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- [实用新型]一种单晶炉硅料复投装置-CN202320867415.3有效
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张国峰;郭党;赵思佳
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辽宁博芯科半导体材料有限公司
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2023-04-18
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2023-08-29
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C30B15/02
- 本实用新型公开了一种单晶炉硅料复投装置，包括底座，底座的表面通过支撑架固定装配有底板，底板的顶部固定装配有储料桶，储料桶的内腔开设有储料腔和装配腔，储料腔的底部开设有贯穿至装配腔内的连接孔，装配腔的侧壁开设有贯穿储料桶的开口槽，储料腔内装配有储料架，装配腔内固定装配有与储料架相传动连接的传动机构，装配腔内固定装配有连接组件，装配腔内通过连接组件固定装配有贯穿开口槽的加料。对不同尺寸大小的硅料进行储存，通过传动机构带动储料架的转动，可以使第一料仓、第二料仓或第三料仓分别与加料管进行连通，通过加料管向单晶炉内完成硅料的复投，从而满足对单晶硅棒的不同加工时间硅料复投的生产需求。
- 一种单晶炉硅料复投装置
- [实用新型]一种单晶炉水冷导流罩-CN202320810497.8有效
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郭党;张国峰;冯鑫;高仁敬
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辽宁博芯科半导体材料有限公司
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2023-04-13
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2023-08-25
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C30B15/00
- 本实用新型公开了一种单晶炉水冷导流罩，包括外罩体和内罩体，外罩体和内罩体之间装配有固定螺栓，固定螺栓的顶部螺接有螺母，内罩体与外罩体之间装配有冷却层，冷却层内装配有冷却管路，内罩体的顶部固定装配有进水管连接头和出水管连接头。在使用的过程中通过冷却层内所设置的冷却管路中冷却水的循环完成对内罩体和外罩体的整体降温，采用呈螺旋分布的冷却管路使其对内罩体和外罩体具有更好的冷却效果，当冷却管路内产生堵塞使其冷却水循环不畅时，可以单独对冷却层进行拆分更换，拆卸维护过程简单、方便，同时又节约了成本，避免了对导流罩的整体更换，避免了资源的浪费。
- 一种单晶炉水冷导流
- [实用新型]一种单晶硅棒加工后存放架-CN202220651962.3有效
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郭党;刘瑞强;穆光裕
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辽宁博芯科半导体材料有限公司
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2022-03-24
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2022-09-16
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B25H3/04
- 本实用新型公开了一种单晶硅棒加工后存放架，属于单晶硅存放领域，包括底座，底座的上表面安装有多个支撑柱，左右两个支撑柱的上表面之间固定安装有存放盒，存放盒内均开设有U型腔，U型腔内均贯穿开设有滑槽，滑槽内均滑动安装有U型托举板，U型托举板的下表面均一体成型设置有固定块，多个固定块的下表面之间固定连接有移动板，移动板的外表面中心部转动连接有工字连接件，工字连接件的上表面固定连接有固定杆，固定杆的顶端固定连接有手轮，工字连接件的下表面固定连接有螺纹杆，底座的上表面固定安装有倒置U型架，螺纹杆贯穿螺接在倒置U型架的外表面，本实用新型能够将多个单晶硅棒同步移出存放腔，提高卸货效率。
- 一种单晶硅加工存放
- [实用新型]一种用于单晶硅片的退火支架-CN202220967311.5有效
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杜珂;嵇星;张野
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辽宁博芯科半导体材料有限公司
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2022-04-25
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2022-09-16
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C30B33/02
- 本实用新型公开了一种用于单晶硅片的退火支架，包括底座，底座的顶部中心处转动连接有底部支架，底座的内腔固定安装有电机，且电机的输出端与底部支架固定连接，底部支架通过调节机构连接装配有顶部支架，底部支架与顶部支架的相对侧壁均开设有夹持槽。通过底部支架带动单晶硅片进行旋转，对单晶硅片进行冷却降温，顶部支架的高度通过调节机构进行调节，方便对不同尺寸大小的单晶硅片进行夹持固定，同时在调节机构内设置有定位组件，通过定位组件可以保持对顶部支架调节后位置的稳定，在调节机构的固定轴内开设有辅助散热腔和散热槽，通过辅助散热腔与散热槽的配合，便于单晶硅片附近的空气流动，加强对单晶硅片的冷却效果。
- 一种用于单晶硅退火支架
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