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- [发明专利]单轴加速度传感器-CN201010227596.0无效
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服部敦夫;松冈润弥
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雅马哈株式会社
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2010-07-12
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2011-01-19
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G01P15/08
- 一种单轴加速度传感器,包括:具有恒定厚度的半导体基板;穿过基板的平行的第二穿通沟道,该第二穿通沟道之间限定出柔性梁,第二穿通沟道具有比厚度小得多的宽度;四个压电电阻器,形成在柔性梁的四个脚部区域处;穿过基板的第一穿通沟道,与第二穿通沟道的端部连续,以限定出与柔性梁的一端连续的配重件,该配重件包括将柔性梁夹在其间的一对对称的第一部分和联接到第二部分和柔性梁的一端的第二部分,且配重件具有的中心在柔性梁纵向中心线上的一中间位置处;一层配线,形成在柔性梁上方,将在同一边缘处的压电电阻器连接,并将相互连接点沿柔性梁的纵向方向引导。
- 加速度传感器
- [发明专利]一种二指柔性微动夹持器-CN201110221147.X有效
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贾晓辉;刘今越
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河北工业大学
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2011-08-03
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2012-01-25
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B25J7/00
- 本发明公开一种二指柔性微动夹持器,其特征在于该夹持器主要包括四个结构一样的柔性支链、底座、“H”字形连接梁、“【”形和“】”形连接梁、压电陶瓷驱动器、“J”形夹持手指、位移传感器及球形接头;所述柔性支链左右对称安装在底座上,其中两个柔性支链水平安装,并与“H”字形连接梁的左右两个“1”字梁的外侧壁水平连接;另外两个柔性支链垂直安装,并由“【”形和“】”形连接梁分别与“H”字形连接梁的两个“1”字梁的上端面竖直连接;压电陶瓷驱动器的顶端安装有球形接头,尾部固定于底座凸台上,球形接头顶在“H”字形连接梁的“一”字形梁的下端面中间位置上,实现赫兹接触;“J”夹持手指的弯钩顶端安装有位移传感器电极。
- 一种二指柔性微动夹持
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