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[发明专利]一种红外目标和干扰仿真装置-CN201410483849.9无效
发明人：虞红;高阳;雷杰;杨召伟;杜惠杰;张盈 -专利权人：北京仿真中心
申请日： 2014-09-19 - 公布日： 2014-12-10 - 主分类号： F41G3/32 文献下载
摘要：本发明公开一种红外目标和干扰仿真装置，包括目标黑体、目标聚光镜、目标光阑、投影物镜组、干扰黑体、干扰聚光镜、干扰光阑和合束器；目标黑体、目标聚光镜、目标光阑的光轴与投影物镜组的光轴重合，干扰黑体、干扰聚光镜、干扰光阑的光轴与投影物镜组的光轴相垂直；合束器与投影物镜组的光轴呈45度设置，目标光阑和干扰光阑均安装在投影物镜组的焦平面上；合束镜为半反半透镜；目标黑体辐射的红外光经目标聚光镜后均匀照亮目标光阑，干扰黑体辐射的红外光经干扰聚光镜后均匀照亮干扰光阑；合束器将透射的红外目标和反射的红外干扰合束；投影物镜组将合束后的红外目标和红外干扰投射到无穷远。
一种红外目标干扰仿真装置

[发明专利]自动对焦系统及方法、半导体缺陷检测系统及方法-CN202310828033.4在审
发明人：包建;杨浩哲;相春昌 -专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2023-07-07 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G02B21/00 文献下载
摘要：该自动对焦系统包括：投影目标靶，倾斜设置于投影光轴；第一光源，提供沿投影光轴传输的第一光线，经由显微物镜将投影目标靶投影到对焦目标表面，以形成第一平面像；成像物镜，结合显微物镜对第一平面像进行二次成像，以在探测器表面形成第二平面像；探测器，采集第二平面像，并在第二平面像与探测器表面的交点位置获得清晰图像；以及控制器，通信连接探测器，并被配置为：根据第二平面像中清晰图像的像素坐标，确定对焦目标表面到显微物镜的物镜焦面的调节距离；以及根据调节距离，调节显微物镜和/或对焦目标的位置。
自动对焦系统方法半导体缺陷检测

[发明专利]一种投影物镜和光刻曝光系统-CN201810113896.2有效
发明人：侯宝路 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2018-02-05 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种投影物镜和光刻曝光系统。该投影物镜包括沿光路依次设置的第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组，第一透镜组包括沿光路依次设置的第一子透镜组和第二子透镜组，第三透镜组包括沿光路依次设置的第三子透镜组和第四子透镜组，投影物镜满足以下关系式本发明实施例提供的投影物镜和光刻曝光系统，可以解决投影物镜的投影视场较小，同时不能兼容汞灯光源和LED光源的问题，实现较好像质的宽光谱和大视场的物镜投影，增加曝光系统的曝光视场，提高光刻机的光刻产率。
一种投影物镜光刻曝光系统

[发明专利]系统误差自校准的光刻机投影物镜波像差的在线检测方法-CN201110128075.4有效
发明人：李艳秋;汪海;刘克 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2011-05-17 - 公布日： 2011-08-24 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种系统误差自校准的光刻机投影物镜波像差的在线检测方法，采用设有方形针孔阵列的物方掩模板，通过方形针孔阵列产生理想的球面波，消除了照明系统对光刻机投影物镜波像差检测的影响；同时，利用针孔阵列滤波的系统误差自校准，通过在光刻机投影物镜的物面放置方孔和像面放置针孔阵列，在保证曝光光源利用率的同时，实现了对待测照明系统残留像差和投影物镜波像差的空间滤波，可以快速，高精度的分离投影物镜的波像差和在线检测装置的系统误差
系统误差校准光刻投影物镜波像差在线检测方法

[发明专利]投影物镜倍率误差及畸变的检测装置及方法-CN200810202413.2有效
发明人：杨志勇 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2008-11-07 - 公布日： 2009-03-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种投影物镜倍率及畸变的检测装置以及方法，首先制备一具有栅格状透光标记的测量掩模版，同时提供镀铬面上涂覆正性光刻胶且没有图形的掩模版作为一转印掩模版，利用物像交换曝光的方法以及涂胶显影、刻蚀、套刻测量等相关设备，测量固定在检测装置中的投影物镜倍率误差及畸变；采用本发明的投影物镜倍率及畸变的检测装置以及方法测量投影物镜的倍率误差和畸变，可排除标准栅格模版等传统测量手段带来的系统误差，特别适于包含有测量名义倍率为-1或相近倍率的投影物镜的检测装置系统。
投影物镜倍率误差畸变检测装置方法

[发明专利]一种曝光系统、曝光方法和光刻机-CN201810570140.0有效
发明人：郭银章 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2018-06-05 - 公布日： 2021-07-02 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种用于半导体投影光刻技术领域的曝光系统、曝光方法和光刻机，包括照明单元、掩模版、投影物镜单元、基底和至少一个衍射光学元件，所述衍射光学元件设置在所述照明单元和/或所述投影物镜单元中，所述衍射光学元件设置在所述照明单元中靠近或者远离所述照明单元中的光阑的位置处，和/或部分所述衍射光学元件设置在所述投影物镜单元中靠近或者远离所述投影物镜单元中的光阑的位置处，所述照明单元提供的照明光束依次入射所述掩模版、所述投影物镜单元和所述基底后，将所述掩模版上的图形成像到所述基底上
一种曝光系统方法光刻

[发明专利]一种全息消像差方法及其投影光刻系统-CN200710099761.7无效
发明人：张强;李艳秋;周远 -专利权人：中国科学院电工研究所
申请日： 2007-05-30 - 公布日： 2008-02-20 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种全息消像差方法，利用全息照明技术在特定条件下曝光，将光刻中照明信息，投影物镜调制信息以及掩模版位相调制信息同时记录在全息干板上。曝光后的全息干板替代现有技术的掩模版以及照明系统，采用共轭再现方式，令再现后的共轭光波再次进入投影物镜，补偿投影物镜在成像过程中引入的像差。携带有掩模调制信息、投影物镜倍缩信息和照明信息的光束令光刻胶曝光，完成光刻曝光过程。应用本发明方法的投影光刻系统，包括激光器[1]、光闸门[2]、照明系统[3]、偏振控制装置[4]投影物镜[5]扩束装置[6]、掩模版[7]全息干板[8]、分光镜[9]、抗蚀剂硅片[15]、硅片工作台[16
一种全息消像差方法及其投影光刻系统

[发明专利]一种LCD投影装置及方法-CN202310930759.9在审
发明人：黄柏良 -专利权人：湖南阿秒光学科技有限公司
申请日： 2023-07-26 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G03B21/20 文献下载
摘要：本申请适用于投影技术领域，提供了一种LCD投影装置及方法，该LCD投影装置包括：第一光源系统、第二光源系统、单向反射片和投影物镜；单向反射片设置在第一光源系统和投影物镜之间；第一光源系统设置在单向反射片的透射面的一侧；第一光源系统所射出的第一光线穿过单向反射片的透射面，射向投影物镜；第二光源系统射出的第二光线从单向反射片的反射面反射，射向投影物镜；其中，反射后的第二光线与穿过单向反射片的透射面的第一光线重合。本申请能够提升投影图像的亮度，同时解决了LCD液晶片的受热问题。
一种 lcd 投影装置方法

[发明专利]一种两片式非远心大孔径投影镜头及数字投影车灯-CN202310108351.3在审
发明人：牛磊;杨珏晶;黄慧;蔡志鹏;王良亮;王鹏飞;宋伟;徐锋 -专利权人：华域视觉科技（上海）有限公司
申请日： 2023-02-10 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：本发明公开一种两片式非远心大孔径投影镜头及数字投影车灯，涉及投影镜头技术领域。该两片式非远心大孔径投影镜头包括沿投影光路依次设置的像素化可控数字芯片、保护玻璃、第一光学物镜、光阑和第二光学物镜，第一光学物镜的焦距为f3，第二光学物镜的焦距为f5，且满足关系式：|f5||f3|。该两片式非远心大孔径投影镜头及数字投影车灯，具有结构简单、光圈较大、光学成像效果佳的优点，其光学系统总长较小，对于空间有限的车型适用性更强。
一种两片式非远心大孔径投影镜头数字车灯

[实用新型]一种两片式非远心大孔径投影镜头及数字投影车灯-CN202320185546.3有效
发明人：牛磊;杨珏晶;黄慧;蔡志鹏;王良亮;王鹏飞;宋伟;徐锋 -专利权人：华域视觉科技（上海）有限公司
申请日： 2023-02-10 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种两片式非远心大孔径投影镜头及数字投影车灯，涉及投影镜头技术领域。该两片式非远心大孔径投影镜头包括沿投影光路依次设置的像素化可控数字芯片、保护玻璃、第一光学物镜、光阑和第二光学物镜，第一光学物镜的焦距为f3，第二光学物镜的焦距为f5，且满足关系式：|f5||f3|。该两片式非远心大孔径投影镜头及数字投影车灯，具有结构简单、光圈较大、光学成像效果佳的优点，其光学系统总长较小，对于空间有限的车型适用性更强。
一种两片式非远心大孔径投影镜头数字车灯

[发明专利]投影物镜系统-CN202210244412.4在审
发明人：谭胜旺;吴爽;申淙;高爱梅 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-03-14 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请涉及集成电路制造技术领域，尤其是涉及一种投影物镜系统。投影物镜系统包括从投影物镜系统的物方至像方的方向顺序设置的第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组、第五透镜组和第六透镜组，第一透镜组至第六透镜组的光焦度呈现出正、负、正、负、正、正。根据本发明的投影物镜系统，能够实现更好的像差控制，进而实现更加完美的图形曝光。
投影物镜系统

[发明专利]光刻投影物镜控制装置-CN201611133636.9在审
发明人：郭嘉亮;李佩玥;葛川;李朋志;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2016-12-10 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种光刻投影物镜控制装置。所述光刻投影物镜控制装置包括上位机、工控机箱、驱动控制箱、压电驱动器和电容传感器：所述工控机箱包括主控单板计算机、多路光纤从板和VPX总线背板，所述主控单板计算机上设置有光刻投影物镜控制器；所述驱动控制箱包括高压驱动板和信号采集板；所述光刻投影物镜控制器在接收到物镜功能性调节控制指令后，对所述物镜功能性调节控制指令进行闭环运动控制运算处理并打包后将控制指令发送至多路光纤从板；所述多路光纤从板将所述控制指令发送至高压驱动板，所述高压驱动板对所述控制指令做出数本发明提供的光刻投影物镜控制装置能对个功能性调节机构进行集中控制。
光刻投影物镜控制装置高压驱动控制指令从板控制指令发送驱动控制箱压电驱动器多路光纤工控机箱主控单板控制器物镜电容传感器信号采集板数/模转换闭环运动集中控制控制运算驱动控制上位机计算机背板打包光纤

[实用新型]一种透射比为0.38：1的变焦附加镜头组-CN201922469949.7有效
发明人：陈勇;张维强 -专利权人：武汉慧视智享科技有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： G02B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种透射比为0.38：1的变焦附加镜头组，自近物侧至远物侧方向依次设置第一光学物镜、第二光学物镜、第三光学物镜、第四光学物镜和第五光学物镜，所述第一光学物镜、第二光学物镜、第三光学物镜、第四光学物镜和第五光学物镜均为弯月透镜，本实用新型结构简单、镜头总数少，适合大批量生产，并且无色差、成像效果好，适合应用在各种大画面投影的的投影机上。
一种透射 0.38 变焦附加镜头

[发明专利]投影物镜系统-CN202210244421.3在审
发明人：申淙;谭胜旺;孙明睿;高爱梅 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-03-14 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： G02B13/18 文献下载
摘要：本申请涉及集成电路制造技术领域，尤其是涉及一种投影物镜系统。投影物镜系统包括从投影物镜系统的物方至像方的方向顺序设置的第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组和第五透镜组，第一透镜组至第五透镜组的光焦度呈现出正、负、正、负、正；五个透镜组满足：f2/L＞‑0.1，f4/L＞‑0.3；其中f2为第二透镜组的焦距，f4为第四透镜组的焦距，L为投影物镜系统的物像距；根据本发明的投影物镜系统，能够实现更好的像差控制，进而实现更加完美的图形曝光。
投影物镜系统

[发明专利]一种光刻机投影物镜安装调平装置-CN200810033381.8有效
发明人：唐海明;朱岳彬 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2008-01-31 - 公布日： 2008-07-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种光刻机投影物镜安装调平装置，用于调平带有安装法兰的投影物镜。它包括安装基板，三个柔性块，安装件和固定件。柔性块前端通过固定件与投影物镜的安装法兰连接，柔性块底座通过安装件安装在安装基板；柔性块前端中部开有第一狭长槽，柔性块后端与第一狭长槽相向方向开有第二狭长槽，柔性块后端装有一调节杆。该调平装置采用三个等圆周均布的柔性块，调节柔性块的调节杆实现柔性块前端的翘起和压下以调节投影物镜水平度，并利用两狭长槽形成的弹性支点避免外界的振动和冲击给投影物镜带来的损害。
一种光刻投影物镜安装平装