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- [发明专利]电子设备、半导体器件及其制备方法-CN202011591511.7在审
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金华俊;李春旭;林峰
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无锡华润上华科技有限公司
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2020-12-29
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2022-07-01
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H01L29/06
- 本申请涉及一种电子设备、半导体器件及其制备方法,包括:衬底,具有第一导电类型;第一埋层,具有第二导电类型,形成于衬底中,第二导电类型与第一导电类型相反;第二埋层,具有第二导电类型,形成于第一埋层的上表面,第二埋层的掺杂浓度低于第一埋层的掺杂浓度;第二导电类型阱区,形成于第二埋层上,底部与第二埋层接触;器件层,形成于第二埋层和第二导电类型阱区围成的区域中,器件层包括第一导电类型阱区,第一导电类型阱区形成于第二埋层靠近所述第二导电类型阱区的上表面第二导电类型阱区与第二埋层形成的平面结的击穿电压与第二埋层的掺杂浓度有关,在增加第一埋层的掺杂浓度来降低衬底电流的时候,不会降低该平面结的击穿电压。
- 电子设备半导体器件及其制备方法
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