本发明公开了一种MOCVD制程含氨尾气制氢的非催化渗透性膜反应器及应用，由含活性组分钴10~30%（w/w）、钼5~20%（w/w），含助催化组分镧1~10%（w/w），含促进剂钾1~5%（w/w），及含经预处理的碳纳米管装填于由氧化铝为支撑体上涂覆有金属钯膜层的陶瓷膜管内，形成填充于膜管内的催化剂固定床层的非催化渗透性膜反应器（PBCMR，Packed Bed Catalytic Membrane Reactor），MOCVD制程含氨尾气经预处理后进入膜反应器内，在反应温度为400~600℃，反应压力为1.0~3.0MPa下进行氨热裂解催化反应，反应气经吸附精制脱氨、变压吸附提纯及金属吸气剂纯化，得到纯度大于6~7N的氢气产品，返回到MOCVD制程中循环使用，
