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[实用新型]一种硅棒夹紧用回转机构-CN202223460624.0有效
发明人：蔡震;刘秀坤;李斌全;薛柏惠;赵锐 -专利权人：大连连城数控机器股份有限公司
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： B28D7/04 文献下载
摘要：本新型涉及一种硅棒夹紧用回转机构，包括硅棒支撑底座，还包括驱动组件和夹持组件。驱动组件固定安装于硅棒支撑底座上，驱动组件与夹持组件固定连接，驱动组件能够驱动夹持组件绕自身轴线转动或者升降，以压紧硅棒。通过驱动组件驱动与之相连的夹持组件及能够旋转，以在硅棒放置的过程中，旋转以进行让位，在硅棒放置好以后在经过驱动组件驱动夹持组件旋转至其上方，再朝下运动以压紧硅棒。解决了硅棒的放置受限，硅棒的放置过程复杂的问题，便于硅棒的截断。
一种夹紧回转机构

[发明专利]半导体压力传感器及其制造方法-CN200680035358.1有效
发明人：出尾晋一;田口元久;山下彰;吉田幸久 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2006-08-30 - 公布日： 2008-09-24 - 主分类号： G01L9/00 文献下载
摘要：一种半导体压力传感器，包括：硅支撑衬底(1)、在硅支撑衬底(1)上形成的绝缘层(2)和在绝缘层(2)上形成的硅薄板(3)。在硅支撑衬底(1)中形成沿硅支撑衬底(1)的厚度方向延伸的通孔(1a)。位于通孔(1a)的延长线上的硅薄板(3)用作通过外部压力变形的膜片(23)。绝缘层(2)残留在膜片(23)的整个下表面上。绝缘层(2)的厚度从膜片(23)的外缘部分向中心部分减小。
半导体压力传感器及其制造方法

[发明专利]一种吸收带宽动态连续可调的太赫兹吸波体-CN201310477713.2有效
发明人：胡放荣;邹涛波;陈涛;熊显名;张文涛 -专利权人：桂林电子科技大学
申请日： 2013-10-14 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： B32B9/04 文献下载
摘要：该吸波体的每个吸波体单元，均主要由硅基底、氮化硅层、电极层和多晶硅图案层组成，氮化硅层的上、下表面分别与电极层的下表面和硅基底的上表面相贴，在电极层上设有若干个供锚点通过的孔，多晶硅图案层通过锚点固定于氮化硅层上，所述的硅基底、氮化硅层、电极层和多晶硅图案层的中心轴线重合；多晶硅图案层包括位于同一水平面上的方形支撑块、内方形支撑环和外方形支撑环，位于内方形支撑环和外方形支撑环之间的4根“L”型弹片，以及分别设置在方形支撑块和内方形支撑环的表面上的内方形金属环和外方形金属环
一种吸收带宽动态连续可调赫兹吸波体

[实用新型]一种单晶硅棒生产用具有高稳定性的运输转移装置-CN202122478347.5有效
发明人：张会现;邵化水;边恒军 -专利权人：杞县东磁新能源有限公司
申请日： 2021-10-14 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： B65G29/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种单晶硅棒生产用具有高稳定性的运输转移装置，涉及单晶硅棒生产技术领域，该一种单晶硅棒生产用具有高稳定性的运输转移装置，包括车架，车架的顶部转动连接有支撑盘，支撑盘的上表面沿径向方向开设有多数个等间距分布的放置槽，放置槽的截面呈半圆形，放置槽用于容纳单晶硅棒，放置槽的一端延伸至支撑盘的外圆周面上，每个放置槽靠近支撑盘外圆周面的一端均设置有阻挡装置；转动支撑盘使多个放置槽可分别朝向工作人员，不需要来回走动，即可将多个单晶硅棒逐一的放置在放置槽的内部，方便工作人员安放单晶硅棒，降低劳动强度，在支撑盘转动的过程中，阻挡装置能够避免单晶硅棒受离心力从放置槽的一端脱离支撑盘。
一种单晶硅生产用具稳定性运输转移装置

[实用新型]一种太阳能硅晶片烧结网带-CN202223352993.8有效
发明人：张长勇 -专利权人：宁津县一一链网有限公司
申请日： 2022-12-14 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： F27B9/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种太阳能硅晶片烧结网带，涉及太阳能硅晶片生产技术领域。该太阳能硅晶片烧结网带包括：网带本体，网带本体包括若干根沿传送方向并排设置的主连接杆，相邻主连接杆之间设置有金属网丝，金属网丝绕接固定上下两侧的主连接杆，主连接杆上设置有可调节长度的支撑杆，支撑杆两端分别设置有用于与网带本体卡接的U型卡板，支撑杆上还设置有用于支撑硅晶片的U型凸起部，支撑杆两端设置有用于限制硅晶片滑动的第二限位块；通过第一套管和第二套管可以根据硅晶片的大小来调节支撑杆的长度；通过U型卡板可以将调节后的支撑杆与主连接杆固定，此设置适用于放置不同宽度的硅晶片，使用方便、灵活，适用范围广。
一种太阳能晶片烧结

[发明专利]SOI衬底制作方法及SOI衬底-CN201210333065.9无效
发明人：钟汇才;梁擎擎;罗军 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2012-09-10 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： H01L21/762 文献下载
摘要：根据一示例，该方法可以包括：提供绝缘体上硅衬底，所述绝缘体上硅衬底包括支撑衬底、位于支撑衬底上的绝缘层以及位于绝缘层上的硅层；在选定区域，在所述硅层上形成硅锗/硅的叠层，而在其他区域，在所述硅层上形成保护层；进行锗浓缩处理，使得选定区域中所述硅层转变为锗层；以及进行表面处理，以露出所述绝缘体上硅衬底的表面，从而形成所述SOI衬底。
soi 衬底制作方法

[发明专利]制造半导体器件的方法-CN201910210667.7有效
发明人：朴成珉;张世明;金奉秀;朴济民 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2019-03-19 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： H01L21/033 文献下载
摘要：一种方法包括：通过在衬底上沉积支撑掩模层、多晶硅层和硬掩模层并蚀刻硬掩模层，来形成硬掩模图案；通过使用硬掩模作为蚀刻掩模蚀刻多晶硅层来形成预多晶硅图案；氧化预多晶硅图案的侧表面，以形成多晶硅图案和氧化硅层；形成覆盖氧化硅层的侧面的隔墙图案；在支撑掩模层的顶表面上形成牺牲层，以覆盖氧化硅层和隔墙图案；蚀刻牺牲层和氧化硅层；通过使用多晶硅图案和隔墙图案作为蚀刻掩模蚀刻支撑掩模层来形成支撑掩模图案；以及通过使用支撑掩模图案作为蚀刻掩模蚀刻衬底来形成触发引脚
制造半导体器件方法

[发明专利]一种可移动式炉外铁水增硅装置-CN202211458258.7在审
发明人：张宗辉;杜德民;张晓孟;张胜平;杨晋娜;柴超超 -专利权人：广东新兴铸管有限公司
申请日： 2022-11-17 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： C21C7/00 文献下载
摘要：本发明涉及炉外增硅技术领域，且公开了一种可移动式炉外铁水增硅装置，包括增硅料斗、垂直通道、防堵料斗和送料管，其特征在于，所述增硅料斗的上沿设有多个硅铁球分配筒，多个所述硅铁球分配筒通过支撑台固定支撑，所述垂直通道位于增硅料斗正下方，并与增硅料斗连通，所述防堵料斗位于垂直通道的正下方，并通过密封法兰与垂直通道连通。该可移动式炉外铁水增硅装置，通过硅料斗、垂直通道、防堵料斗和送料管，增硅料斗上设硅铁球分配筒，防堵料斗上设振动电机，硅铁球分配筒内设分配盘，本发明结构简单，设计合理，通过硅铁球分配筒合理分配硅铁球数量，达到硅铁添加要求。
一种移动式铁水装置

[实用新型]支撑板以及金刚线切片机-CN201922101558.X有效
发明人：董慧;樊欢欢;杨帆 -专利权人：晶海洋半导体材料（东海）有限公司
申请日： 2019-11-29 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及支撑板以及金刚线切片机，其中，支撑板在切割硅棒时用于支撑所述硅棒，所述支撑板的正面或/和背面设置有导流槽。本实用新型实施例的支撑板，提高了其与晶托或/和硅棒用胶黏剂粘接的稳固性，从而降低了切割硅棒的过程中出现掉片的风险，减少了挂线、断线等异常的产生，进而，提高了硅片的切割质量，提高了工作效率。
支撑以及金刚切片机

[实用新型]一种用于微硅粉制备的球磨装置-CN202222081957.6有效
发明人：胡满根;林霞;戴文伟 -专利权人：将乐三晶新材料有限公司
申请日： 2022-08-09 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： B02C21/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于微硅粉制备的球磨装置，包括支撑底座，所述支撑底座上表面四周均设置有U形支撑架，所述U形支撑架上前后均架设有球磨筒，所述U形支撑架上设置有用于带动所述球磨筒转动的转动件，所述球磨筒内设置有用于对硅粉进行球磨的球磨件；本实用新型结构简单，操作便捷，能够在硅粉制备时，对硅粉进行球磨作用。
一种用于微硅粉制备装置

[发明专利]一种自支撑硅/碳纳米管复合负极材料及其制备方法-CN202010242440.3有效
发明人：吕丛杰;李振国;任晓宁;邵元凯;高继东;吴撼明;李凯祥;孔祥辰;周冰洁 -专利权人：中国汽车技术研究中心有限公司;中汽研（天津）汽车工程研究院有限公司
申请日： 2020-03-31 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： H01M4/36 文献下载
摘要：本发明提供了一种自支撑硅/碳纳米管复合负极材料，包括如下组分：纳米硅、碳纳米管，纳米硅嵌于碳纳米管骨架中。还提供了一种制备自支撑硅/碳纳米管复合负极材料的方法，至少包括如下步骤：将纳米硅溶液与碳纳米管溶液混合，过滤得到表面覆有硅/碳纳米管复合材料的滤膜；在上述得到的滤膜表面滴加使滤膜溶解的N,N‑二甲基甲酰胺，得到硅/碳纳米管复合电极，干燥后得到自支撑硅/碳纳米管复合负极。本发明创造所述的制备方法，以解决硅负极电导率低、循环过程中电极粉化的问题，同时解决传统涂布方法制备的硅负极能量密度低、结构不稳固等问题，制备所得的硅/碳纳米管复合负极材料表现出优异的电化学性能。
一种支撑纳米复合负极材料及其制备方法

[实用新型]一种应用于硅棒的运棒车-CN201621481637.8有效
发明人：戴志辉;韩刚;秦朗 -专利权人：锦州神工半导体有限公司
申请日： 2016-12-30 - 公布日： 2017-07-21 - 主分类号： B62B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种应用于硅棒的运棒车。包括车体；V型板/弧形板，其前端铰接在车体的前端，用于在水平状态下承托硅棒；以及支杆，其设置车体的后部并位于在所述V型板/弧形板的下方，用于支撑V型板/弧形板的末端；液压翻转装置，其设置在所述车体与V型板/弧形板之间，用于所翻转述V型板/弧形板；侧托板，其竖直设置在所述V型板/弧形板前端，用于在竖直状态下承托硅棒；多对滚动支撑装置，其底部通过位置调节装置设置在所述V型板/弧形板的两侧，用于支撑硅棒。本实用新型的有益效果是设有多对滚动支撑装置，在滚动支撑装置的前端设有轮辊，能够滚动支撑所述硅棒，便于对硅棒进行检测。
一种应用于运棒车

[实用新型]一种硅棒输送装置-CN202222108682.0有效
发明人：关荣华 -专利权人：苏州富斯源智能科技有限公司
申请日： 2022-08-11 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： B65G43/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅棒输送装置，其涉及硅棒输送技术领域，旨在解决现有的硅棒输送装置不能在输送的过程中对硅棒进行称重操作，功能性单一，整体实用性有待提高的问题，其技术方案要点包括底部支撑座，所述底部支撑座的上端两侧边处分别固定安装有一个固定轨道，所述固定轨道的外部滑动安装有滑座，所述滑座的上表面上固定连接有限位支撑柱，多个所述限位支撑柱之间活动安装有活动支撑座，所述滑座的内部安装位内安装有电子秤检测模块，所述电子秤检测模块的检测端固定连接在活动支撑座的下端面上达到了能在对硅棒进行输送的过程中对硅棒进行称重的效果。
一种输送装置

[发明专利]可调整的异型硅钼棒元件组装设备-CN202210377954.9在审
发明人：陈守双 -专利权人：陈守双
申请日： 2022-04-12 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： B25B27/00 文献下载
摘要：本发明涉及硅钼棒元件制作领域，尤其涉及一种可调整的异型硅钼棒元件组装设备。本发明的技术问题是：用现有设备将异形硅钼棒安装在陶瓷纤维体上时，U型卡扣易掉落，异形硅钼棒放置不到位的现象，导致异形硅钼棒易变形，会严重影响产品质量。本发明的技术实施方案是：一种可调整的异型硅钼棒元件组装设备，包括有支撑台、第一支撑架和第一输送机等；支撑台后方设置有第一支撑架；第一支撑架内部设置有第一输送机。本发明设计了上料系统，实现了可持续输送异形硅钼棒往后移动，在同时安装多个U型卡扣时，将异形硅钼棒限制住，防止异形硅钼棒摆动，影响U型卡扣的安装，避免了人工一个一个安装U型卡扣，提高了工作效率。
可调整异型硅钼棒元件组装设备

[发明专利]用于探针结合的硅晶片以及使用其进行结合的方法-CN200580016527.2无效
发明人：李廷勋 -专利权人：飞而康公司
申请日： 2005-06-14 - 公布日： 2007-05-02 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：在本文中公开了一种用于探针结合的硅晶片和使用该硅晶片进行探针结合的方法。该用于探针结合的硅晶片在结构上进行了改进，以便利在探针基底上的探针结合。探针结合方法包括将硅晶片上的支撑柱结合到探针基底上的凸起。硅晶片在其表面形成有探针尖以及位于探针尖端部的支撑柱，以具有预定的排列图案。硅晶片还包括贯穿其上表面到下表面的开口。各个所述支撑柱的与所述探针尖相对的第二端通过所述开口暴露到外面。
用于探针结合晶片以及使用进行方法