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[发明专利]基于液晶空间光调制器非球面镜计算全息干涉检测方法-CN201410384351.7有效
发明人：张洪鑫;周昊;燕宇;乔玉晶;司俊山;马薇 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2014-08-06 - 公布日： 2017-01-18 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：基于液晶空间光调制器非球面镜计算全息干涉检测方法，涉及光学测量领域。本发明利用数字相移干涉仪提供光源、成像系统和干涉图分析软件，引入液晶空间光调制器作为计算全息的载体，通过计算全息干涉法，实现非球面反射镜的在线检测。测试光路中引入零位补偿透镜补偿非球面镜的球差，而残余波像差则通过ZEMAX光线追迹得到，通过波像差的Zernike系数和Zernike表达式，获得其数学模型，通过计算全息编码，将其制作成计算全息图加载到液晶空间光调制器上该方法利用数字相移干涉仪强大的干涉图分析功能和液晶空间光调制器实时显示计算全息图的功能，能够实时地进行非球面镜的在线检测。
基于液晶空间调制器球面镜计算全息干涉检测方法

[发明专利]应用于波像差检测的照明系统镜头-CN202111561349.9有效
发明人：代雷;景岩;康玉思;向阳 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2021-12-17 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种应用于波像差检测的照明系统镜头，包括从物侧至像侧依次同轴设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜；其中，第一透镜、第三透镜和第四透镜分别为正光焦度并弯向物侧的弯月透镜，第二透镜为双凸透镜
应用于波像差检测照明系统镜头

[发明专利]光刻机投影物镜偶像差原位检测系统及检测方法-CN200810033104.7无效
发明人：袁琼雁;王向朝;邱自成 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2008-01-25 - 公布日： 2008-07-16 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光刻机投影物镜偶像差原位检测系统及检测方法，所述系统包括光源、照明系统、测试掩模、掩模台、投影物镜、工件台、安装在所述工件台上的像传感装置、数据采集卡以及计算机。所述测试掩模包含一种用于偶像差原位检测的测试标记，由0°、45°、90°、135°四个方向的移相光栅标记组成，光栅的线空比经过优化，达到最大的像差灵敏度。所述的检测方法，是在不同的数值孔径和部分相干因子设置下，通过像传感装置测量所述测试标记的最佳焦面偏移量，然后标定所述投影物镜的偶像差灵敏度系数，再利用偶像差灵敏度系数计算得到所述投影物镜的偶像差。本发明的优点是提高了偶像差的检测精度。
光刻投影物镜偶像原位检测系统方法

[发明专利]对焦检测机构、跟踪检测机构以及光盘装置-CN200510067342.6有效
发明人：丸山彻;渡边克也 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2005-04-20 - 公布日： 2005-11-02 - 主分类号： G11B7/09 文献下载
摘要：光盘装置具备：预先修正在光束上产生的球面像差的球面像差控制部(21)；检测出对焦误差信号的对焦误差检测部(10)；由球面像差控制部(21)使球面像差量与规定量一致后，按照对焦误差检测部(10)的信号振幅变为规定值的方式进行调整的控制器因此，即使在产生球面像差、慧形像差的情况下，也可进行确保始终稳定的对焦、跟踪性能的自动振幅控制。
对焦检测机构跟踪以及光盘装置

[发明专利]全息光栅制作光路的莫尔条纹调节方法-CN200610039966.1有效
发明人：吴建宏;李朝明;张伟;刘全;陈新荣;胡祖元 -专利权人：苏州大学
申请日： 2006-04-24 - 公布日： 2006-10-11 - 主分类号： G03H1/04 文献下载
摘要：一种全息光栅制作光路的莫尔条纹调节方法，利用球面平凸透镜作为准直器、用莫尔条纹调节方法检测平面全息光栅的制作光路。传统光路调节方法中轴向和离轴方向的调节误差均可以被有效消除。由此制取的脉冲压缩光栅波像差被降至最低。而且对其他常规光栅的制作也同样具有重要的实用价值。
全息光栅制作莫尔条纹调节方法

[发明专利]一种光学自由曲面全频段像差检测系统及检测方法-CN201911155752.4有效
发明人：马鑫雪;王建立;刘欣悦;王斌 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2019-11-22 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种光学自由曲面全频段像差检测系统及检测方法，涉及光学自由曲面检测领域，解决现有光学自由曲面检测中动态范围与检测精度不可兼得的矛盾和光学自由曲面的检测难点。包括中高频段像差检测系统和低频像差检测系统；所述中高频段像差检测系统包括待测镜、发光屏和CCD相机；CCD相机包括焦平面、相机透镜和针孔；低频像差检测系统包括成像透镜、分光棱镜、可调节光阑、光纤激光器、会聚透镜、成像相机和电动平移台；本发明采用了基于计算机辅助反向哈特曼测量方法和相位恢复方法，具有测量精度高，测量斜率的动态范围大，而且空间分辨率高，可以测量干涉仪和哈特曼检测无法测量的大数值斜率问题。
一种光学自由曲面频段检测系统方法

[发明专利]一种同轴两反系统分步计算的装调方法及装置-CN202211293076.9在审
发明人：吴伟;尚建忠;潘瑶;罗自荣 -专利权人：中国人民解放军国防科技大学
申请日： 2022-10-21 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种同轴两反系统分步计算的装调方法及装置，包括：检测待装同轴两反系统轴上视场的波像差分布，拟合得到三阶彗差系数；判断三阶彗差系数是否均小于第一设定阈值；若否，则计算次镜的偏心调整量并对系统进行补偿调整；若是，则根据波像差分布，拟合得到三阶像散系数；以待装系统的当前状态为起点，引入已知的定量失调量，并再次拟合得到新的三阶像散系数；根据引入定量失调前后三阶像散系数的变化量，计算次镜的倾斜调整量，并判断其是否均小于第二设定阈值
一种同轴系统分步计算方法装置

[发明专利]一种光刻机投影物镜波像差在线检测装置及方法-CN201010175495.3有效
发明人：李艳秋;汪海;刘克 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2010-05-13 - 公布日： 2010-09-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种光刻机投影物镜波像差在线检测装置及方法。本发明可实现剪切比的连续可调，提高了测量的灵敏度及测量精度；其次，利用方孔扩展光源提高了曝光光源光强的利用率，提高了测量速度和测量精度；最后，利用系统误差自校准技术，可快速、高精度的获得投影物镜的波像差
一种光刻投影物镜波像差在线检测装置方法

[发明专利]小陡度凹凸面光学自由曲面面形检测系统及检测方法-CN202210016846.9有效
发明人：马鑫雪;王建立;王斌;陈玉强;刘欣悦 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-01-07 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：小陡度凹凸面光学自由曲面面形检测系统及检测方法，涉及自由曲面光学检测技术领域，本发明为解决小陡度凹凸面光学自由曲面的全频段像差检测中动态范围与检测精度不可兼得这一矛盾，进而解决小陡度凹凸面光学自由曲面高精度检测问题基于相位恢复算法和子孔径拼接算法的横向平移差异相位恢复和计算机辅助逆哈特曼法协同测量小陡度凹凸面光学自由曲面全频段像差检测方法。本发明将高频段像差测量比较准确的计算机辅助反向哈特曼检测法和中低频段像差测量比较准确的横向平移差异相位恢复法相结合，通过Zernike多项式拟合的方式进行小陡度凹凸面光学自由曲面全频段像差检测，从而弥补现在小陡度凹凸面光学自由曲面全频段像差检测方法的不足
陡度凸面光学自由曲面检测系统方法

[发明专利]一种大口径偏振移相菲索干涉仪偏振像差的相位补偿方法-CN202011199748.0有效
发明人：沈常宇;王志浩;黄振林;陈宏晨;王凯晴 -专利权人：中国计量大学
申请日： 2020-10-30 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种大口径偏振移相菲索干涉仪偏振像差的相位补偿方法，该方法使用的模块包括：相干光源模块、菲索干涉模块、偏振移相模块。具体步骤为：相干光源模块产生一对正交线偏振光，进入菲索干涉模块；两束光经过1/4波片，形成一对正交圆偏振光，在参考镜与测试镜的表面反射后，通过偏振像差建模的波片模型，其组合光为椭圆偏振光，进入偏振移相模块；组合光经过成像透镜与微偏振阵列在CCD相机的靶面成像，得到一组关于干涉光强的偏振移相干涉图，根据偏振像差产生的相位延迟与干涉光强之间的关系式，借助偏振移相干涉图求解该相位延迟，实现对大口径偏振移相菲索干涉仪偏振像差的相位补偿
一种口径偏振移相菲索干涉仪相位补偿方法

[发明专利]光盘装置-CN200710161607.8有效
发明人：清水真弥;紫原哲也;永座强 -专利权人：船井电机株式会社
申请日： 2007-09-27 - 公布日： 2008-04-02 - 主分类号： G11B7/09 文献下载
摘要：一种光盘装置，具有：对在使用物镜而使激光聚光至光盘记录面上时所产生的像差进行修正的像差修正部；基于来自光盘的反射光而生成并输出伺服信号的伺服信号生成部；该光盘装置还具有双折射检测部，该双折射检测部基于所输入的伺服信号检测出记录面中的双折射程度，生成并输出与双折射程度相应的用于像差修正的修正信号，像差修正部基于所输入的修正信号来驱动预定的像差修正元件，从而执行像差修正；伺服信号生成部在使用与来自光盘的反射光相应的电信号和预定参数而生成伺服信号之际，根据像差修正的程度来决定参数值。
光盘装置

[发明专利]中口径双光栅式波像差测量激光光学系统-CN201911257314.9有效
发明人：贾静;陈好;王询;何易德;张浩 -专利权人：西南技术物理研究所
申请日： 2019-12-10 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： G01J9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种中口径双光栅式波像差测量激光光学系统，包括两个双胶合透镜、一个衍射光栅对和一个选级滤波器。在光束聚焦前一定距离处经两个栅线方向相互垂直的衍射光栅对发生多级衍射，再通过聚焦处的选级滤波器选取衍射的±1级，滤除衍射零级和无用衍射级，最后经由另一个双胶合透镜准直出射，出射光束相互干涉即可进行入射光束波像差参数的测量本发明不仅可实现对633nm波长口径不大于75mm的激光束进行8.5倍的缩束变换，而且可将激光束采用双光栅实现波前分束，进而得到四个与原激光束波前分布相同并相互错位的激光束，它们相互干涉即可进行入射激光束波像差的测量
口径光栅式波像差测量激光光学系统

[发明专利]光纤点衍射移相干涉仪的平面面形测量方法-CN201010194545.2无效
发明人：陈凌峰;李杰;周桃庚;张旭升;何川;任雅青 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2010-06-08 - 公布日： 2010-10-20 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：首先从测量光纤衍射的球面波经被测平面镜反射，经辅助正透镜汇聚到参考光纤的倾斜端面并再次反射，与参考光纤衍射的球面波汇合而发生干涉，干涉图用标准方法分析和处理；该步测量得到被测平面镜和辅助正透镜引入的像差然后，移除被测平面镜，移动测量光纤端面到关于被测平面镜的共轭位置，从测量光纤和参考光纤衍射的球面波汇合而再次发生干涉；该步测量得到辅助正透镜引入的像差；将第一、二步测量结果相减即得到被测平面镜引入的像差
光纤衍射相干平面测量方法

[发明专利]波像差测量装置与方法-CN201510731101.0有效
发明人：马明英;葛亮 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2015-10-30 - 公布日： 2019-03-12 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种波像差测量装置与方法，包括：光源、照明系统、物面模块和像面探测单元，其中，所述物面模块包括物面光栅和物面级次选择板，所述像面探测单元包括像面光栅、像面级次选择板和探测器，所述物面光栅和像面光栅均采用二元相移光栅
光栅物面像面选择板波像差测量装置二元相移探测单元衍射光测量针孔工艺难度照明系统零级光透过率探测器光强滤除光源采集

[发明专利]一种检测大口径望远镜系统波像差的装置及方法-CN202011003388.2在审
发明人：武春风;戴勋义;王晓丹;朱彦;王勋;李坤 -专利权人：航天科工微电子系统研究院有限公司
申请日： 2020-09-22 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种检测大口径望远镜系统波像差的装置及方法，包括平行光管、导轨位移台、导轨、负载电机、望远镜系统次镜和望远镜透镜组；平行光管位于导轨位移台上，在导轨带动下作径向运动，导轨与负载电机连接，其位移路径过负载电机的轴心并由负载电机驱动进行周向旋转，负载电机旋转轴与待检望远镜系统光轴重合，由平行光管射出的平行光，沿待检望远镜系统光轴入射依次经过望远镜系统主镜、望远镜系统次镜和望远镜透镜组，经聚焦后到达望远镜像面探测器形成携带像差的光斑，望远镜像面探测器记录光斑完成一个子孔径检测等；本发明大大降低了检测难度，同时避免了对光学系统成像的影响，结构简单，检测成本低等。
一种检测口径望远镜系统波像差装置方法