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[实用新型]高速固晶机的新型吸嘴-CN202020898142.5有效
发明人：钟志杰 -专利权人：荆州市弘晟光电科技有限公司
申请日： 2020-05-25 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型具有以下优点和效果：在吸嘴对晶片进行吸附时，吸嘴内部的支撑环的作用是加强对吸嘴内侧壁的支撑，加强吸嘴结构的稳定性，在支撑环的内侧壁连接的三角支架能够更好的加强对支撑环内侧壁的支撑，加强吸嘴结构的稳定性，使吸嘴能够更好的对晶片进行吸附，在吸嘴一侧的吸盘在吸嘴对晶片进行吸附时，吸盘通过被挤压能够使吸盘更加贴近晶片的外表面，使吸附的面积加大，使吸嘴吸附的更加快速和稳定。
高速固晶机新型

[实用新型]碳化硅晶片贴蜡装置-CN201920718120.3有效
发明人：郑东;王鑫 -专利权人：青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司
申请日： 2019-05-20 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： B05C11/10 文献下载
摘要：本实用新型属于半导体晶片贴蜡抛光技术领域，涉及碳化硅晶片贴蜡装置。该贴蜡装置包括机台上的控制箱以及与控制箱电连接的机械臂和气缸，气缸通过支撑柱安装在机台上方，气缸的活塞杆自由端固接冲压头，陶瓷盘对应设置在冲压头下方；机械臂通过伸缩气缸与吸附装置连接，吸附装置下表面设置有若干真空吸附垫，吸附装置上设置有与真空泵连接的真空吸附管路，真空泵与控制箱电连接；陶瓷盘摆放在放置槽内，放置槽底部安装有加热环，加热环上放置陶瓷盘；机台上还设置有晶片摆放台。该贴蜡装置采取整体贴片加热，变更传统的单片加热方式，这样可以大大的提高了加工效率，且贴片温度一致性更高，保证了碳化硅晶片的高质量加工。
吸附装置控制箱蜡装置陶瓷盘气缸碳化硅晶片冲压头电连接放置槽机械臂加热环贴片机台半导体晶片本实用新型温度一致性真空泵连接真空吸附垫加工效率加热方式伸缩气缸真空吸附摆放台传统的活塞杆蜡抛光下表面真空泵支撑柱自由端单片固接晶片加热变更加工保证

[实用新型]一种提高晶圆匀胶显影均匀性的吸附装置-CN202022099983.2有效
发明人：全金花;全金星;张军区 -专利权人：无锡亚迈微电子有限公司
申请日： 2020-09-23 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种提高晶圆匀胶显影均匀性的吸附装置，包括安装壳，所述安装壳的内底部开设有电机槽，所述电机槽内固定安装有电机，所述电机的转动端固定连接有安装块，所述安装块内固定安装有微型真空泵，所述安装块的顶部固定安装有吸附板，所述安装块与吸附板通过真空连接管连通，所述吸附板的顶部套接有盖板，所述安装壳一侧的顶部固定安装有转轴座，所述转轴座的外侧转动连接有密封板，所述密封板的底部固定安装有密封环。本实用新型涉及吸附装置技术领域，解决了现有吸附装置在对晶片进行吸附时，大多是在真空室将晶片与吸附板吸附，再对晶片进行匀胶，会使匀胶效率变慢的问题，从而提高在对晶圆进行吸附时的效率。
一种提高晶圆匀胶显影均匀吸附装置

[实用新型]一种片状晶体表面洁净度检测装置-CN202223071994.5有效
发明人：黄祥跃;陈燕平;孙义林 -专利权人：福建致卓光电科技有限公司
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01N21/94 文献下载
摘要：本实用新型涉及片状晶体表面洁净度检测装置，它包括设有台面的检测厨、固设于检测厨台面上的晶体固定组件以及设于晶体固定组件上方且带摄像功能的无影灯组件；所述晶体固定组件包括2个间隔固设于检测厨台面上的固定座、转动连接于两固定座之间的吸附盘以及与吸附盘通过管路连接的真空泵；所述吸附盘内设有腔室，所述吸附盘的前侧壁上间隔设有若干组由吸附孔组成的吸附孔组，所述吸附孔与吸附盘的腔室连通且用于吸附片状晶体，所述管路与所述吸附盘的腔室连通。本实用新型的片状晶体表面洁净度检测装置可快捷方便地检测晶片表面的洁净度，不会对晶片的通光面造成损伤，而且一次性可对多片晶片进行洁净度检测，极大地提高检测效率，提升产能。
一种片状晶体表面洁净检测装置

[发明专利]化合物半导体晶片的制备方法-CN02800537.6无效
发明人：冈本贵敏;目崎义雄;森本俊之 -专利权人：住友电气工业株式会社
申请日： 2002-03-01 - 公布日： 2003-11-19 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：化合物半导体晶片的制备方法，其中颗粒附着、正表面氧化和变质是轻微的并且减少了有机溶剂的用量。吸附垫结合在抛光盘上，不需要使用蜡将晶片吸附在吸附垫上进行抛光后，不用干燥而存放在净化水中。由于在净化水中存放，所以颗粒附着、正表面氧化和变质变得轻微，从而可以得到高质量的晶片。在紧接着水中存放的清洗程序中，可以省略有机溶剂清洗。这使得使用/浪费有毒有机溶剂的数量减少。
化合物半导体晶片制备方法

[实用新型]一种磁吸超声头-CN202120204013.6有效
发明人：黄月文;汤善召;李国庆 -专利权人：河南德恩医疗科技股份有限公司
申请日： 2021-01-25 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： A61B8/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种磁吸超声头，包括外壳，压电晶片，粘接环和绝缘环；外壳内具有空腔；压电晶片上下表面设有金属电极层，并且压电晶片通过粘接环密封安装在绝缘环上；粘接环为磁性材料，粘接环的上表面设有导电片，压电晶片上表面的金属电极层与导电片接触并导通，粘接环能够吸附电极片。本通过磁铁能够吸附电极片中的铁，从而达到电极片和超声头固定的目的，改善治疗效果。
一种超声

[发明专利]半导体装置的制造方法和制造装置-CN201910732906.5有效
发明人：山本荣一;三井贵彦;坂东翼 -专利权人：株式会社冈本工作机械制作所
申请日： 2019-08-09 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： B24B1/04 文献下载
摘要：半导体装置的制造方法包括：吸附工序，将半导体器件晶片的器件面朝下安装于吸盘机构的上表面；以及边缘修整工序，在所述吸附工序后进行，所述边缘修整工序包括：利用所述吸盘机构使所述半导体器件晶片水平旋转；利用施加有超声波的立式主轴使旋转刀具水平旋转；以及用所述旋转刀具对所述半导体器件晶片的周侧面进行修整。
半导体装置制造方法

[发明专利]用于输送晶片和/或太阳能电池的装置-CN201080030394.5无效
发明人： H·P·亨内克;H·F·奥登塔尔 -专利权人：亨内克系统有限公司
申请日： 2010-05-28 - 公布日： 2012-06-13 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于输送晶片和/或太阳能电池的装置，有至少一个循环输送带用于将晶片从循环输送带的接收区域输送至存放区域。在循环输送带的接收区域中设置至少一个吸气元件，该吸气元件可吸附并可从下层抬起平放于设置在循环输送带下方的下层上的晶片。被吸气元件吸附的晶片随后基于施加于循环输送带的吸气口上的负压被吸附在循环输送带的下侧上并被运走。
用于输送晶片太阳能电池装置

[发明专利]晶片移动装置及固晶设备-CN202310499054.6有效
发明人：卢国强 -专利权人：深圳市优界科技有限公司
申请日： 2023-05-06 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开了晶片移动装置及固晶设备，涉及固晶技术领域，晶片移动装置，包括架板，所述架板的侧面设有驱动组件，所述驱动组件的底部设有摆臂，所述架板的侧面设有控制器，所述摆臂的端部设有吸附组件；所述吸附组件包括导管，所述导管贯穿摆臂的一端，所述导管的顶端设有气管，所述导管的底端设有吸嘴，本发明可及时检测到吸附部的底面是否沾染杂质，并且可对杂质进行及时的清除，避免了晶片的脱落和影响固晶精度，避免了停机通过人工进行清洁，提高了工作效率，此外，可及时检测到吸附部发生堵塞，并可对堵塞物进行及时的清除，防止影响晶片的移动，且避免了停机通过人工进行清堵导致降低工作效率。
晶片移动装置设备

[发明专利]晶片等支撑部件-CN200510059016.0有效
发明人：中村恒彦;右田靖;松冈彻 -专利权人：京瓷株式会社
申请日： 2005-03-24 - 公布日： 2005-09-28 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明涉及晶片等支撑部件，它由吸附部，设置在该吸附部下的树脂层，以及设置在该树脂层下的，具有通过流入冷却介质的通道的导电性基础部构成。其特征在于：上述吸附部具有绝缘膜，将上所述绝缘膜一侧主面作成装载晶片等的装载面，并在另一侧主面具备吸附电极，该吸附电极被绝缘层所覆盖，上述吸附部的整体厚度为0.02～10.5mm，最佳厚度为0.02～2.0mm
晶片支撑部件

[发明专利]磨削装置-CN200810174043.6有效
发明人：桑名一孝;福士畅之;力石利康;久保徹雄 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2008-11-12 - 公布日： 2009-05-20 - 主分类号： B24B5/50 文献下载
摘要：本发明提供一种磨削装置，其能够以简单的结构将晶片的中心定位在卡盘工作台的中心。磨削装置包括中心对准构件。中心对准构件包括：摄像构件，其拍摄处于保持在保持臂上的状态的晶片的外周区域的一部分；和偏移量检测构件，其根据摄像构件所拍摄得到的图像信息，检测晶片的中心与保持臂的中心的偏移量。偏移量检测构件从拍摄得到的图像信息检测出晶片的外周缘的三个点以上的坐标以求出晶片的中心，并检测出晶片的中心与保持臂的中心的偏移量。保持臂进行与偏移量相应的修正，从而以将晶片的中心定位在临时放置工作台的中心的方式载置晶片，晶片搬入构件设置成能够以这样的方式转动：吸附部划出通过临时放置工作台的中心和卡盘工作台的中心的圆弧状轨迹，晶片搬入构件将晶片的中心定位在卡盘工作台的中心后解除吸附
磨削装置

[发明专利]机械手指、晶片传输方法及机械手-CN201711173805.6有效
发明人：赵海洋 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2017-11-22 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种机械手指、晶片传输方法及机械手，该机械手指包括用于承载晶片的手指本体，在手指本体中设置有多个吸气孔，用于吸附晶片，以将晶片固定在手指本体上，在手指本体的外侧还设置有吹气装置，用于在将晶片固定在手指本体上之后，朝向晶片的边缘吹气。本发明提供的机械手指，其可以避免晶片出现滑动问题，从而降低了晶片损坏的风险，提高了机械手的可靠性。
机械手指晶片传输方法机械手

[发明专利]搬运装置-CN201510477861.3在审
发明人：大西健太;万德公丈;冈田繁史;占部裕之;渡边勇辉 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2015-08-06 - 公布日： 2016-03-02 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种搬运装置，其能够适当地吸引保持弯曲的晶片，能够易于应对直径不同的晶片。搬运装置(6)将收纳于盒(8a、8b)中的晶片(11)从盒中搬出或将晶片搬入盒中，其具有：吸引保持晶片的保持部(42)；以及使保持部移动的驱动部(44)，保持部具有：保持部主体(46)；在保持部主体的正面(46c)开口且彼此远离的多个吸引口(48a、48b)；与吸引源(52)连接并对吸引口传递负压的负压传递路(50)；以及配设于吸引口的由弹性材料构成的吸附盘(54)，多个吸引口被设置为在晶片的径向上彼此远离，吸附盘构成为选择性地配设于期望的吸引口。
搬运装置

[发明专利]机器人手臂-CN202010493080.4在审
发明人：大波豪;小清水秀辉 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2020-06-03 - 公布日： 2020-12-15 - 主分类号： B25J9/04 文献下载
摘要：提供机器人手臂，在对晶片进行搬送的机器人所具有的机器人手臂中，利用机器人手臂对呈中凹状弯曲的晶片的凹陷中央适当地进行吸引保持而进行搬送。机器人手臂(6)安装于机器人(1)，对呈中凹状弯曲的晶片(W)的凹陷中央(Wf)进行吸引保持，其中，该机器人手臂具有：长条平板状的基台(60)；吸盘(61)，其配设于基台，对晶片的凹陷中央进行吸引保持；以及连通路(62)，其使对晶片进行吸引保持的吸盘的吸附面(610d)与吸引源(69)连通，按照在利用吸附面对晶片进行了吸引保持时晶片的外周部分不与安装有吸盘的基台的一个面(60a)接触的方式，将吸盘(61
机器人手臂

[发明专利]一种用于结构健康监测的压电晶片的安装方法及其装置-CN201010244359.5无效
发明人：武湛君;王奕首;柳敏静;高东岳 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2010-08-04 - 公布日： 2010-12-15 - 主分类号： G01M19/00 文献下载
摘要：本发明属于结构健康监测用传感器领域，涉及用于结构健康监测的压电晶片的安装方法和装置，其特征在于，将压电晶片放在压电晶片座和被测结构表面之间，用一个开口部分贴合在被测结构表面的凹形腔体把压电晶片座扣在内部，并通过凹形腔体内的弹簧将压电晶片座压迫在被测结构表面，使压电晶片紧贴在被测结构表面；凹形腔的壳体采用密封材料，壳体上设有可封闭的气孔，通过气孔减小密闭腔体内气压，使凹形腔体紧密吸附在被测结构表面。本发明采用真空吸附安装方式，压电晶片可方便地被拆卸、更换、调换位置，其压紧力具有可重复性和均一性，实现了机动式的结构健康监测，提高了监测与诊断效率。
一种用于结构健康监测压电晶片安装方法及其装置