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[实用新型]一种用于浸没式光刻机的气密封和气液分离回收装置-CN201220249142.8有效
发明人：傅新;陈文昱;徐宁 -专利权人：浙江大学
申请日： 2012-05-30 - 公布日： 2012-12-19 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于浸没式光刻机的气密封和气液分离回收装置。在浸没式光刻机中的投影物镜组和硅片之间装有气密封和气液分离回收装置；气密封和气液分离回收装置包括密封和注液回收装置、气液分离片组和液体回收片组，密封和注液回收装置由浸没单元前端盖和浸没单元后端盖组成。本实用新型用来完成浸没式光刻系统中缝隙流场的密封和注液回收功能，实现缝隙流场连续稳定的更新。缝隙流场边缘使用气密封结构防止液体泄漏，采用气液分离回收结构实现气体和液体的分离和分别回收，避免了气液两相流的产生，从而避免了气液两相流同时回收时引起的管路振动问题。
一种用于浸没光刻密封和气分离回收装置

[发明专利]浸没式液冷散热装置-CN202110790153.0在审
发明人：朱燕斌;张楠赓 -专利权人：北京嘉楠捷思信息技术有限公司
申请日： 2021-07-13 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： H05K7/20 文献下载
摘要：本发明公开一种浸没式液冷散热装置，其包括液体冷却模块和油路循环设备，油路循环设备包括冷油出口、热油入口以及油冷却模块，液体冷却模块包括连接冷油出口的液体入油口和连接热油入口的液体出油口，液体冷却模块沿一延伸方向设置，多个待散热计算设备沿延伸方向依次沉浸设置于液体冷却模块内。本发明的浸没式液冷散热装置采用多个待散热计算设备沿延伸方向依次沉浸设置于液体冷却模块内的形式，散热效果好，散热效率高。
浸没式液冷散热装置

[发明专利]用于浸没式冷却的流体-CN201880037428.X在审
发明人：迈克尔·J·布林斯基;菲利普·E·图马;迈克尔·G·科斯特洛;威廉·M·拉曼纳;肖恩·M·史密斯 -专利权人： 3M创新有限公司
申请日： 2018-05-24 - 公布日： 2020-01-17 - 主分类号： C07C21/18 文献下载
摘要：本公开涉及一种浸没式冷却系统，该浸没式冷却系统包括具有内部空间的壳体；发热部件，所述发热部件设置在所述内部空间内；和工作流体液体，所述工作流体液体设置在所述内部空间内，使得所述发热部件与所述工作流体液体接触
链中杂原子工作流体发热部件卤化浸没式冷却个碳原子环状烷基基团环烷基基团直链或支链液体接触壳体

[发明专利]一种吸液测试方法及装置-CN201710353183.9在审
发明人：石桥;王秋君;周建新;陈群 -专利权人：惠州市宙邦化工有限公司
申请日： 2017-05-18 - 公布日： 2018-08-10 - 主分类号： G01N5/02 文献下载
摘要：为克服现有技术中吸液测试方法不准确的问题，本发明提供了一种吸液测试方法，包括S1、使待测物完全浸没于液体中，并在待测物完全浸没于液体中的第一时间，检测待测物在液体中的重量M1；S2、保持待测物浸没于液体中，使待测物进行吸液；并在待测物吸液完成后，检测待测物在液体中的重量M2；S3、以M2与M1的差值作为待测物的吸液量。
待测物吸液浸没测试测试方法及装置测试过程测试数据测试装置实时监控自动记录吸液量检测耗时

[发明专利]一种浸没式换流阀装置-CN202010194040.X在审
发明人：徐永生;罗兵;张福增;曾向君;廖一帆;罗炜;王婷婷 -专利权人：南方电网科学研究院有限责任公司;中国南方电网有限责任公司
申请日： 2020-03-18 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： H01L23/44 文献下载
摘要：本发明涉及换流阀技术领域，公开了一种浸没式换流阀装置，包括壳体、接线端子以及换流阀组件，所述换流阀组件安装于所述壳体的内部空腔，所述空腔灌注有绝缘液体，以使所述换流阀组件浸没在所述绝缘液体内，所述接线端子与所述换流阀组件电气连接将所述换流阀组件浸没在所述绝缘液体内，在该换流阀装置工作过程中，利用所述绝缘液体直接带走所述换流阀组件产生的热量，通过所述接线端子连接外界设备，所述绝缘液体的绝缘性能比空气还好，只需更小的距离便可以实现绝缘要求
一种浸没换流装置

[实用新型]一种浸没式换流阀装置-CN202020348297.1有效
发明人：徐永生;罗兵;张福增;曾向君;廖一帆;罗炜;王婷婷 -专利权人：南方电网科学研究院有限责任公司;中国南方电网有限责任公司
申请日： 2020-03-18 - 公布日： 2020-11-20 - 主分类号： H01L23/44 文献下载
摘要：本实用新型涉及换流阀技术领域，公开了一种浸没式换流阀装置，包括壳体、接线端子以及换流阀组件，所述换流阀组件安装于所述壳体的内部空腔，所述空腔灌注有绝缘液体，以使所述换流阀组件浸没在所述绝缘液体内，所述接线端子与所述换流阀组件电气连接将所述换流阀组件浸没在所述绝缘液体内，在该换流阀装置工作过程中，利用所述绝缘液体直接带走所述换流阀组件产生的热量，通过所述接线端子连接外界设备，所述绝缘液体的绝缘性能比空气还好，只需更小的距离便可以实现绝缘要求
一种浸没换流装置

[发明专利]防止或者降低浸没式投影设备及浸没式光刻设备的污染的方法-CN200610063950.4有效
发明人： J·C·范德霍文 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2006-12-01 - 公布日： 2007-06-20 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种防止或者降低浸没式投影设备的污染的方法。所述设备包括至少一个浸没空间，当所述设备将辐射束投射到衬底上时，用液体至少部分地填充所述浸没空间。所述方法包括在利用所述设备将辐射束投射到衬底上之前用漂洗液漂洗至少部分浸没空间。
防止或者降低浸没投影设备光刻设备污染方法

[发明专利]一种浸没式光刻系统和浸没流场维持方法-CN201610255529.7有效
发明人：丛国栋;郑清泉;吴立伟 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2016-04-22 - 公布日： 2019-03-12 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种浸没式光刻系统和浸没流场维持方法，通过在浸没头中设置浸没液固化装置，在曝光过程中，浸没液固化装置将浸没头与所述硅片之间的浸没液固化形成密封墙，所述浸没头、所述密封墙和所述硅片形成盛放容器并盛放所述浸没液，在密封墙内的浸没液形成了介质，投影物镜镜头与硅片之间维持着液体的浸没液场；在曝光完成之后，浸没液固化装置将所有与硅片接触的浸没液固化，从而当硅片从工件台上移出后，浸没液不会因为重力作用下落，当工件台上上载新的未曝光的硅片后，将固化的浸没液与硅片接触，然后浸没液固化装置使固化的浸没液液化，继续下一轮曝光，因此这种装置和工艺在更换硅片后无需重新建立液场，节省了时间，提高了光刻效率。
一种浸没光刻系统维持方法

[发明专利]浸没式冷却设备、方法、冷却系统及计算设备-CN202010401657.4在审
发明人：王晓宇;苏丽;郑志林;高若飞;林海;张新杰;张子坚;包能辉 -专利权人：北京达佳互联信息技术有限公司
申请日： 2020-05-13 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： H05K7/20 文献下载
摘要：本公开是关于一种浸没式冷却设备、方法、冷却系统及计算设备，涉及通信技术领域，用以解决使用浸没式液冷技术为服务器散热时，操作繁琐，人工成本高的问题，本公开提供一种浸没式冷却设备，用于装载服务器，包括：架体、架体内形成有多个用于装载服务器和用于降低服务器温度的液体的腔室，至少一部分腔室内设有用于检测对应腔室内的液体高度液位检测装置；承载有用于降低服务器温度的液体的补液装置；用于当检测到腔室内液体高度不高于第一设定高度时，控制补液装置为腔室补充液体的控制装置。由于当检测到腔室内液体高度不高于第一设定高度时，控制装置可以控制补液装置为腔室补充液体，从而无需人工对腔室补充液体，操作简便，节省人工成本。
浸没冷却设备方法冷却系统计算

[发明专利]浸没式液体冷却槽及冷却装置-CN201910111026.6有效
发明人：毛之成;傅彦钧;张志鸿;张耀廷;张力文;魏钊科 -专利权人：鸿富锦精密电子（天津）有限公司
申请日： 2019-02-12 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： G06F1/20 文献下载
摘要：一种浸没式液体冷却槽，包括一槽体和一设有调节件的液体流动管，槽体用来装绝缘冷却液以浸泡电子装置，槽体上开设有一进口和一出口，进口和出口设于槽体上并位于电子装置的相对两端，以输入和输出绝缘冷却液，液体流动管设于槽体的内部且一端连接于进口或所述出口中的至少一个，调节件朝向电子装置；液体流动管连接进口或出口时，控制流入或流出槽体内的绝缘冷却液的量。还涉及一种采用该浸没式液体冷却槽的冷却装置，通过上述的浸没式液体冷却槽避免绝缘冷却液在流出槽体时，靠近槽体出口处电子装置因绝缘冷却液流动不均匀而导致冷却不佳。
浸没液体冷却装置

[发明专利]一种烹饪器具及其控温方法-CN201510901460.6在审
发明人：陈寅之 -专利权人：广东美的厨房电器制造有限公司;美的集团股份有限公司
申请日： 2015-12-08 - 公布日： 2016-02-24 - 主分类号： A47J27/00 文献下载
摘要：本发明涉及家用电器领域，公开了一种烹饪器具及其控温方法，该烹饪器具包括锅具和加热模块，其特征在于，该烹饪器具还包括感温模块和控制模块：所述感温模块被设置在所述锅具的外侧壁上且用于感测所述锅具的被锅内液体浸没的内侧壁所对应的外侧壁的温度以及所述锅具的未被锅内液体浸没的内侧壁所对应的外侧壁的温度，并将感测到的温度发送给所述控制模块；以及所述控制模块用于结合所述锅具的被锅内液体浸没的内侧壁所对应的外侧壁的温度信息和所述锅具的未被锅内液体浸没的内侧壁所对应的外侧壁的温度信息来控制所述加热模块的输出功率
一种烹饪器具及其方法

[发明专利]浸没式动力电池热管理系统-CN202211575986.6在审
发明人：肖鹏辉;庄志恒;王帅 -专利权人：江苏汇智高端工程机械创新中心有限公司
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H01M10/617 文献下载
摘要：本发明涉及一种浸没式动力电池热管理系统，包括电池单元和热管理单元；电池单元包括箱体、电池模组及液冷板，箱体上设置有外进液口、外出液口，液冷板上设置有内出液口，液冷板位于电池模组的下方，液冷板的内部设置有液体流道，箱体内形成浸没空间，内出液口连通在液体流道与浸没空间之间，外进液口连通至液体流道，外出液口连通至浸没空间；热管理单元包括控制器及外循环路径，外循环路径从外出液口连接至外进液口，外循环路径包括膨胀箱、循环泵该系统兼具加热模式和冷却模式，根据需要便捷控制，且液体与电池模组充分进行热交换，效率高、效果好，解决动力电池使用过程中热均匀性差及热安全性低的难题。
浸没动力电池管理系统

[发明专利]浸没撕带-CN201911157825.3有效
发明人：刘进财;吕国良;刘德隆;张富程;李建成 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2014-04-21 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： B32B38/10 文献下载
摘要：本发明描述了使用浸没撕带的实施例。提供了衬底，该衬底具有附接至其上的衬底胶带。该衬底包括附接至衬底胶带的导电连接件。在衬底和衬底胶带之间提供液体。当液体位于衬底和衬底胶带之间时，从衬底去除衬底胶带。另一实施例是一种装置，该装置包括浸没槽、衬底夹具、第一和第二固定压辊，以及可移动的压辊。衬底夹具配置为固定衬底且将衬底放置到浸没槽内。可操作第一固定压辊以分配夹紧胶带。可操作可移动的压辊以延伸到浸没槽中且将夹紧胶带粘附至衬底上的衬底胶带。本发明还提供了浸没撕带。
浸没

[发明专利]涡轮发动机油箱、测量液位的方法及计算机程序-CN201980004155.3有效
发明人： J-F.科特奎斯 -专利权人：赛峰航空助推器股份有限公司
申请日： 2019-04-17 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： F02D9/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于液体的箱(32)，特别是涡轮机比如飞机涡轮喷气发动机的箱，该箱包括具有内表面(48)的外部壁(36)；用于容纳箱(32)的液体并且由外部壁的内表面限定的内室；以及用于测量液位的系统(42该系统包括：与壁(36)的内表面匹配的可浸没部分；将可浸没部分与内表面分开的间隙(52)；以及液体检测器(54)，其配置成通过间隙向可浸没部分发射信号，所述信号配置成在间隙(52)中存在液体的情况下被修改
涡轮发动机油箱测量方法计算机程序

[实用新型]一种锥形分布盘式浸没燃烧蒸发器-CN201621086619.X有效
发明人：陈光凌;魏纳;吴皓;王志坚;林灿鑫 -专利权人：西南石油大学
申请日： 2016-09-28 - 公布日： 2017-04-19 - 主分类号： B01D1/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及石油化工用的一种锥形分布盘式浸没燃烧蒸发器，它主要由气体出口、燃烧控制系统、混合气进口、电磁流量计、液体进口、燃烧室、圆孔板、倒Y形气体分配板和热水出口组成。所述锥形分布盘式浸没燃烧蒸发器的左部设有气体出口，右部设有液体进口，顶部设有混合气进口，底部设有热水出口；混合气通过燃烧控制系统控制，从混合气进口进入燃烧室；液体通过电磁流量计计量流量后从液体进口进入分布盘式浸没燃烧蒸发器
一种锥形分布浸没燃烧蒸发器