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[实用新型]一种硅粉回收除尘装置-CN202221504649.3有效
发明人：陈忠焰;李汝利;王晓明;林凯 -专利权人：新疆华茂硅基材料有限公司
申请日： 2022-06-16 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： B01D46/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅粉回收除尘装置，包括支撑架、回收除尘结构和清理结构，所述回收除尘结构设于支撑架上，所述清理结构设于回收除尘结构上，所述回收除尘结构包括除尘箱、硅粉气体进管、收集斗、硅粉出口、隔离板、支撑框、过滤袋和清洁空气出管，所述除尘箱设于支撑架上，所述硅粉气体进管设于除尘箱上，所述收集斗设于硅粉气体进管上，所述硅粉出口设于收集斗上。本实用新型属于除尘设备技术领域，具体是指一种硅粉回收除尘装置，有效的解决了目前市场上硅粉回收除尘装置经过长时间运行后，其滤袋迎尘表面所积累的硅粉层也会越来越厚，而硅粉层的存在会使除尘器的阻力损失增大，严重影响除尘器的除尘效率的问题
一种回收除尘装置

[实用新型]一种单晶硅棒截断传送运输装置-CN202220903518.6有效
发明人：张国峰;刘亮;赵思佳 -专利权人：辽宁博芯科半导体材料有限公司
申请日： 2022-04-19 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： B65G49/07 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶硅棒截断传送运输装置，包括底座，底座的底部四角处均固定安装有滑轮，底座的表面固定装配有支撑机构，底座通过支撑机构装配有硅棒放置架，放置槽内装配有硅棒辅助移动机构。通过支撑机构对硅棒放置架的高度进行调节，使硅棒存放架与存放架的存放处的位置相匹配，然后通过硅棒辅助移动机构将硅棒移入到存放架的存放槽内，通过本装置可以一次完成对多个硅棒的同时转运，不再需要多次将硅棒搬运至存放架内
一种单晶硅截断传送运输装置

[实用新型]硅棒放置调整装置、上料系统及截断机-CN202222936042.9有效
发明人：张洪军;孙鹏;刘绪军 -专利权人：青岛高测科技股份有限公司
申请日： 2022-11-03 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种硅棒放置调整装置、上料系统及截断机。该硅棒放置调整装置包括调整支撑架以及设置于所述调整支撑架上的调整滚轮，所述调整滚轮用于向上支撑和调整硅棒的放置位置。实施本申请的技术方案，能够在发现硅棒晶线位置正面对着切割面时，自适应调整硅棒的放置位置，降低在硅棒后续切割加工环节出现的风险，整个过程无需人工过多参与，省时省力，总体上能够有效减少这个环节的检测调整时间，提升硅棒的加工效率。
放置调整装置系统截断

[发明专利]一种自支撑多孔硅/ZnO复合材料的制备方法-CN202011204947.6在审
发明人：蒋鹏;范月华;郑菲;印旭超 -专利权人：马鞍山安慧智电子科技有限公司
申请日： 2020-11-02 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： H01G11/86 文献下载
摘要：发明公开了一种自支撑多孔硅/ZnO复合材料的制备方法，其制备步骤包括如下：自支撑多孔硅的制备，采用p型单晶硅的多步阳极氧化腐蚀为自支撑多孔硅；ZnO籽晶的生长，利用真空抽滤氧化锌溶液分散于多孔硅层之间，在氩气氛围下生长为氧化锌籽晶；复合材料的制备，水热合成法促进多孔硅层之间的氧化锌籽晶生长为纳米氧化锌层，形成一种微纳多孔硅/ZnO复合材料。本发明通过单晶硅多步阳极氧化腐蚀法，来实现多孔硅片层的生长和剥离；通过多孔硅表面的纳米氧化锌层实现了对多孔硅表面的钝化，改善了多孔硅表面高电阻和高反应活性，大大提高了多孔硅的电容特性和电化学稳定性，拓宽了多孔硅在超级电容器领域的应用前景
一种支撑多孔 zno 复合材料制备方法

[发明专利]一种GAAFET器件的沟道结构及其制备方法-CN202110217788.1有效
发明人：王桂磊;亨利·H·阿达姆松;林鸿霄;孔真真;罗雪;张青竹;殷华湘;余嘉晗 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-02-26 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： H01L29/10 文献下载
摘要：本发明的沟道结构包括硅衬底、沟道层以及多层硅层和多层支撑层，多层硅层依次层叠在硅衬底上，支撑层设于硅衬底与硅层之间和相邻两层硅层之间，沟道层设于硅层的表面，PMOS器件沟道层为单晶SiGeSn层，此时低组分的Sn有利于空穴迁移率的提高，NMOS器件沟道层是在释放后的Si纳米片上面依次性外延的SiGe/Si，Ge的浓度小于或等于0.3，此时Si为应变硅，有利于电子迁移率的提升。本发明的制备方法包括如下步骤：提供一硅衬底；在硅衬底上形成硅层和支撑层；在硅层的表面形成沟道层。本发明的沟道结构及其制备方法可用于GAAFET器件。
一种 gaafet 器件沟道结构及其制备方法

[实用新型]一种具有清理功效的刮硅脂工装装置-CN202022072023.7有效
发明人：汪代森 -专利权人：成都市贞观盛光电子科技有限公司
申请日： 2020-09-21 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： B08B1/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种具有清理功效的刮硅脂工装装置，属于技术领域，包括支撑座、刮硅脂工装和操控面板，刮硅脂工装位于支撑座外侧下端，且刮硅脂工装与支撑座固定连接，刮硅脂工装左侧设有操控面板，且操控面板与刮硅脂工装固定连接该种具有清理功效的刮硅脂工装装置结构稳定，使本装置在实际使用时，通过连接杆和磨硅脂片有稳定清理导热硅脂的功能，在清理工件上的导热硅脂时不会把工件损坏，连接杆和磨硅脂片工作时稳定成熟，不会导致工件在清理时产生报废，清理完后能够再次使用，且本装置有清洗风干功能，清理完导热硅脂后，有残留的导热硅脂屑在工件上，不需要人工对工件进行清洗擦干，使得减少了工作量，工作速度快。
一种具有清理功效刮硅脂工装装置

[实用新型]一种支撑模块、支撑装置及硅棒加工设备-CN202220268593.X有效
发明人：尚小端;成路;郭瑞波;张从桢;邓书珍;相鹏飞;郗磊 -专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
申请日： 2022-02-09 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种支撑模块、支撑装置和硅棒加工设备，所述支撑模块包括底座、支撑组件以及楔形调节组件；所述支撑组件与所述底座可拆卸连接，所述楔形调节组件设置于所述支撑组件与所述底座之间；所述楔形调节组件用于调整所述支撑组件与所述底座之间的间距本实用新型实施例可以使得支撑组件与所支撑的硅棒表面紧密接触，形成有效支撑，避免硅棒局部悬空，有助于确保硅棒截断后形成的断面与轴线保持垂直且降低崩边风险。此外，采用楔形调节组件，借助于楔形调节组件的斜面的配合，只需要通过简单的推拉动作即可快速调节间距，效率更高，可以节省硅棒的加工时间。
一种支撑模块装置加工设备

[实用新型]一种硅料清洗装置-CN201520418893.1有效
发明人：杨刚 -专利权人：重庆大全新能源有限公司
申请日： 2015-06-17 - 公布日： 2015-11-25 - 主分类号： B08B13/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种硅料清洗装置，包括：第一下支撑部，用于支撑竖直放置的边皮硅料的底部；第一侧支撑部，用于支撑竖直放置的所述边皮硅料的侧部；连接部，用于固定所述第一下支撑部和所述第一侧支撑部。本申请提供的上述硅料清洗装置，能够使边皮料在竖直放置的状态下进行清洗，这就省去了边皮料翻转的过程，提升了工作效率，且清洗后的边皮料在竖直状态下直接晾干，由于残余砂浆在重力作用下更容易脱离边皮料而落下，因此使砂浆残余减少，从而使硅料清洗更彻底，提高了硅料清洗的质量。
一种清洗装置

[实用新型]一种硅棒运输装置及运输系统-CN202223303912.5有效
发明人：王晓鹏;梁志慧;赵伟;党斌;王光宇;贡艺强;王猛;石岩;杨树生;赵艳慧;常顺;尹琨 -专利权人：内蒙古中环晶体材料有限公司
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： B62B3/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种硅棒运输装置，包括移动装置和第一硅棒传输装置；第一硅棒传输装置包括多个线性排列的滚轮组，一个滚轮组包括对称设立的两个支撑柱，支撑柱顶部呈斜面状，相对设立的两个支撑柱的斜面相对，斜面上设有滚轮；支撑柱固定在架体上；本实用新型还提供一种硅棒运输系统，包括硅棒运输装置，以及上料台，上料台上设有第二硅棒传输装置，第二硅棒传输装置结构与第一硅棒传输装置相同，且第二硅棒传输装置滚轮高度与第一硅棒传输装置高度相同本实用新型的有益效果是：通过运输装置实现硅棒的搬运，减轻人员负重，同时保证人员操作安全，杜绝因人工搬运单晶带来的受伤情况；另外，还可减少单晶搬运过程中的崩损异常情况，保证生产。
一种运输装置系统

[发明专利]贴合晶圆用支撑基板的制造方法及贴合晶圆用支撑基板-CN202180073159.4在审
发明人：野中直哉;稗田大辅;石崎宽章;谏见俊之;诸岩广大 -专利权人：胜高股份有限公司
申请日： 2021-10-18 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种贴合晶圆用支撑基板的制造方法，所述贴合晶圆用支撑基板通过使活性层用基板与支撑基板隔着绝缘膜贴合而成，所述贴合晶圆用支撑基板的制造方法具有：支撑基板主体准备工序(S21)，准备由单晶硅晶圆组成的支撑基板主体；氧化膜形成工序(S22)，在支撑基板主体上形成氧化膜；多晶硅层堆积工序(S23)，使多晶硅层堆积在氧化膜上；保护氧化膜形成工序(S24)，在多晶硅层的表面上形成保护氧化膜；及研磨工序(S25)，研磨去除保护氧化膜，并且研磨多晶硅层。
贴合晶圆用支撑制造方法

[发明专利]一种可分级处理的硅块蚀刻装置-CN202011259948.0在审
发明人：王力群 -专利权人：王力群
申请日： 2020-11-12 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种硅块领域，尤其涉及一种可分级处理的硅块蚀刻装置。本发明的技术问题为：提供一种可分级处理的硅块蚀刻装置。技术方案：一种可分级处理的硅块蚀刻装置，包括有支撑框架、实时控制屏、表面切除系统、物料转运系统、破碎系统、蚀刻系统、高压喷水器、第一储料箱和支撑底脚；支撑框架与实时控制屏相连接。本发明达到了将硅锭的有机物积淀最多的外层预先削除，防止破碎后对硅锭内部硅块二次污染，并且对破碎后体积不同的硅块进行分级蚀刻，使体积不同的硅块蚀刻程度保持一致，并且对硅块进行分级冲洗，防止蚀刻液残留，同时避免小块硅块得不到充分冲洗的现象的效果
一种分级处理蚀刻装置

[实用新型]一种硅晶片用存储花篮-CN202222576847.7有效
发明人：马永强 -专利权人：绍兴思密达科技信息咨询有限公司
申请日： 2022-09-28 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供一种硅晶片用存储花篮，涉及硅晶片存储领域，包括底板、两块横向侧板、两块纵向侧板、若干支撑板和若干支撑条，两块横向侧板、两块纵向侧板呈前后左右可拆卸式的设置在底板上，两块横向侧板、两块纵向侧板与底板之间形成槽状结构，每个支撑条上沿着其长度方向等间距设置有若干支撑板，若干支撑条纵向可拆卸式的设置在底板上。该硅晶片用存储花篮，通过将整块的支撑面板结构改成由若干等间距布置的支撑板构成支撑结构，采用与支撑板交错设置的梳状机械手，机械手可带动硅晶片纵向进入花篮内深处，然后向下移动将硅晶片放置在支撑板上，有效避免硅晶片在运输过程中损伤
一种晶片存储花篮

[实用新型]一种硅棒浮动支撑机构-CN201921594357.1有效
发明人：吴士亮;张天泽 -专利权人：沈阳昊霖智能装备有限公司
申请日： 2019-09-24 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： B28D7/04 文献下载
摘要：一种硅棒浮动支撑机构属于机械设备技术领域，具体涉及一种硅棒浮动支撑机构。本实用新型提供一种稳定可靠，能很好的适应硅棒外形变化的浮动支撑机构。本实用新型包括机架，其特征在于：机架上通过支撑液压缸设置有支撑架；支撑架上设置有支撑辊。
一种浮动支撑机构

[发明专利]一种太阳能电池硅块切割角度调节装置-CN201810549270.6在审
发明人：王韶平 -专利权人：安徽舟港新能源科技有限公司
申请日： 2018-05-31 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本发明公开了一种太阳能电池硅块切割角度调节装置，包括：底板、安装板、支撑板和齿轮。本发明提出的一种太阳能电池硅块切割角度调节装置，支撑板转动过程中，推动安装板转动。在硅块切割时，将硅块安置在安装板上，然后转动支撑板，便可调节安装板的倾斜角度，从而将硅块斜切转变为垂直切割，降低硅块斜切的难度。本发明中，通过驱动装置驱动齿轮转动，以便通过驱动装置对齿轮的转角进行精确控制，从而控制安装板上硅块的倾斜角度，以提高硅块斜切的精确程度。
硅块安装板切割角度调节太阳能电池硅斜切驱动装置齿轮转动底板控制安装板支撑板转动转动支撑板转角垂直切割驱动齿轮可调节支撑板切割安置

[实用新型]一种硅棒开方机顶紧夹持装置-CN202023240850.9有效
发明人：朱峰 -专利权人：上海翱帅自动化设备有限公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种硅棒开方机顶紧夹持装置，属于硅棒加工设备技术领域，包括底座，所述底座上表面固定安装有与硅棒相配合的硅棒安装座，所述硅棒安装座外侧安装有与底座滑动连接的支撑板，所述支撑板通过调节机构与底座相连，所述支撑板内侧安装有用于固定硅棒的夹紧机构；本实用新型通过设置调节机构与夹紧机构配合，实现了对不同规格的硅棒进行稳定夹持，同时夹紧机构在硅棒切割时可以随着切割同步移动夹持，保证了切割过程中的夹持稳定性
一种开方机顶紧夹持装置