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- [发明专利]惯性传感器及惯性计测装置-CN202310443987.3在审
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泷泽照夫;木暮翔太
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精工爱普生株式会社
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2023-04-23
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2023-10-27
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G01P15/08
- 本发明公开了惯性传感器及惯性计测装置，能够不使噪声特性恶化而容易地实施可动体的检查。惯性传感器包括：基体；设置于所述基体的传感器元件；以及覆盖所述传感器元件的盖体，所述传感器元件包括：固定部，固定于所述基体；可动体，能够以与所述基体水平的第一轴为摆动轴摆动；第一旋转弹簧及第二旋转弹簧，连接所述固定部和所述可动体；可动梳齿电极组，设置于所述可动体；固定梳齿电极组，与所述可动梳齿电极组相对，并设置于所述基体；第一检查用电极，设置于所述可动体；以及第二检查用电极，设置于所述基体或所述盖体，并且在俯视时与所述第一检查用电极重叠，在所述俯视时，在所述第一检查用电极设置有多个阻尼调整孔。
- 惯性传感器装置
- [发明专利]MEMS传感器和MEMS传感器的制造方法-CN202280017320.0在审
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M·W·黑勒
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罗姆股份有限公司
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2022-01-27
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2023-10-20
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G01P15/08
- 本发明提供一种MEMS传感器，其包括：半导体芯片，其具有第一主面及其相反侧的第二主面，所述半导体芯片在内部形成有空腔；框架部，其形成在所述半导体芯片的所述第二主面侧，划分所述空腔的底部和侧部；和可动部，其形成在所述半导体芯片的所述第一主面侧，相对于所述空腔以悬浮状态被所述框架部支承，所述框架部具有形成在所述空腔的底部与所述第一主面之间的高度位置的台阶面，所述可动部包括：在作为所述半导体芯片的厚度方向的第一方向上与所述空腔相对的主体部；和在与所述第一方向正交的第二方向上从所述主体部延伸到所述台阶面的上方区域，且在所述第一方向上与所述台阶面相对的延伸部。
- mems传感器制造方法
- [发明专利]一种加速度传感器-CN202111242245.1有效
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颜红彦;吕忠全;勾建伟
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南京林业大学
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2021-10-25
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2023-09-05
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G01P15/08
- 本发明提出一种加速度传感器，包括：基板；质量块，悬空设置在所述基板的上方区域；四个锚区围绕所述质量块设置在所述基板上；四个连接杆分别对应连接四个锚区与所述质量块；四个电容分别对应设置在四个连接杆的端部区域；四个弹簧梁分别连接于四个连接杆与四个锚区之间；四个电感分别对应临近四个锚区设置，且分别与四个电容组成LC谐振回路。通过设计四个电容的上下极板的重叠面积可以控制该加速度传感器的灵敏度以及量程，这使得器件设计十分灵活。同时，该加速度传感器还具有结构简单、体积小、工艺兼容等优势。
- 一种加速度传感器
- [发明专利]物理量传感器以及惯性测量装置-CN202310132913.8在审
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小沟公一郎
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精工爱普生株式会社
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2023-02-17
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2023-08-22
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G01P15/08
- 本申请提供物理量传感器以及惯性测量装置，减少随着由弹性导致的不必要振动而产生的不良情况。物理量传感器(1)包括固定于基板(2)的固定部(40)、支承梁(42、43)、固定电极部(10)、可动体(MB)及阻尼部(D)。固定电极部(10)设置于基板(2)。支承梁(42、43)的一端与固定部(40)连接。可动体(MB)具有可动电极部(20)和框架部(30)。可动电极部(20)具有与固定电极部(10)的固定电极(11、12)对置的可动电极(21、22)。框架部(30)连结可动电极部(20)和支承梁(42、43)的另一端。阻尼部(D)与框架部(30)连接，设置于被支承梁(42、43)和框架部(30)包围的区域，使第一方向(DR1)的框架部(30)的振动减弱。
- 物理量传感器以及惯性测量装置
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