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[发明专利]掩膜组件、真空镀膜装置及其使用方法-CN201710432844.7有效
发明人：田忠朋;陈一民;肖磊;武捷;高雪伟 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2017-06-09 - 公布日： 2019-05-03 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种掩膜组件、真空镀膜装置及其使用方法，属于镀膜技术领域。所述掩膜组件包括：掩膜本体和遮挡部，掩膜本体具有镂空区域，遮挡部设置在掩膜本体上，且位于镂空区域的边缘，遮挡部能够与掩膜本体发生相对位移，以改变镂空区域的实际镂空面积，实际镂空面积等于镂空区域的原始面积减去遮挡部遮挡镂空区域的面积本申请解决了叠加在一起的多个膜层中会存在部分膜层出现边缘断裂和脱落的情况的问题，有效的防止膜层的边缘出现断裂和脱落的情况，本申请用于真空镀膜。
组件真空镀膜装置及其使用方法

[实用新型]一种投影式曝光设备-CN202223328184.3有效
发明人：姚宇;请求不公布姓名;请求不公布姓名;李中天 -专利权人：苏州太阳井新能源有限公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及光伏设备领域，具体是一种投影式曝光设备，所述投影式曝光设备包括：光源；掩膜板，所述掩膜板上形成有预定图案，所述预定图案用于透过部分来自所述光源的光线；光学组件，所述光学组件用于接收并调整穿过所述掩膜板的光线，所述光源、所述掩膜板及所述光学组件沿着第一方向依次设置；载台，所述载台用于承载附着有感光胶的太阳能电池片，且能够接收所述光学组件调整后的光线。本实用新型的投影式曝光设备能够避免掩膜板损伤，且具有较好的曝光效果。
一种投影曝光设备

[发明专利]掩膜板及其制作方法、掩膜组件-CN201610617389.3有效
发明人：林治明;王震 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2016-07-29 - 公布日： 2019-02-01 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种掩膜板及其制作方法、掩膜组件，该掩膜板包括至少一个掩膜单元，所述掩膜单元包括蒸镀有效区以及位于所述蒸镀有效区与所述掩膜板第一边沿之间的边缘区域，所述边缘区域上设置有弯曲缓解结构，所述弯曲缓解结构用于当所述掩膜板按照所述第一边沿的延伸方向被拉伸时缓解所述蒸镀有效区的边缘卷曲本发明提供的掩膜板，通过在掩膜板上设置弯曲缓解结构，当该掩膜板焊接在框架上被拉伸时，通过弯曲缓解结构可以有效缓解掩膜板上蒸镀有效区的边缘卷曲，避免在蒸镀过程中在蒸镀的产品的对应位置上产生不良。
掩膜板及其制作方法组件

[发明专利]一种掩膜板、定位基板、掩膜板组件及蒸镀装置-CN201810003146.X有效
发明人：吕守华;黄俊杰 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2018-01-02 - 公布日： 2020-03-10 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种掩膜板、定位基板、掩膜板组件及蒸镀装置，涉及显示技术领域，可改善因掩膜片的流动性导致产品良率下降的问题。所述掩膜板，包括具有开口的框架和跨越所述开口且固定在所述框架上的多个掩膜片，所述掩膜片包括有效掩膜区和包围所述有效掩膜区的无效掩膜区，还包括设置在所述无效掩膜区、且位于所述掩膜片垂直于其厚度方向的表面上的第一定位结构，所述第一定位结构用于避免所述掩膜片在第一方向上发生位置移动；其中，所述第一方向与所述掩膜片的延伸方向相交。
一种掩膜板定位组件装置

[发明专利]在掩膜框架上形成对准标记的装置和方法、以及制造掩膜框架的装置和方法-CN202180054485.0在审
发明人：庾弘宇 -专利权人：皮姆思株式会社
申请日： 2021-10-15 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： B23K26/03 文献下载
摘要：公开的实施例的装置是一种在掩膜框架上形成对准标记(align mark)的装置，包括：接触式测量器，所述接触式测量器用于测量完成加工的掩膜框架的对准状态；对准装置，所述对准装置基于所述对准状态来对所述掩膜框架进行重新对准；以及打标装置，所述打标装置在完成所述重新对准后，在所述掩膜框架上形成对准标记；其中，当将所述掩膜框架与掩膜片或掩膜条结合以制造掩膜组件时，所述对准标记用于相互间对准。
框架形成对准标记装置方法以及制造

[发明专利]一种掩膜组件、蒸镀装置及OLED优化方法-CN202010802804.9在审
发明人：王江南;张亮;张川;徐蒙蒙;史晓波;冯敏强;廖良生 -专利权人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请日： 2020-08-11 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及蒸镀工艺领域，公开一种掩膜组件、蒸镀装置及OLED优化方法。所述掩膜组件包括承载盘、挡片和驱动组件，承载盘用于放置基片，承载盘上设置有开口，开口用于将基片的待沉积区域露出，挡片用于遮挡开口，驱动组件与挡片连接，用于带动挡片按照预设动作或操作指令将基片露出，以使待沉积材料在基片的露出区域沉积成膜所述蒸镀装置包括上述的掩膜组件。所述OLED优化方法采用上述的掩膜组件。本发明可以连续获得多个厚度的OLED器件，操作简单方便，无需反复切换掩膜板，可以一次性实现多个不同OLED膜层厚度的试验条件验证，能够高效快速地优化OLED膜层的厚度尺寸，方便快速确定最佳试验条件，减少试验所需时间
一种组件装置 oled 优化方法

[发明专利]激光焊接设备及焊接方法-CN201811010749.9有效
发明人：刘维波;苏长鹏;黄裕佳;王义龙;王瑾;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2018-08-31 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： B23K26/21 文献下载
摘要：本发明涉及一种激光焊接设备及方法，该激光焊接设备包括：机台；安装座，设于所述机台上；掩膜板，设于所述安装座，所述掩膜板、所述安装座及所述机台之间形成焊接工位；夹持对位机构，能够带动工件移动至焊接工位并驱使所述工件相对所述掩膜板移动，使得所述工件与所述掩膜板对准并贴合；激光焊接机构，包括若干焊接头和运动组件，所述焊接头位于所述掩膜板上方且在所述运动组件的驱动下能够相对所述掩膜板移动，以使所述焊接头射出的激光透过所述掩膜板对工件进行加工
激光焊接设备焊接方法

[发明专利]一种掩膜版组件、张网方法及蒸镀装置-CN202010596206.0有效
发明人：李典虹;苏长恒 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2020-06-28 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种掩膜版组件、张网方法及蒸镀装置。该掩膜版组件包括框架，支撑网，至少两块掩膜版，以及至少一个遮掩条，遮掩条的两端以一定的拉力固定连接在框架上，用于使框架产生预定的弹性形变，遮掩条设在两块相邻掩膜版之间的间隙处。本申请增加了至少一条遮掩条，只需要调整遮掩条的拉力就可以改善镀膜像素位置精度拉伸向整体尺寸精度，节约了掩膜版组件的制作成本。
一种掩膜版组件方法装置

[发明专利]一种掩膜张网焊接设备-CN202110172509.4有效
发明人：孙启峰;张洪博;黄正隆 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2021-02-08 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： B23K26/21 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种掩膜张网焊接设备，该焊接设备包括：框架，用于承载掩膜版，掩膜版包括相对的第一侧和第二侧以及相对的第三侧和第四侧；夹持拉伸装置，用于夹紧掩膜版的第一侧和第二侧，并带动掩膜版的第一侧和第二侧相向或相背运动；柔性圧触装置，柔性压触装置包括柔性压杆组件，且柔性压杆组件在第一方向、第二方向和第三方向均具备自由度，用于贴合掩膜版以将其第三侧和第四侧与框架压紧，第一方向平行于掩膜版的第一侧，第二方向平行于掩膜版的第三侧，第三方向垂直于掩膜版；激光器，用于将掩膜版焊接在框架上。本发明实施例中，掩膜版被柔性圧触装置圧触在框架上再焊接，可提高焊接过程中掩膜拉应力稳定性，提高焊接质量。
一种掩膜张网焊接设备

[发明专利]掩膜板组件及其加工方法-CN202180000032.X在审
发明人：吕文旭;伍青峰;王永茂;张文畅 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2021-01-15 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： G03F1/00 文献下载
摘要：一种掩膜板组件(100)及其加工方法，掩膜板组件(100)包括框架(1)、遮挡条(2)和掩膜板(3)，框架(1)中部形成开口部(12)；遮挡条(2)设在开口部(12)处且遮挡条(2)的两端固定在框架(1)上；掩膜板(3)固定在框架(1)上，掩膜板(3)上设有蒸镀孔(31)和拉伸孔(32)，蒸镀孔(31)与开口部(12)相对，拉伸孔(32)与遮挡条(2)相对以通过遮挡条(2)遮挡拉伸孔(32)。
掩膜板组件及其加工方法

[实用新型]一种精密金属掩膜板及掩膜板组件-CN201820864260.7有效
发明人：梁少端;罗昶;杨天龙;张国栋 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2018-06-05 - 公布日： 2019-03-19 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及显示技术领域，公开了一种精密金属掩膜板及掩膜板组件，该精密金属掩膜板包括：掩膜板本体；掩膜板本体包括至少一个沿其长度方向设置且用于制备有效显示区图案的有效图案区、沿掩膜板本体的长度方向设于各有效图案区两侧的缓冲区该精密金属掩膜板中，缓冲区设置有负泊松比结构，可以有效避免精密金属掩膜板在张网过程中出现褶皱，提高张网精度。
掩膜板精密金属缓冲区有效图案泊松比张网长度方向设置本实用新型有效显示区褶皱制备图案

[发明专利]一种金属掩膜版框、掩膜版组件及其张网加工方法-CN202210355669.7在审
发明人：钱超;李成林;张蔡星;杨柯 -专利权人：江苏高光半导体材料有限公司
申请日： 2022-04-06 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提出的一种金属掩膜版框、掩膜版组件及其张网加工方法，涉及金属掩膜版领域。金属掩膜版框包括固定框、四组活动框边和若干弹簧；固定框四周的外侧面上分布有若干个弹簧孔，弹簧孔沿相应的外侧面的法向向框体内部延伸；活动框边分别设置在固定框的四边上，且均与固定框的上侧面滑动连接，活动框边具有弹簧阻挡部掩膜版组件包括上述金属掩膜版框和金属掩膜版。张网时，通过朝向固定框中心的方向挤压移动活动框边到预设位置，然后将金属掩膜版张网并焊接在活动框边上。本发明能够抑制掩膜网面的下垂。
一种金属掩膜版框掩膜版组件及其加工方法

[发明专利]掩膜板组件、阵列基板的蒸镀方法、阵列基板及显示面板-CN202210903392.7在审
发明人：徐辽;袁海江 -专利权人：惠科股份有限公司
申请日： 2022-07-27 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本公开方案涉及掩膜板组件、阵列基板的蒸镀方法、阵列基板及显示面板，掩膜板组件包括：对位掩膜板，具有开口区和遮挡区，开口区配置为与显示区对位设置，遮挡区配置为与非显示区对位设置；蒸镀掩膜板，与对位掩膜板在竖直方向上相对设置，蒸镀掩膜板具有多个蒸镀图案区，蒸镀图案区与子像素图案区的图案一一匹配，蒸镀掩膜板配置为相对对位掩膜板进行水平移动，以使多个蒸镀图案区依次完全移动至开口区内，并与其相匹配的子像素图案区对位设置；其中，在多个蒸镀图案区中的一者完全移动至开口区内通过两块掩膜板进行蒸镀，节省蒸镀时间，提高产能、减少成本。
掩膜板组件阵列方法显示面板

[发明专利]保护膜组件、光掩膜版、光刻机及由其制作的产品-CN202210119351.9在审
发明人：穆钰平 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2022-02-08 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G03F1/64 文献下载
摘要：本发明提供了一种保护膜组件、光掩膜版、光刻机及由其制作的产品，保护膜组件适用于光掩膜版，包括保护膜和用于支撑保护膜的支撑架，支撑架包括：第一架体，第一架体设置于光掩膜版的基底上；第二架体，第二架体上安装有保护膜本发明的保护膜组件解决了现有技术中的光掩膜版上的保护膜不便于拆装的问题。
保护膜组件光掩膜版光刻制作产品

[发明专利]一种金属掩膜板组件、OLED显示面板及显示装置-CN202010770113.5有效
发明人：高翔;吕文旭;伍青峰;范博;杨林;魏立超 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2020-08-04 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及显示技术领域，公开了一种金属掩膜板组件、OLED显示面板及显示装置，该金属掩膜板组件包括：掩膜板本体，掩膜板本体包括阵列分布的多个精密金属掩膜板、位于单次蒸镀区域且沿第一方向间隔排列的第一横向遮挡板该金属掩膜板组件中，第一子遮挡板的宽度与第一横向遮挡板的宽度相同，使位于第一横向遮挡板与第一子遮挡板之间的精密金属掩膜板的边缘部受到的压力相同，使得精密金属掩膜板的边缘部受力均匀，可以保证精密金属掩膜板与玻璃基板贴合良好
一种金属掩膜板组件 oled 显示面板显示装置