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[发明专利]抛物面反射镜光学特征的检测方法和装置-CN202110163636.8在审
发明人：周广梅;尚振华;朱强铭 -专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2021-02-05 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本公开的实施例涉及一种抛物面反射镜光学特征的检测方法和装置。以使从所述激光干涉仪出射的光束朝向所述抛物面反射镜入射；将标准小球移动至所述抛物面反射镜所聚焦的光束的焦点处，以使所述标准小球与所述抛物面反射镜的所述焦点同心；测量从所述标准小球经由所述抛物面反射镜反射返回的光束的波像差；调整所述抛物面反射镜和所述标准小球中的至少一者，以确定所述返回的光束的最小波像差；以及基于所述最小波像差，确定所述抛物面反射镜的面型信息。
抛物面反射光学特征检测方法装置

[实用新型]投影物镜波像差在线检测装置-CN201320059357.8有效
发明人：刘广义;齐月静;苏佳妮;周翊;王宇 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2013-02-01 - 公布日： 2013-08-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种投影物镜波像差在线检测装置，包括光源(LA)、投影物镜(PO)、参考标记(RP)、探测器(DE)、掩模板(MA)。的焦平面处发生干涉，产生干涉条纹；该干涉条纹经过所述参考标记(RP)后照射在所述探测器(DE)上，转化为电信号；根据该电信号的强度得到所述干涉条纹的位置偏移量，再根据偏移量的大小可得到所述投影物镜(PO)的波像差本实用新型能够测量全部37项Zernike系数，简化了测试流程和波像差计算方法，提高了测量精度。
投影物镜波像差在线检测装置

[发明专利]点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法-CN201510982725.X在审
发明人：唐锋;王向朝;冯鹏;郭福东;卢云君 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2015-12-24 - 公布日： 2016-04-06 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：一种点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法之二,该测量仪由光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、理想波前与点光源发生单元、物方精密调节台、被测光学系统、像方波前检测单元本发明测量仪在被测光学系统物面仅需要产生一路标准球面波输出，降低了系统复杂性，提高了光能利用率；该测量仪也降低了系统精密度要求及操作复杂性。
衍射干涉波像差测量仪光学系统检测方法

[发明专利]一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置和方法-CN201310032880.6有效
发明人：刘广义;齐月静;张清洋;周翊;王宇 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2013-01-29 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置和方法，所述装置包括光源、投影物镜、探测器、工件台和掩模板，掩模板包括多照明模式模板和测试标记，激光将该测试标记经由投影物镜成像；探测器具有参考标记和在该参考标记下方的光电传感器，测试标记进行成像的激光经过该参考标记后照射在光电传感器上；工作台承载探测器，并在水平或垂直方向能够移动，根据光电传感器输出的电信号的强度能够判断测试标记像的位置，根据表示投影物镜像差和位置偏移量关系的矩阵可在线得到所述投影物镜的波像差本发明只需要经过一次照明和一次测量即可实现多照明模式下位置偏移量的测量，显著地提高了投影物镜波像差检测的速度。
一种光刻投影物镜波像差在线测量装置方法

[实用新型]一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置-CN201320047881.3有效
发明人：刘广义;齐月静;张清洋;周翊;王宇 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2013-01-29 - 公布日： 2013-08-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置，所述装置包括光源、投影物镜、探测器、工件台和掩模板，掩模板包括多照明模式模板和测试标记，激光将该测试标记经由投影物镜成像；探测器具有参考标记和在该参考标记下方的光电传感器，测试标记进行成像的激光经过该参考标记后照射在光电传感器上；工作台承载探测器，并在水平或垂直方向能够移动，根据光电传感器输出的电信号的强度能够判断测试标记像的位置，根据表示投影物镜像差和位置偏移量关系的矩阵可在线得到所述投影物镜的波像差本实用新型只需要经过一次照明和一次测量即可实现多照明模式下位置偏移量的测量，显著地提高了投影物镜波像差检测的速度。
一种光刻投影物镜波像差在线测量装置

[发明专利]物镜成像系统的波像差检测装置及其系统误差校正方法-CN201410456915.3有效
发明人：卢云君;唐锋;王向朝 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2014-09-10 - 公布日： 2017-01-18 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种物镜成像系统的波像差检测装置，包含光源、沿该光源发出光方向依次放置的准直镜、分光镜、聚焦镜和标准球面反射镜，以及数据处理单元、与该数据处理单元分别连接的波前传感器、第一精密调整台和第二精密调整台；在本发明中，测量过程和系统误差标定过程的切换是通过改变标准球面反射镜5的位置来实现，由于两次测量过程中，标准球面反射镜5具有相同的调节精度，因此可以有效的完成装置系统误差的标定测量并加以校正，提高了波像差测量精度本发明不需要高精度的标准光源，降低了成本，且装置的系统误差标定方法简单、结构紧凑，具有简单易于实现等优点，能够以简单的系统完成待测物镜成像系统的波像差检测。
物镜成像系统波像差检测装置及其系统误差校正方法

[发明专利]一种筛选光学系统像差敏感度的方法-CN202111448235.3在审
发明人：刘畅;董立松;张世鑫;韦亚一 -专利权人：南京诚芯集成电路技术研究院有限公司
申请日： 2021-11-30 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及光学系统技术领域，具体涉及一种筛选光学系统像差敏感度的方法，通过基于光刻曝光系统针对的图层特征设计测试图形和设定光刻曝光的工艺条件并建立包含光刻曝光质量特征的评价函数，并对光刻曝光质量变化进行评估，得到评估结果；基于评估结果改变光刻投影系统的波像差分布，并对光刻曝光质量进行仿真，结合评价函数完成波像差参数的敏感度分析，得到敏感度分析结果；设置与评价函数对应的敏感度阈值，并对敏感度分析结果中的阈值以上的泽尼克项进行筛选，得到筛选结果；对筛选结果进行控制，得到满足光刻成像性能指标的像差分布，解决了传统的波像差控制方法获得波像差分布的速度较慢的问题。
一种筛选光学系统敏感度方法

[发明专利]基于多偏振照明的光刻投影物镜高阶波像差检测方法-CN201711322600.X在审
发明人：诸波尔;李思坤;王向朝;张恒;孟泽江;步扬 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2017-12-12 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：一种基于多偏振照明的光刻投影物镜高阶波像差检测方法，本方法分为快速建模和像差提取两部分，快速建模部分首先设定投影物镜的偏振像差以及数值孔径等参数，然后分别在不同偏振照明方式下采用一元线性采样方式仿真空间像，并对仿真空间像进行主成分分析和多元线性回归分析，得到相应偏振照明方式下的主成分和回归矩阵；像差提取部分分别采集不同偏振照明方式下的实测空间像，对实测空间像进行主成分拟合得到主成分系数，联合不同偏振照明方式下得到的主成分系数和回归矩阵进行最小二乘法拟合得到实测空间像的泽尼克像差本发明实现了光刻投影物镜泽尼克像差Z5～Z64的快速建模和高精度检测。
基于偏振照明光刻投影物镜高阶波像差检测方法

[发明专利]在轨检测拼接式望远镜各子镜曲率半径非一致性的方法-CN202211421730.X在审
发明人：鞠国浩;鹿芝荣;许博谦;白晓泉;张春悦;王帅会 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-11-14 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G01B11/255 文献下载
摘要：在轨检测拼接式望远镜各子镜曲率半径非一致性的方法，属于光学检测领域，包括：采集拼接式空间望远镜不同焦面位置处的点扩散函数图像；以点扩散函数图像作为输入，利用相位恢复算法求解系统波前相位分布；利用泽尼克多项式对子孔径波前进行拟合，得到与各低阶像差对应的像差系数值，获得子孔径波前中所包含的离焦像差成分；解耦子镜曲率半径非一致性误差与其他镜面横向失调对子孔径离焦像差的影响；确定子孔径离焦像差与相应子镜曲率半径非一致性误差之间的近似线性关系；根据各子孔径波像差中离焦像差的差异值计算相应子镜曲率半径非一致性误差。
检测拼接望远镜各子镜曲率半径一致性方法

[发明专利]双眼自适应光学视知觉学习训练方法和学习训练仪-CN200910262471.9有效
发明人：张雨东;周逸峰;戴云;饶学军;赵豪欣 -专利权人：中国科学院光电技术研究所;中国科学技术大学
申请日： 2009-12-18 - 公布日： 2011-01-19 - 主分类号： A61F9/00 文献下载
摘要：本发明提出了一种双眼自适应光学视知觉学习训练仪，包括：左眼和右眼波像差测量子系统，用于分别测量得到被试者左眼和右眼的波像差；左眼和右眼波像差矫正子系统，用于分别根据测量得到被试者左眼和右眼的波像差，驱动控制波前矫正器，以分别校正被试者左眼和右眼的波像差；以及双眼视知觉学习训练子系统，用于处理和显示不同空间频率、不同对比度的视标，并通过被驱动控制的波前矫正器显示给被试者，进行双眼视功能测量和视知觉学习训练。本发明在矫正双眼像差以获得精细的视觉刺激的情形下，可以测量到双眼极限分辨能力，同时对双眼进行视知觉学习训练，有效提高视知觉学习训练效果和双眼视功能。
双眼自适应光学知觉学习训练方法

[发明专利]低偏振像差三反光学系统设计方法、系统、设备及介质-CN202310822655.6有效
发明人：罗敬 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2023-07-06 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明涉及光学设计领域，具体提供低偏振像差三反光学系统设计方法、系统、设备及介质，根据目标三反光学系统的要求确定自由设计参数的数目，并生成相应数目的随机数，根据赛德尔像差计算公式，以消除目标三反光学系统的初级球差初级像散和初级彗差为目标，通过自由设计参数和多个方程确定剩余设计参数，根据高斯光学理论，得到目标三反光学系统中三块有光焦度反射镜的全部结构参数，将所有参数输入到光学设计软件中并计算得到目标三反光学系统的波像差和偏振像差，根据波像差和偏振像差构建评价函数，若评价函数不满足需求，则重新以随机数的形式生成新的自由设计参数，并再次计算评价函数，直到波像差和偏振像差均满足需求时完成设计。
偏振像差三反光学系统设计方法系统设备介质

[发明专利]基于双光束干涉的投影物镜波像差在线检测装置和方法-CN201310041059.0有效
发明人：刘广义;齐月静;苏佳妮;周翊;王宇 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2013-02-01 - 公布日： 2013-05-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于双光束干涉的投影物镜波像差在线检测装置和方法，其中装置包括光源(LA)、投影物镜(PO)、参考标记(RP)、探测器(DE)、掩模板(MA)。的焦平面处发生干涉，产生干涉条纹；该干涉条纹经过所述参考标记(RP)后照射在所述探测器(DE)上，转化为电信号；根据该电信号的强度得到所述干涉条纹的位置偏移量，再根据偏移量的大小可得到所述投影物镜(PO)的波像差本发明能够测量全部37项Zernike系数，简化了测试流程和波像差计算方法，提高了测量精度。
基于光束干涉投影物镜波像差在线检测装置方法

[发明专利]波像差测量装置的误差校准方法-CN201410149109.1有效
发明人：葛亮;马明英 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2014-04-15 - 公布日： 2017-12-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种波像差测量装置的误差校准方法，包括以下步骤步骤一通过掩模台的掩模板上的物面测量标记和工件台的基准板上的若干个像面测量标记的相对运动进行波像差测量，然后通过测量的结果计算所述基准板的倾斜情况本发明摒弃了使用掩模对准、硅片对准和FLS来进行物面和像面波像差标记对准的方法，而是使用波像差测量结果计算波像差标记的对准精度，并进行调整；通过测量物面和像面运动台运动方向和标记方向之间是否存在夹角，并进行调整
波像差测量装置误差校准方法

[发明专利]一种用于投影物镜波像差绝对检测的测量装置和测量方法-CN202210538787.1在审
发明人：王青蓝;全海洋;胡松;刘俊伯;朱咸昌;王建 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2022-05-18 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于投影物镜波像差绝对检测的测量装置和测量方法，检测装置包括光源及照明系统、滤波系统、被测投影物镜、球透镜、准直系统和波前传感器，沿所述的光源及照明系统输出空间非相干光方向依次是滤波系统、被测投影物镜、球透镜、准直系统、波前传感器，沿所述的滤波系统位于被测投影物镜的物方视场，滤波系统放置在光源及照明系统的衍射极限处，形成理想球面波，被测投影物镜与光源及照明系统的衍射极限处于共焦的位置，球透镜放在与被测投影物镜共焦的位置，准直系统与球透镜也处于共焦的状态；结合随机平均法标定出投影物镜波像差检测装置的系统误差，将系统误差从相对测量结果中剔除，从而提高波前测量精度。
一种用于投影物镜波像差绝对检测测量装置测量方法

[发明专利]光学系统波像差标定装置及该装置测试误差的标定方法-CN201110157897.5无效
发明人：金春水;王丽萍;张宇 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2011-06-13 - 公布日： 2011-11-30 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：光学系统波像差标定装置及该装置测试误差的标定方法，涉及光学测量技术领域，它解决现有光学系统在检测光学元件之前无法评价其测试误差是否满足检测精度要求以及选择合适的移相算法对采集的数据进行处理的问题，本发明所述的分光系统出射两束共光路的正交线偏振光经偏振分光棱镜出射后经过耦合透镜耦合到参考光纤中，所述参考光纤衍射的两个球面波发生干涉，获得干涉图；采用光电探测器进行采集后传送至计算机，采用压电陶瓷进行移相，所述光电探测器采集多次干涉图；采用十三步移相算法进行数据处理分析，获得测试误差，本发明实现对光学系统波像差的超高精度检测
光学系统波像差标定装置测试误差方法