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[实用新型]硅片篮-CN200520066746.9无效
发明人：左国军;黄进权 -专利权人：深圳市捷佳创精密设备有限公司
申请日： 2005-11-08 - 公布日： 2006-11-01 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于硅片生产加工中，存载、周转硅片的硅片篮，其包括设于两端的固定板(1)、分别设于该固定板上端两侧的固定杆(2)、设于该固定板(1)下部的可作上下位置调整的支撑杆(3)，所述固定板(1)中部的两侧纵向分别设有数个安装槽孔(4)，该安装槽孔中设有可沿固定板(1)横向作位置调整的插片杆(5)，该插片杆的外表面设有可插放硅片的凹槽(6)，所述固定板(1)的顶端卡接一压杆(7)。本实用新型通过调整插片杆及支撑杆的位置，使得一套硅片盒可适用多种规格的硅片，并且硅片存放量大大增加，从而使得硅片加工生产的综合成本大大降低，完全适合大规模自动化生产的需要。
硅片

[发明专利]硅片卸片装置-CN201811446123.2在审
发明人：董晓清;邱其伟 -专利权人：无锡市江松科技有限公司
申请日： 2018-11-29 - 公布日： 2019-02-01 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片卸片装置，包括料篮，料篮被配置于从前道生产线接收硅片，料篮固定装置，料篮固定装置被配置于固定料篮，料篮搬运装置，料篮搬运装置被配置于将料篮搬运至料篮固定装置处，硅片出篮装置，硅片出篮装置被配置于将硅片从料篮中分离，硅片存储装置，硅片存储装置被配置于存储硅片，硅片搬运装置，硅片搬运装置接收硅片出篮装置分离出的硅片并将硅片搬入硅片存储装置，通过料篮搬运装置和硅片搬运装置的设置，实现了料篮和硅片的搬运动作，避免了人工对料篮和硅片的搬运，同时通过硅片出篮装置将硅片从料篮中分离，避免了人工对硅片进行分离获取，从而避免了人工操作，保证了硅片卸料的稳定性，提高了硅片卸料的工作效率。
硅片料篮搬运装置固定装置硅片存储配置搬运卸片装置卸料工作效率人工操作装置分离固定料搬入存储保证

[实用新型]硅片卸片装置-CN201821993302.3有效
发明人：董晓清;邱其伟 -专利权人：无锡市江松科技有限公司
申请日： 2018-11-29 - 公布日： 2019-08-13 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片卸片装置，包括料篮，料篮被配置于从前道生产线接收硅片，料篮固定装置，料篮固定装置被配置于固定料篮，料篮搬运装置，料篮搬运装置被配置于将料篮搬运至料篮固定装置处，硅片出篮装置，硅片出篮装置被配置于将硅片从料篮中分离，硅片存储装置，硅片存储装置被配置于存储硅片，硅片搬运装置，硅片搬运装置接收硅片出篮装置分离出的硅片并将硅片搬入硅片存储装置，通过料篮搬运装置和硅片搬运装置的设置，实现了料篮和硅片的搬运动作，避免了人工对料篮和硅片的搬运，同时通过硅片出篮装置将硅片从料篮中分离，避免了人工对硅片进行分离获取，从而避免了人工操作，保证了硅片卸料的稳定性，提高了硅片卸料的工作效率。
硅片料篮搬运装置固定装置硅片存储配置搬运卸片装置卸料本实用新型工作效率人工操作装置分离固定料搬入存储保证

[实用新型]硅片收料装置及硅片分选机-CN202122470369.7有效
发明人：卞海峰;李昶;薛冬冬 -专利权人：无锡奥特维科技股份有限公司
申请日： 2021-10-13 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： B07C5/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种硅片收料装置及硅片分选机。硅片收料装置包括主输送线、侧分机构、硅片输送支线、规整机构及料篮收片机构；侧分机构被配置为将主输送线上运输的硅片输送至硅片输送支线；硅片输送支线被配置为将接收到的硅片输送并插入料篮收片机构所承载的料篮里；规整机构被配置为对硅片输送支线上运输的硅片进行规整；料篮收片机构被配置为移动所承载的料篮以便依次接收多片硅片并将多片硅片分层存放。通过硅片输送支线将硅片直接插入料篮收片机构的料篮里，通过料篮收片机构的料篮依次接收多片硅片并将多片硅片分层存放，不需要将硅片打包，可以直接与后续的工序对接，节约了中转时间，提高了生产效率，保证了硅片的质量
硅片装置分选

[实用新型]一种硅片篮检测装置-CN202222261197.7有效
发明人：闫福东;李永胜;刘晓军 -专利权人：华耀光电科技股份有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： G01B5/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种硅片篮检测装置，包括底座，底座上固定安装有固定架，检测板固定在固定架上，检测板的两侧安装有检测片，底座上滑动连接有工件板，工件板上表面用于放置硅片篮，通过工件板相对于底座的滑动能够使硅片篮朝向或者背向检测板移动，当硅片篮朝向检测板移动使检测板进入硅片篮后，检测片能够插入硅片篮的插槽内。对硅片篮进行检测时，通过手动推动工件板控制检测板进入硅片篮，通过观测检测片是否能够插入硅片篮相应的插槽内，判断硅片篮是否发生变形。
一种硅片检测装置

[实用新型]降低边抛液灼伤硅片的下载篮-CN202122716740.3有效
发明人：陈良臻;沈俊熙;王维师;王彦君;孙晨光;曹锦伟 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2021-11-08 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型降低边抛液灼伤硅片的下载篮，包括设置于下载位的下载槽内的下载篮主体，下载篮主体包括篮体，对应篮体的下端设置有鼓泡组件，硅片边抛后置入下载篮主体，鼓泡组件进行鼓泡，带动下载槽的纯水进行翻滚和溢流，带走硅片表面残留抛光液，形成避免抛光液在清洗前长时间滞留硅片表面灼伤硅片的防硅片表面灼伤加工结构。
降低边抛液灼伤硅片下载

[实用新型]带有缓冲装置的硅片清洗篮安插底槽-CN200820199426.4有效
发明人：尹吉星 -专利权人：江西赛维LDK太阳能高科技有限公司
申请日： 2008-12-08 - 公布日： 2009-07-08 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体领域的一种硅片清洗篮的部件，特别是带有缓冲装置的硅片清洗篮安插底槽。本实用新型提供了一种不容易损伤硅片的带有缓冲装置的硅片清洗篮安插底槽，其中：缓冲装置活动的设置在可以接触硅片底部的清洗篮安插底槽的外表面。带有缓冲装置的硅片清洗篮安插底槽可以缓冲硅片和清洗篮的槽齿、槽口的接触部分之间的碰撞和摩擦，可以减少或避免硅片在清洗过程中造成损伤，提高硅片质量。
带有缓冲装置硅片清洗安插

[实用新型]一种硅片插片入篮机构-CN202020526536.8有效
发明人：靳立辉;杨骅;尹擎;耿明强;赵晓光;杜晨鹏 -专利权人：天津环博科技有限责任公司
申请日： 2020-04-10 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种硅片插片入篮机构，用于硅片传输组件传输的硅片插入片篮盒，包括垂直升降模块、夹紧组件、片篮盒、缓冲组件；所述夹紧组件安装在垂直升降模块的滑块上，所述片篮盒与夹紧组件为可拆卸连接，所述片篮盒内设有多个置片凹槽；所述片篮盒一侧开有硅片入口，远离硅片入口的一侧安装有缓冲组件。本实用新型所述的片篮盒固定在夹紧组件上，夹紧组件在垂直升降模块上移动，垂直升降模块实现了片篮盒精准移动，所述缓冲组件安装在片篮盒上，减少硅片入篮时的冲击力，减少硅片损伤。
一种硅片插片入篮机构

[发明专利]一种用于硅片倒角机自动收料装置及实现方法-CN201710340045.7有效
发明人：雷海云;郭红慧;刘建伟;王帅;杨金坡;刘振福;谭永磷;吕莹 -专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
申请日： 2017-05-15 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： B65G15/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于硅片倒角机自动收料装置及实现方法，包括收料机固定架、片篮、片篮升降架、伺服升降机构、硅片自动翻版机构及传送带，收料机固定架、伺服升降机构、片篮升降架连接为可使片篮升降架上下运动，片篮置于片篮升降架上，使片篮、硅片自动翻版机构及传送带置于一条中心线上，硅片自动翻版机构取放硅片于传送带上和沥水，传送带带动硅片运动至片篮内，技术效果是，实现了国产倒角设备自动收料插篮功能，可实现片篮传递，避免后续清洗工序重复插篮
一种用于硅片倒角自动装置实现方法

[实用新型]一种用于硅片倒角机自动收料装置-CN201720532331.9有效
发明人：雷海云;郭红慧;刘建伟;王帅;杨金坡;刘振福;谭永磷;吕莹 -专利权人：天津市环欧半导体材料技术有限公司
申请日： 2017-05-15 - 公布日： 2018-01-23 - 主分类号： B65G15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于硅片倒角机自动收料装置，包括收料机固定架、片篮、片篮升降架、伺服升降机构、硅片自动翻版机构及传送带，收料机固定架、伺服升降机构、片篮升降架连接为可使片篮升降架上下运动，片篮置于片篮升降架上，使片篮、硅片自动翻版机构及传送带置于一条中心线上，硅片自动翻版机构取放硅片于传送带上和沥水，传送带带动硅片运动至片篮内，技术效果是，实现了国产倒角设备自动收料插篮功能，可实现片篮传递，避免后续清洗工序重复插篮
一种用于硅片倒角自动装置

[实用新型]硅片烘干机-CN201420010716.5有效
发明人：倪加乐;滕明;顾小兰 -专利权人：上海思恩电子技术（东台）有限公司
申请日： 2014-01-09 - 公布日： 2014-07-02 - 主分类号： F26B15/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片烘干机，包括支架，支承于支架上的烘干腔体，所述烘干腔体左右两侧设置有硅片篮进口与硅片篮出口，在所述支架上还设置有贯穿硅片篮进口与硅片篮出口的滑轨，在所述支架上还可移动地支承有与滑轨平行的拉杆该硅片烘干机不仅能满足每一生产节拍输出多个硅片篮的烘干要求，而且各硅片篮烘干输出后具有确定的位置。　
硅片烘干机

[发明专利]一种烘干设备-CN201611219715.1在审
发明人：赵佳彬;杨来宝;李补忠;郑建宇 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2016-12-26 - 公布日： 2018-07-03 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本发明涉及光伏硅片制造技术领域，尤其涉及一种烘干设备，包括槽体、加热控温组件、风机组件和硅片篮支撑件，槽体设置于清洗设备内，加热温控组件设置于槽体的内侧壁上，风机组件与硅片篮支撑件均设置于槽体内，硅片篮支撑件上放置硅片篮，风机组件的出风口位于硅片篮支撑件的下方，以将气流吹向硅片篮，槽体内还设有风道，风机组件的进风口与风道连通，以将气流吸入风机组件。本发明是将槽体集成到清洗设备中，硅片在清洗设备中完成清洗后，由机械臂将硅片篮取出放于本发明烘干设备的硅片篮支撑件上，实现干进干出自动化，替代了现有技术的甩干机，节约设备采购及人工成本，减少生产成本投入，
硅片篮风机组件支撑件槽体烘干设备清洗设备风道体内光伏硅片加热温控节约设备控温组件人工成本容量要求设备产能组件设置出风口机械臂进风口内侧壁甩干机产线硅片吸入加热连通生产成本清洗取出自动化采购替代制造

[实用新型]一种硅片清洗机-CN201420254600.6有效
发明人：李双江;郭钊 -专利权人：英利能源（中国）有限公司
申请日： 2014-05-19 - 公布日： 2014-09-17 - 主分类号： B08B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片清洗机，包括下料台(1)，设置于下料台(1)的工作台面下的传送链条(3)，传送链条(3)用于传送硅片篮(4)，下料台(1)对应硅片篮(4)工作位置处设置有至少两个检测开关(2)，两检测开关(2)沿传送链条(3)的传动方向并行设置；硅片清洗机还包括根据各检测开关(2)中任一者检测到硅片篮(4)的信号，发出停止机械手放下一硅片篮(4)动作的控制器；当各检测开关均将各检测信号发送给控制器，控制器对各信号进行分析、判断，当判断各检测信号中的任一者检测到硅片篮时，便发送停止机械手放下一硅片篮的控制指令于机械手，机械手便会停止向下料台处放硅片篮，避免了砸篮现象的发生。
一种硅片清洗

[发明专利]一种湿硅片自动分片装置-CN201210083756.8有效
发明人：刘华;张存新;郝刚;李松林;刘俊 -专利权人：江西赛维LDK太阳能高科技有限公司
申请日： 2012-03-27 - 公布日： 2012-08-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种湿硅片自动分片装置，包括水箱，水箱内设有硅片篮和升降机构，硅片篮用于倾斜放置硅片，升降机构由第一电机驱动；硅片篮顶端前后两侧分别设有一护板，护板上开设有通孔，通孔与一第一气体发生装置或一第一水压装置连接；硅片篮上方设有一与硅片平行设置的吸盘，吸盘上设有若干吸嘴，吸盘上穿设有一可上下活动的触针，触针与一控制模块连接，硅片篮底部开设有可容触针穿入的针孔，吸盘通过一支架滑动设于一导轨上，支架由一气缸驱动在导轨上滑动；水箱内设有一与硅片篮顶部平齐的滚轮，滚轮由第二电机驱动旋转，滚轮的转动方向与吸盘吸附到硅片后在导轨上的运动方向相反。本发明实现了湿硅片的自动分片，提高了分片效率，降低了硅片的碎片率。
一种硅片自动分片装置

[实用新型]一种湿硅片自动分片装置-CN201220119416.1有效
发明人：刘华;张存新;郝刚;李松林;刘俊 -专利权人：江西赛维LDK太阳能高科技有限公司
申请日： 2012-03-27 - 公布日： 2012-10-10 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种湿硅片自动分片装置，包括水箱，水箱内设有硅片篮和升降机构，硅片篮用于倾斜放置硅片，升降机构由第一电机驱动；硅片篮顶端前后两侧分别设有一护板，护板上开设有通孔，通孔与一第一气体发生装置或一第一水压装置连接；硅片篮上方设有一与硅片平行设置的吸盘，吸盘上设有若干吸嘴，吸盘上穿设有一可上下活动的触针，触针与一控制模块连接，硅片篮底部开设有可容触针穿入的针孔，吸盘通过一支架滑动设于一导轨上，支架由一气缸驱动在导轨上滑动；水箱内设有一与硅片篮顶部平齐的滚轮，滚轮由第二电机驱动旋转，滚轮的转动方向与吸盘吸附到硅片后在导轨上的运动方向相反。本实用新型实现了湿硅片的自动分片，提高了分片效率，降低了硅片的碎片率。
一种硅片自动分片装置

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