“波像差检测”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果2915571个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种激光跟踪仪测量双曲面镜参数的装置及方法-CN201310492267.2有效
发明人：范斌;闫锋涛;吴永前;侯溪;陈强;万勇建;伍凡 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2013-10-18 - 公布日： 2014-01-08 - 主分类号： G01B11/255 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光跟踪仪测量双曲面镜参数的装置及方法，包括激光跟踪仪，干涉仪，被测双曲面镜及辅助球面镜，激光跟踪仪配合随机配送靶球测量空间点位置坐标，干涉仪发出的波面经双曲面镜反射后，成为标准的球面波，标准的球面波经过辅助球面镜反射后，光波原路返回，对双曲面镜进行无像差点检测，在干涉仪以对双曲面镜进行无像差点检测的同时，利用激光跟踪仪配合靶球测量出干涉仪焦点空间位置坐标、辅助镜球心位置坐标，双曲面镜顶点坐标，最后通过这些空间位置坐标关系求得双曲面镜参数；本发明对双曲面镜的参数控制及研制提供了一种有效的检测手段，具有较大的应用价值。
一种激光跟踪测量双曲面参数装置方法

[发明专利]光学参数检测系统及方法-CN202110257005.2在审
发明人：苗亮;陈新东;张鑫;马庆坤 -专利权人：长春长光华大智造测序设备有限公司
申请日： 2021-03-09 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本申请提供一种光学参数检测系统，用于检测待测物镜的光学参数，包括：波前传感器，波前传感器收发测试光；光引导组件，光引导组件包括转台和设置于转台上的转折镜；转台旋转带动转折镜旋转以将测试光以不同角度反射至待测物镜，并将待测物镜处的测试光以不同角度反射至波前传感器；以及球面反射镜，待测物镜的检测位置位于光引导组件与球面反射镜之间，球面反射镜位于待测物镜的像侧且可沿待测物镜的光轴移动，用于将待测物镜出射的测试光反射至待测物镜；波前传感器基于转台的旋转角度检测待测物镜在不同视场下的波像差并根据波像差及球面反射镜的位移获得待测物镜的光学参数。本申请还提供一种光学参数检测方法。
光学参数检测系统方法

[发明专利]投影物镜像差检测装置及检测方法-CN201811288720.7有效
发明人：孙慧慧;李天鹏 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2018-10-31 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种投影物镜像差检测装置及检测方法，包括测定模块和计算模块；测定模块包括沿光线传播路径依次设置的光源、照明系统、物方掩模版、待测投影物镜和像方掩模版以及波前传感器；物方掩模版包括多个第一通光孔和多个第一衍射孔；像方掩模版包括多个第二通光孔和多个第二衍射孔；波前传感器用于检测标定状态下的波前信息和检测状态下的波前信息；计算模块与波前传感器连接，用于基于标定状态下的波前信息以及检测状态下的波前信息，得到待测投影物镜的波像差，以实现提供一种对光源相干性要求低、结构简单、标定时效性较佳、环境变化对测量结果影响较小的投影物镜像差检测装置。
投影物镜检测装置方法

[发明专利]一种光刻投影物镜系统波像差测量装置与方法-CN201410185411.2有效
发明人：卢增雄;齐月静;苏佳妮;丁功明;周翊;王宇 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2014-05-04 - 公布日： 2017-01-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光刻投影物镜系统波像差测量装置与方法。、准直物镜及夏克‑哈特曼波前传感器组成；其中，从准分子激光器输出的狭长的矩形光斑经直角棱镜组扩束后得到方形光斑，方形光斑经过匀光聚焦物镜系统和光纤耦合物镜后被耦合入多模光纤中；由多模光纤出射的发散球面波经成像物镜后成像到照明掩模板上产生多个非相干球面波，这些非相干球面波经过投影物镜系统后携带其波像差信息，再经过准直物镜后成为平面波，平面波被夏克‑哈特曼波前传感器的微透镜阵列分成多个子光束，这些子光束聚焦到夏克‑哈特曼波前传感器的探测器上，测得投影物镜系统的波像差信息
一种光刻投影物镜系统波像差测量装置方法

[发明专利]低温真空环境下光学窗口的热光学特性表征与优化方法-CN201810946493.6有效
发明人：高志山;倪瑞沪;袁群;姚艳霞;王若言;陈铭 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2018-08-20 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：使用偏置无焦透镜组对大口径平行光管系统的轴外视场波像差进行优化，加入温度变化引起的面形变化后，采用变焦设计补偿温度引起的系统波像差及焦距变化，将波像差优化至衍射极限以下，符合使用要求。本发明具有光学窗口热光学特性表征全面、利用小口径元件优化大口径元件像差、适应多种温度变化、结构简单等优点。
低温真空环境光学窗口特性表征优化方法

[发明专利]一种基于可变透镜波像差调制的光学加密系统-CN202110067428.8在审
发明人：常军;许祥馨;武楚晗;张晓芳 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2021-01-19 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于可变透镜波像差调制的光学加密系统，能够利用透镜的像差调制原理，解决光学加密系统实用性较差、与传统光学设计结合不够紧密的问题。能够将像差作为加密系统中的额外密钥，扩大了系统的密钥空间，提高了系统的安全性。
一种基于可变透镜波像差调制光学加密系统

[发明专利]一种判断旋转轴对称非球面能否采用直接干涉检测的方法-CN201410324768.4有效
发明人：潘宝珠;汤靖;董小燕;沐仁旺;方靖淮;崔荣华;赵永林 -专利权人：南通大学
申请日： 2014-07-09 - 公布日： 2017-04-05 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种判断旋转轴对称非球面能否采用直接干涉检测的方法，判断依据为利用数字波面干涉仪直接干涉检测旋转轴对称非球面时，采集的干涉图样能否被数字波面干涉仪的探测器完全分辨，即干涉图样上干涉条纹最密处的一个干涉条纹对应的波像差是否不超过探测器的Nyquist频率对应的波像差，是，则旋转轴对称非球面对于数字波面干涉仪能采用直接干涉检测的方法。本发明克服了经验判断某一旋转轴对称非球面对于某种数字波面干涉仪是否能够采用直接干涉检测的不准确性，本发明提供的可直观、准确地用于判断旋转轴对称非球面能否采用直接干涉检测的方法，理论可靠，判断准确，适用范围广，节省旋转轴对称非球面检测方案的制定时间，提高工作效率。
一种判断旋转轴对称球面能否采用直接干涉检测方法

[发明专利]色像差减轻系统和方法-CN202080088353.5在审
发明人：任岩 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-12-16 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： H01J37/153 文献下载
摘要：一种减少像差的方法，包括：基于射束(811)的带电粒子的能量(810)分离(830)带电粒子以形成束波(812至814)，这些束波中的每个束波被配置为包括处于中心能级的带电粒子；以及使(950)束波偏转，使得具有不同中心能级的束波被不同地偏转。像差校正器包括分散元件(830)(可选地，820)，被配置为基于能量(810)来使得射束(811)(例如，带电粒子射束)的组成部分分散开；孔径阵列(840)，被配置为从经分散射束形成束波(812至814)；以及偏转器阵列(950)，被配置为基于形成束波的粒子的中心能级来使束波不同地偏转。
色像差减轻系统方法

[发明专利]光刻机投影物镜波像差在线检测装置及方法-CN201110199582.7有效
发明人：李艳秋;汪海;刘克 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2011-07-16 - 公布日： 2011-12-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提出一种光刻机投影物镜波像差在线检测装置及方法，所述在线检测装置包括物方掩模板和像方掩模板；物方掩模板位于光刻机的物方工件台上，且设有二维周期布局的方形针孔阵列A和二维周期布局的方孔A；像方掩模板位于光刻机的像方工件台上本发明利用设有二维周期布局的针孔阵列以及二维周期布局的方孔阵列的掩膜板，一方面消除了照明系统对光刻投影物镜波像差检测的影响，另一方面极大提高了曝光光源光强的利用率，弥补了采用点光源时投影物镜曝光时间长及干涉条纹对比度低的不足，从而可以极大提高检测速度和检测精度。
光刻投影物镜波像差在线检测装置方法

[发明专利]光学头装置-CN200510075869.3无效
发明人：窪田浩;酒井博;坂本学 -专利权人：株式会社三协精机制作所
申请日： 2005-05-27 - 公布日： 2006-01-18 - 主分类号： G11B7/09 文献下载
摘要：本发明提供一种光学头装置，所述光学头装置在光路规定用光学系统和物镜之间配置了像差修正元件的情况下，调整物镜倾角时，像差修正元件和光路规定用光学系统的相对位置也不会错位。光学头装置1中，在光路规定用光学系统8的向上反射镜19和物镜4之间，在装置框架6的上表面一侧的洼部30中安装了像差修正元件25，在物镜驱动装置5的下表面一侧的波片插入孔32中安装了1/4波片20。因此，可以一起修正包括向上反射镜19的整个光路规定用光学系统8的像差，同时，通过调整物镜驱动装置5的倾斜而调整物镜4的倾角时，像差修正元件也不会随之倾斜。
光学装置

[发明专利]光学系统最佳焦面位置的确定方法-CN202211212884.8在审
发明人：王灵杰;于亚琼;张新;张纪鹏;赵尚男 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明提供一种光学系统最佳焦面位置的确定方法，包括以下步骤：S1、构建当光学系统像面引入倾斜量和离焦量时的波像差模型；S2、根据光学系统焦深δ设定光学系统像面离焦量的截断误差δ0；S3、计算光学系统波像差方差并建立光学系统波像差均方根值的数学模型；S4、构建光学系统关于波像差方差像差特性，进而提升成像系统像质。
光学系统最佳位置确定方法

[发明专利]一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置及方法-CN200810041262.7有效
发明人：李术新;王帆 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2008-07-31 - 公布日： 2009-01-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明的光刻机投影物镜波像差在线测量装置及方法，通过获得特殊标记空间像的能量分布，利用数学模型拟合计算投影物镜波像差。
一种光刻投影物镜波像差在线测量装置方法

[发明专利]一种毫米波高分辨率成像介质透镜天线设计方法-CN201510580282.1有效
发明人：陈其科;周景石;孙震;朱贵德;李道通;张永鸿;林先其;樊勇 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2015-09-12 - 公布日： 2018-03-16 - 主分类号： H01Q19/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种毫米波高分辨率成像介质透镜天线的设计方法，该方法是光学透镜设计技术和毫米波天线设计理论相结合的一种设计方法，涉及毫米波天线技术领域。本发明专利引用光学透镜曲面，通过光学设计方法优化系统的波像差和几何像差，使得馈源天线单元在物平面上的‑3dB光斑直径最小，各个馈源天线单元的增益差值小于1dB。本发明具有设计方法简单易行的特点，且对毫米波透镜天线的分辨率提出了创新性定义。本发明可应用于毫米波成像系统。
一种毫米波高分辨率成像介质透镜天线设计方法

[实用新型]一种基于斩波反射镜与振镜激光毛化光学系统-CN201721140587.1有效
发明人：邵华江;李思佳;李思泉 -专利权人：上海嘉强自动化技术有限公司
申请日： 2017-09-07 - 公布日： 2018-03-27 - 主分类号： B23K26/352 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于斩波反射镜与振镜激光毛化光学系统，包括消像差准直镜组、斩波反射镜、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第一振镜、第二振镜、第一f‑θ镜、第二f‑θ镜；其中，消像差准直镜组可替换为消像差非球面镜本实用新型提供的斩波反射镜与振镜激光毛化光学系统，通过斩波反射镜间歇性镜面调谐功能，基于一维振镜扫描功能，具有加工效率高，适用范围广等优点，适用于脉冲光纤激光器激光毛化，尤其适用于高功率脉冲光纤激光器在平面平动与转动系统中有序激光毛化
一种基于反射激光光学系统

[发明专利]一种高精度的空间光调制器衍射波前调制方法和装置-CN202110461799.4在审
发明人：薛帅;戴一帆;陈善勇;刘俊峰;翟德德 -专利权人：中国人民解放军国防科技大学
申请日： 2021-04-27 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： G02F1/21 文献下载
摘要：一种高精度的空间光调制器衍射波前调制方法和装置，模拟生成参考波前以及带设计像差和空间光调制器固有像差共轭像差的模拟物波，通过模拟方法使模拟生成的参考波前和模拟物波发生干涉，并产生干涉图；对干涉图进行灰度量化和像素离散化，得到灰度量化和像素离散化后的干涉图；将灰度量化和像素离散化后的干涉图加载到通电工作的空间光调制器上，利用参考波前作为照射空间光调制器的入射波，当空间光调制器被参考波前照射时，空间光调制器对参考波前产生调制，实现对空间光调制器自身固有误差的补偿并实现设计像差的高精度调制。
一种高精度空间调制器衍射调制方法装置

首页
«上一页
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
下一页»
尾页
共 100000 条