对流经进风口的气体流量进行调节。
竖直旋转处理设备及其应用通风系统

[实用新型]一种基板磨削组件和基板磨削装置-CN202320337567.2有效
发明人：黄威;赵德文;刘远航;王江涛;路新春 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： B24B7/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基板磨削组件和基板磨削装置，所述基板磨削组件包括：支撑体，其上设置有竖向的基体通孔；旋转体，其同轴设置于所述基体通孔，旋转体的下部设置有磨削砂轮；所述旋转体包括芯轴、止推座和止推板，所述芯轴间隙设置于所述基体通孔中，所述止推座和止推板分别间隔设置于所述芯轴并位于所述支撑体的下侧和上侧；所述止推座的上表面与支撑体的下表面形成下部轴向间隙，所述止推板的下表面与支撑体的上表面形成上部轴向间隙；所述支撑体的内部设置有节流组件，所述节流组件包括一对节流器，所述节流器朝向所述上部轴向间隙和下部轴向间隙设置，其通过孔道与外部气源连通，以在轴向间隙之间形成稳定的气流。
一种磨削组件装置

[实用新型]一种晶圆减薄装置-CN202223512480.9有效
发明人：李森;刘远航;赵德文;路新春 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： B24B7/22 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆减薄装置，所述晶圆减薄装置包括转台，所述转台的表面配置有6个工位，沿旋转方向依次为多个上下料清洗工位、多个粗磨工位和多个精磨工位；所述粗磨工位和所述精磨工位的上方分别设置有粗磨单元和精磨单元。本实用新型提供的减薄装置配置了6加工工位，可采用不同的加工模式兼容不同硬度材料的减薄工艺，节省了加工时间，大幅提升了晶圆减薄的产能和设备利用率。
一种晶圆减薄装置

[发明专利]一种活性炭再生系统及再生方法-CN202110214199.8有效
发明人：王焕升;赵洪印;赵德文;何洋;张伟伟;刘述奇;傅学儒;乔满 -专利权人：盐城北创环保科技有限公司
申请日： 2021-02-25 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： B01J20/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种活性炭再生系统，包括吸附塔、补炭罐和再生装置，吸附塔的出水口与清水池相连接，吸附塔的进水口与原水池连接，补炭罐与吸附塔顶部的进炭口连通；吸附塔底部的出炭口与再生装置的进口连接，再生装置的出口与补炭罐连接。本申请通过采用水热液化原理的再生装置，直接对吸附塔排出的活性炭进行活化，有效解决了现有技术中活性炭再生工艺工序繁琐，严重制约生产效率且再生活化炉能耗大，造成环境的污染的问题，减少了活性炭再生的工序，提高了活性炭再生效率；且水热液化所需温度及压力远小于活化再生炉，且减少了废气的产生，不但降低了能耗，而且更加环保。本申请还刚开了一种使用该系统的活性炭再生方法。
一种活性炭再生系统方法

[实用新型]晶圆刷洗装置-CN202320337637.4有效
发明人：陈志达;赵德文;冯巨震;万明军;吴大亮 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B08B13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆刷洗装置，包括摆臂、升降驱动机构、弹性支撑机构、转轴、旋转驱动机构和刷体；升降驱动机构、弹性支撑机构和旋转驱动机构均位于摆臂上方，升降驱动机构、弹性支撑机构和转轴在竖直方向由上至下分布，升降驱动机构与旋转驱动机构在水平方向相邻配置；升降驱动机构通过弹性支撑机构连接转轴，转轴的上端可转动地连接于弹性支撑机构，转轴的下端穿过摆臂连接位于摆臂下方的刷体，旋转驱动机构连接转轴并通过转轴驱动刷体旋转；所述升降驱动机构与弹性支撑机构之间设置力传感器，以检测并反馈调节升降驱动机构施加的压力。
刷洗装置

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