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[发明专利]一种制备晶体硅太阳能电池选择性发射极的方法-CN200910264855.4无效
发明人：刘莹;郑振生;张宏勇 -专利权人：江苏华创光电科技有限公司
申请日： 2009-12-24 - 公布日： 2010-09-01 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：然后将基片置于真空室内，对真空室抽本底真空，同时对基片加热，将本底真空抽到一定真空度，同时基片达到加热温度时，用相对较弱激光照射基片活化区，在活化区形成结深在十几纳米的超浅结。或者采用另一种方案，将基片置于真空室内，对真空室抽本底真空，同时对基片加热，将本底真空抽到一定真空度，同时基片达到加热温度时，用相对较弱激光照射基片活化区或整个表面，在活化区或者整个表面形成结深在十几纳米的超浅结
一种制备晶体太阳能电池选择性发射极方法

[发明专利]在单个真空腔体上实现多个超高真空工位结构及测试方法-CN201710557498.5有效
发明人：胡大为;扈延林;毛威;吴朋安;山世华 -专利权人：北京控制工程研究所
申请日： 2017-07-10 - 公布日： 2020-03-24 - 主分类号： H05K13/08 文献下载
摘要：本发明公开了在单个真空腔体上实现多个超高真空工位结构及测试方法，利用传统的结构进行产品测试的抽真空过程中，很难使副舱达到超高真空本底状态，即使达到，也需要数小时，真空度较差，容易对产品造成损伤。利用本发明结构，能够在1小时以内快速使副舱达到超高真空本底状态；本发明分子泵对副舱的实际抽速实现了最大化，在所有副舱共用一台分子泵的前提下，付出较少的代价就使得每一个副舱都能够轻松达到超高真空本底状态，
单个空腔实现超高真空结构测试方法

[发明专利]一种极小真空漏率测量装置及方法-CN201510410380.0在审
发明人：盛学民;李得天;成永军;孙雯君;郭美如;王永军;张瑞芳 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2015-07-13 - 公布日： 2015-11-25 - 主分类号： G01M3/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种极小真空漏率测量装置及方法，该方法先维持校准室压力至本底压力，测量并计算出校准室的本底离子流的上升率R₀；将被校真空标准漏孔流量引入校准室，进行静态累积，测量并计算出获得含被校真空标准漏孔和本底的离子流的上升率R_L；向校准室通入已知流量Q_S的标准流量，进行静态累积，测量并计算含标准流量和本底的离子流的上升率R_S；最后利用Q_L/Q_s＝(R_L-R₀)/(R_S-R₀)来计算被校真空标准漏孔的漏率Q_{L真空漏率的测量与校准，从而延伸了极小真空漏率测量与校准下限，为实现对小于1×10^-9Pa·m³/s极小真空漏率的精确测量与校准提供了基础}
一种极小真空测量装置方法

[发明专利]一种基于外差干涉的扭秤本底噪声测量装置和方法-CN202310708551.2在审
发明人：王少鑫;齐克奇;刘河山;罗子人 -专利权人：中国科学院力学研究所
申请日： 2023-06-15 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种基于外差干涉的扭秤本底噪声测量装置和方法，测量装置包括：真空系统，形成有具有真空环境的试验腔体；扭秤，位于所述试验腔体中；外差激光干涉仪系统，至少部分位于所述试验腔体中，用于提供出射激光至所述扭秤，并返回形成干涉信号；数据采集处理系统，位于所述试验腔体外部，对所述干涉信号进行采集，并根据采集的所述干涉信号得到扭秤本底噪声。本发明基于真空下的高集成度设置方式，将外差干涉技术应用到扭秤测量中，从而提高了对扭秤本底噪声的测量精度。
一种基于外差干涉扭秤本底噪声测量装置方法

[发明专利]用真空电渣炉生产低放射性本底金属材料的方法及其应用-CN202210875834.1在审
发明人：张涛;刘江来 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2022-07-25 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： C22B9/18 文献下载
摘要：本发明提供一种用真空电渣炉生产低放射性本底金属材料的方法及其应用，包括：选取原材料，所述原材料中关键放射性核素的放射性分别小于等于50mBq/kg，所述原材料包括：待熔炼金属原材料和电渣原材料；利用所述电渣原材料制取低放射性本底电渣；采用有机溶剂清洗真空电渣炉的内壁，所用有机溶剂需要通过放射性检测且检测结果合格，并移除残余的所述有机溶剂；于清洗后的所述真空电渣炉中，将所述待熔炼金属原材料制作为电极，放置所述低放射性本底电渣和所述电极，熔炼后获得所述金属；其中，所述低放射性本底电渣萃取所述待熔炼金属原材料中的关键放射性核素。
真空电渣炉生产放射性本底金属材料方法及其应用

[发明专利]基于静态膨胀法真空标准校准真空漏孔的装置及方法-CN201310722746.9有效
发明人：杨长青;李得天;冯焱;孙雯君;马奔;董猛;张瑞芳;李莉 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2013-12-24 - 公布日： 2014-04-30 - 主分类号： G01M3/26 文献下载
摘要：本发明提供一种基于静态膨胀法真空标准校准真空漏孔的装置及方法，包括将第一校准室抽至本底真空度，维持第一校准室静态压力稳定，获取第一校准室本底He离子流随时间的变化率再次将第一校准室抽至本底真空度，接通漏孔，获取He离子流随时间的变化率获取漏孔He离子流随时间的变化率关闭漏孔，又一次将第一校准室抽至本底真空度，获取动态本底He离子流I₀；通过前级压力进样系统获取预设压力的He气，并将预设压力的He气以静态膨胀的方法膨胀至第一校准室以获取标准气体量Δq_He,同时获取与第一校准室连接的四极质谱计的
基于静态膨胀真空标准校准漏孔装置方法

[发明专利]ITO层及ITO图案的制作方法、显示基板及显示装置-CN201410575788.9有效
发明人：王灿 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2014-10-24 - 公布日： 2015-01-28 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供了一种氧化铟锡层的制作方法，该方法通过在本底真空环境下采用磁控溅射工艺在衬底基板上沉积氧化铟锡层，所述磁控溅射工艺的工作气为氩气，在沉积非晶氧化铟锡层的过程中，向本底真空环境中通入水形成水蒸气，通入水的速度为Q2*T_ITO/10000*(1±20％)sccm；其中，Q2表示在单位为sccm时，向本底真空环境中通入的氩气的流量所对应的数值；T_ITO表示在单位为
ito 图案制作方法显示显示装置

[发明专利]一种分压漏率测量装置及方法-CN201610473484.0有效
发明人：王魁波;张罗莎;吴晓斌;罗艳;陈进新;谢婉露;王宇 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2016-06-24 - 公布日： 2018-09-18 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空密封件分压漏率测量装置及真空密封件分压漏率测量方法，用于测量真空密封件漏气组分及各组分的分压漏率。该装置包括第一真空规(1)、质谱计(2)、标准漏孔(3)、截止阀(4)、真空室(5)、插板阀(6)、角阀(7)、限流小孔(8)、抽气泵组(9)、第二真空规(10)、电磁阀(11)、抽气泵组(12)、截止阀(13)、气瓶(14)以及真空密封件(15)。该方法包括：(1)测量氦气本底离子流IO和本底气体组分分压Pi，bg；(2)测量标准漏孔氦气离子流Is；(3)测量真空密封件氦气离子流IL和漏气组分分压Pi，L；(4)计算真空密封件分压漏率Qi，L和总漏率
一种分压漏率测量装置方法

[发明专利]一种汽车音响面板氮化铬镀膜工艺-CN202111438591.7在审
发明人：贾建国 -专利权人：昆山英利悦电子有限公司
申请日： 2021-11-30 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本发明涉及汽车音响面板加工技术领域，且公开了一种汽车音响面板氮化铬镀膜工艺，将面板材料装入真空釜内进行加热,设定加热温度为140‑160℃，本底真空镀为1.3*10(‑2)Pa，对面板材料表面进行离子轰击刻蚀，将面板材料固定在多弧离子蒸镀坩埚内进行沉积Cr/CrN打底层，抽至本底真空设定气压至1.0‑3.0Pa。该汽车音响面板氮化铬镀膜工艺使用时，通过设置利用离化的Ar+对面板材料表面进行轰击刻蚀后，对本底真空设定气压1.0‑3.0Pa，调节Ar流量范围并通过反应气体N2后控制多弧圆电流使Cr/CrN膜层沉积，
一种汽车音响面板氮化镀膜工艺

[发明专利]一种原子层沉积镀膜机的真空控制系统-CN202011320038.9有效
发明人：柳存定;黎明;杨伟 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2020-11-23 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开了一种原子层沉积镀膜机的真空控制系统，涉及真空镀膜技术领域，该真空控制系统包括通过管道依次连接的A热阱、镀膜真空室、A控制组件、B热阱、B控制组件、分子泵，A热阱和分子泵均连接有前级真空泵；在所述A热阱与镀膜真空室之间设置有A阀门。本发明的真空控制系统和对应的控制方法一方面能够有效地提高原子层沉积镀膜机的本底真空度和镀膜真空度，从而减少残余物理吸附气体分子对原子层沉积薄膜性质的影响，另一方面通过B热阱、A控制组件以及前级真空泵的配合，使分子泵仅用于获得本底真空，从而提高分子泵的使用效率和使用寿命。
一种原子沉积镀膜真空控制系统

[实用新型]一种真空室门密封结构-CN201721753008.0有效
发明人：冷桢;李佳霖;李泞;谌继明;王平怀;刘世宇;李建;王焜;陈新;任元国 -专利权人：核工业西南物理研究院
申请日： 2017-12-14 - 公布日： 2018-08-10 - 主分类号： E06B7/16 文献下载
摘要：本实用新型属于真空技术领域，具体为一种真空室门密封结构，包括真空室体和密封设于真空室体出入口位置的真空室门，所述的真空室门的安装位置设有内层密封槽和外层密封槽，槽内分别放置内层密封圈和外层密封圈，所述的真空室门上、内层密封槽和外层密封槽之间设有夹层真空腔。针对高温环境下大型真空腔室，实现真空室腔体在高温环境下高极限真空和低本底漏率的技术要求。双层橡胶密封结构，一方面在夹层中通入循环水对橡胶进行冷却，另一方面在夹层结构的中间使用真空泵抽真空，通过中间的真空层隔绝空气的渗透。从而从降温减小橡胶的渗透率、放气率和真空隔绝减小橡胶对真空室的影响这两个途径提高真空室的极限真空度、降低本底漏率。
真空室门真空室橡胶高温环境密封结构内层密封外层密封真空室体减小漏率密封圈大型真空腔室双层橡胶密封真空泵抽真空真空技术领域本实用新型出入口位置极限真空度外层密封圈隔绝空气极限真空技术要求夹层结构夹层真空真空隔绝真空室腔放气率渗透率循环水真空层夹层内层密封冷却

[发明专利]一种适用于空间X射线载荷整星的热真空试验方法-CN201910074537.5在审
发明人：张龙;张也弛;刘欣;李昂;洪斌;卢方军;徐玉朋;赵二鑫;张雪 -专利权人：北京空间飞行器总体设计部
申请日： 2019-01-25 - 公布日： 2019-04-09 - 主分类号： G01V13/00 文献下载
摘要：一种适用于空间X射线载荷整星的热真空试验方法，首先利用X射线光管二次打靶，在真空试验罐中产生X射线，然后确定X射线光管二次打靶引起本底，并控制试验过程中污染物，最后完成对载荷的性能测试及处理。本发明与现有技术相比，可实现替代多种放射源，可根据需求产生不同能段谱线，并可根据试验需要进行通断控制，既保证了整星状态下X射线载荷的性能测试以及激发X射线本底控制，同时控制了真空热试验过程中的污染，又实现了整星热真空试验过程中的安全可控
热真空试验性能测试光管真空热试验放射源控制试验通断控制需求产生真空试验可控谱线污染物激发替代试验污染保证安全

[发明专利]一种真空室门密封结构及真空腔室-CN201711338418.3在审
发明人：冷桢;李佳霖;李泞;谌继明;王平怀;刘世宇;李建;王焜;陈新;任元国 -专利权人：核工业西南物理研究院
申请日： 2017-12-14 - 公布日： 2019-07-02 - 主分类号： E06B7/16 文献下载
摘要：本发明属于真空技术领域，具体为一种真空室门密封结构及真空腔室，包括真空室体和密封设于真空室体出入口位置的真空室门，所述的真空室门的安装位置设有内层密封槽和外层密封槽，槽内分别放置内层密封圈和外层密封圈，所述的真空室门上、内层密封槽和外层密封槽之间设有夹层真空腔。针对高温环境下大型真空腔室，实现真空室腔体在高温环境下高极限真空和低本底漏率的技术要求。双层橡胶密封结构，一方面在夹层中通入循环水对橡胶进行冷却，另一方面在夹层结构的中间使用真空泵抽真空，通过中间的真空层隔绝空气的渗透。从而从降温减小橡胶的渗透率、放气率和真空隔绝减小橡胶对真空室的影响这两个途径提高真空室的极限真空度、降低本底漏率。
真空室门真空室橡胶高温环境密封结构内层密封外层密封真空腔室真空室体减小漏率密封圈大型真空腔室双层橡胶密封真空泵抽真空真空技术领域出入口位置极限真空度外层密封圈隔绝空气极限真空技术要求夹层结构夹层真空真空隔绝真空室腔放气率渗透率循环水真空层夹层内层密封冷却

[发明专利]一种材料放气率测试系统及其测试方法-CN202011169846.X在审
发明人：卢耀文;杨传森;闫睿;余荣;王汐月;董云宁;徐宇杰;方昭阳 -专利权人：北京东方计量测试研究所
申请日： 2020-10-28 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： G01N7/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种材料放气率测试系统及其测试方法，包含第一真空室、第二真空室、第三真空室、第一小孔元件、第二小孔元件、第一真空计、第二真空计、第三真空计、机械泵、第一分子泵、第二分子泵、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、第四真空阀门、第五真空阀门、第六真空阀门，第七真空阀门、第八真空阀门、第九真空阀门、第十真空阀门、第十一真空阀门、一个气体流量控制器、一个减压阀门、离子泵、一个标准气瓶和一个恒温箱，一方面减小了两次分别测量过程中由于暴露大气对装置本底放气影响；另一方面可以实现样品和本底同时测量，将原有的测量过程缩短了一半时间，提高了测量效率。
一种材料放气测试系统及其方法

[实用新型]一种具有治愈性功能的电脑托盘-CN202020094971.8有效
发明人：刘天琪;潘璐 -专利权人：河南师范大学
申请日： 2020-01-16 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： F16M11/24 文献下载
摘要：，属于电脑支撑技术领域，包括底座以及安装在所述底座顶部中间位置处的第一滑动筒，所述第一滑动筒的内侧设有卡位组件，所述底座的顶部沿其环部设有第三橡胶连接布，通过将电脑显示屏或笔记本放置在顶板的顶部，启动真空气泵将顶板与电脑显示屏或笔记本底部之间的空气吸干，使其顶部吸盘与电脑显示屏或笔记本底部贴合，从而将空气排出，再通过压力传感器检测压力后传输给单片机控制，通过单片机控制真空气泵的启动与停止，在电脑显示屏或笔记本底部之间气压不足导致压力传感器检测到的压力不足时可以启动真空气泵调节压力
一种具有治愈性功能电脑托盘

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