专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种羰基合成废铑催化剂用的灰化装置-CN202221558793.5有效
  • 刘春;江南;王涛;李刚;张凤;贾露露;刘万伟 - 南京荣欣化工有限公司
  • 2022-06-21 - 2022-12-02 - F23G7/04
  • 本实用新型提供一种羰基合成废铑催化剂用的灰化装置,属于羰基合成反应废铑催化剂中回收铑技术领域,包括灰化外壳,灰化外壳底部为球面结构,灰化外壳顶部设置有顶盖,顶盖上贯穿设置有温度计,顶盖上贯穿开设有透气孔,灰化外壳的外表面设置有若干个坐杆,坐杆与灰化外壳之间设置有铰链,铰链上设置有用于对坐杆旋转限位的限位块,灰化外壳内部设置有坩埚,坩埚上设置有内凹的夹耳,解决了以往羰基合成废铑催化剂用的灰化装置不利于灰化成分进行快速灰化,不方便灰化成分单独快速取出的问题,本实用新型结构合理,废催化剂残液集中快速灰化,方便灰化后的成分快去取出。
  • 一种羰基合成催化剂灰化装置
  • [发明专利]灰化设备及灰化方法-CN202110259110.X有效
  • 解浩楠 - 长江存储科技有限责任公司
  • 2021-03-10 - 2022-04-22 - H01J37/32
  • 本发明公开了一种灰化设备及灰化方法。根据本发明实施例的灰化设备包括反应室,用于晶圆的灰化处理,得到灰化后晶圆;传送通道,与所述反应室相连接,用于传送所述灰化后晶圆至冷却室;以及所述冷却室,与所述传送通道相连接以接收所述灰化后晶圆,并用于所述灰化后晶圆的冷却,其中,所述灰化处理的温度为第一温度;所述传送通道中的至少一部分的温度为第二温度;所述冷却室的温度为第三温度;所述第二温度低于所述第一温度,所述第三温度低于所述第二温度。根据本发明实施例的灰化设备及灰化方法,能够避免晶圆因温度骤冷而发生破片。
  • 灰化设备方法
  • [实用新型]一种颗粒炭粉化灰化装置-CN202120544807.7有效
  • 丁成 - 长春黄金研究院有限公司
  • 2021-03-17 - 2021-12-10 - F23B40/04
  • 本实用新型属于灰化炉技术领域,特别涉及一种颗粒炭粉化灰化装置;其中粉化器上设有上料斗、粉化滚压对辊和下料锥斗,下料锥斗与螺旋输送机连接,螺旋输送机伸入燃烧灰化炉内,且其上设有进料布风器,进料布风器上固定电加热燃烧盘;供风系统的鼓风机伸入燃烧灰化炉内,缓冲风室设置在燃烧灰化炉内,并与鼓风机连通,且缓冲风室套置在进料布风器外,燃烧灰化炉上设有烟气排口和灰化料排口;本实用新型将颗粒状活性炭先粉化再动态灰化,解决固定式静态燃烧灰化灰化存在的灰化不彻底和不可控的问题
  • 一种颗粒炭粉化灰化装置
  • [实用新型]一种样品前处理用灰化装置-CN201320708864.X有效
  • 王荣锁;刘卫东;丁洪深;冯国通;孙昭;王俊卿 - 山东省核与辐射安全监测中心;青岛迈可威微波应用技术有限公司
  • 2013-11-12 - 2014-04-16 - G01N1/44
  • 本实用新型提供了一种样品前处理用灰化装置,包括灰化器皿,在所述灰化器皿上设置有进气口和出气口,所述进气口连接进气管路,所述出气口连接出气管路,在所述出气管路上设置有冷凝回流结构;所述灰化器皿包括灰化器皿主体和灰化器皿盖,所述灰化器皿主体与灰化器皿盖可拆卸密闭连接。通过设置灰化器皿,并在出气管路上设置冷凝回流结构,使得绝大多数高分子挥发物冷凝,并重新进入灰化器皿,进行二次炭化,有效的避免了待测物质的散失,提高了测试的准确性。通过设置磁控管,使用微波加热,提高了样品前处理的效率,降低劳动强度,缩短灰化时间,样品受热均匀;并且加热能源为微波,微波直接针对介质加热确保温度的精确控制。
  • 一种样品处理灰化装置
  • [实用新型]一种含金物料灰化装置-CN202022413123.1有效
  • 乔瞻;张微;杨明远;刘金凤 - 长春黄金研究院有限公司
  • 2020-10-27 - 2021-06-18 - C22B7/00
  • 本实用新型属于黄金矿山行业金银贵金属综合回收技术领域,具体涉及一种含金物料灰化装置;包括导轨、灰化室、物料储运系统和助燃引风机,其中导轨一端固定在灰化室内的地面上,另一端位于灰化室外部的地面上,位于灰化室外部的导轨上配合连接有物料储运系统,灰化室上设有排气管口、测温元件和进风管路,灰化室内部设有加热元件,助燃引风机通过引风管路与灰化室上的排气管口连通;该装置可以实现活性炭、炭粉、碎炭、炭泥以及草根木屑等含金物料的灰化焙烧,满足金银贵金属的回收
  • 一种物料灰化装置
  • [发明专利]刻蚀后的灰化方法及磁传感器的形成方法-CN201410006870.X在审
  • 张振兴;奚裴;熊磊 - 上海华虹宏力半导体制造有限公司
  • 2014-01-07 - 2014-04-16 - H01L21/311
  • 一种刻蚀后的灰化方法及磁传感器的形成方法,所述刻蚀后的灰化方法包括:提供基底,所述基底表面具有刻蚀形成的氮化钽层,所述氮化钽层表面具有光刻胶层,所述光刻胶层作为刻蚀氮化钽层的掩膜;刻蚀完成后,对所述氮化钽层表面的光刻胶层进行灰化工艺,所述灰化工艺的灰化气体包括氧气和含氟的刻蚀气体,所述灰化工艺的温度范围小于或等于150摄氏度,所述灰化工艺的射频功率范围小于或等于500瓦。由于所述灰化气体包括氧气和含氟的刻蚀气体,从而能完全去除氮化钽层表面的光刻胶层,且可以降低灰化工艺对氮化钽层和基底所造成的损伤。
  • 刻蚀灰化方法传感器形成
  • [发明专利]一种快速灰化微波马弗炉-CN200710094217.3无效
  • 杜荣庆 - 上海屹尧仪器科技发展有限公司
  • 2007-11-09 - 2009-05-13 - G01N1/44
  • 一种快速灰化微波马弗炉,包括设置其内部的聚能辐射灰化腔,所述灰化腔为聚能辐射灰化腔,所述灰化腔底拼接放置3-6块发热体,其上可同时放置12-16个坩埚,一个单磁控管设置于炉腔底部。根据本发明的快速灰化微波马弗炉,对样品的微波加热更集中,可高效、快速地把微波能聚集、转化为热辐射能的同时,提高热能,加热后热量保持好,不易散发,实现对处理样品的快速加热灰化和使用分析仪器的快速检测。
  • 一种快速灰化微波马弗炉
  • [发明专利]光刻返工方法及灰化设备-CN202010757248.8在审
  • 张宇;吴长明;冯大贵;欧少敏;王玉新;蒋志伟 - 华虹半导体(无锡)有限公司
  • 2020-07-31 - 2020-10-30 - H01L21/02
  • 本申请公开了一种光刻返工方法及灰化设备,包括:将晶圆放置于灰化设备的载片台的突起结构上,灰化设备上设置有至少三个所述突起结构;对晶圆上的光阻进行灰化处理,灰化处理的温度大于250摄氏度;对灰化处理后的光阻进行湿法剥离处理本申请通过在对晶圆进行光刻返工的工序中,将晶圆放置于设置有突起结构的灰化设备的载片台上,在高于250摄氏度的温度下对晶圆表面的光阻进行灰化处理,再对灰化处理后的光阻进行湿法剥离处理,由于突起结构能够隔离晶圆和载片台,从而使晶圆的温度不至于过热,解决了由于灰化处理中温度过高使得晶圆上的金属再结晶所导致的后续工艺中出现光阻剥离问题,提高了器件的制造良率。
  • 光刻返工方法灰化设备

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