专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种半导体器件制备方法-CN202310078981.0在审
  • 赵君超 - 赵君超
  • 2023-02-08 - 2023-05-23 - C23C16/455
  • 本发明属于半导体制备技术领域,尤其涉及一种半导体器件制备方法,包括以下步骤步骤一:将处理装置与射频匹配器连通;步骤二:使多根能够通入不同气体的管道与处理装置连接;步骤三:使用多根管道向处理装置内通入气体;步骤四:使用处理装置对成气体进行均匀混合,并对成气体进行过筛;步骤五:从处理装置排出的气体进入射频匹配器内,射频匹配器对成气体进行电离;步骤六:经过电离后的气体沉积在晶圆上形成半导体,所述处理装置包括处理盒
  • 一种半导体器件制备方法
  • [发明专利]控制装置、装置以及方法-CN202280005853.7在审
  • 大泷芳幸;松平学幸;山口刚;宫内充祐 - 株式会社新柯隆
  • 2022-02-04 - 2023-07-11 - C23C14/54
  • 控制装置具有:光源(42),其对配置于旋转体(25)的基板(S)照射光;受光部(46),对于从所述光源照射的光,该受光部接收透过形成在所述基板上的薄膜的层的透过光或者被形成在所述基板上的薄膜的层反射的反射光;位置信息取得部(48),其取得与所述旋转体的圆周方向的位置对应的位置信息;以及控制部(4),其对成条件进行控制,所述控制部包含:时机控制部,其根据由所述位置信息取得部取得的所述旋转体的圆周方向的位置信息来确定作为目标的基板的位置,对接收从所述光源向该确定的位置的基板照射的光的透过光或者反射光的时机进行控制;厚判定部,其根据由所述受光部接收到的透过光或者反射光,计算由多个层构成的薄膜的各层的厚,判定所述各层的厚与构成具有期望的分光特性的薄膜的各层的目标厚的厚差;以及条件设定部,其在所述各层的厚相对于所述目标厚存在规定值以上的厚差的情况下,对针对该层的条件进行校正以使得存在该厚差的层的厚成为该层的目标厚,然后设定所述条件。
  • 控制装置以及方法
  • [发明专利]方法、装置和程序-CN202111029054.7在审
  • 平田俊治 - 东京毅力科创株式会社
  • 2021-09-01 - 2022-03-25 - C23C14/35
  • 本发明提供一种在具有能够配备多个靶材的阴极单元的装置中执行的方法,其为提高能够配备多个靶材的装置的工作效率的技术,该方法包括:在安装在阴极单元的同一材料的第一靶材和第二靶材之中,按照第一靶材的方案,使用第一靶材进行处理的步骤;在管理第一靶材的寿命的值达到了预先设定的阈值后,从用户接收成处理中使用的第二靶材的选择的步骤;和按照将第一靶材的方案的靶材关联控制项目的设定转换为选择的第二靶材的方案,使用选择的第二靶材进行处理的步骤,由此来解决课题。
  • 方法装置程序
  • [发明专利]方法-CN202110193603.8在审
  • 佐佐木幸二;铃木启介;长谷川智也 - 东京毅力科创株式会社
  • 2021-02-20 - 2021-09-07 - C23C16/40
  • 本发明涉及一种方法。提供:可以以高生产率形成均匀性良好的氧化硅的技术。本公开的一方式的方法为在处理容器内同时在多张基板上形成氧化硅方法,所述方法执行包括如下步骤的多次循环:向前述处理容器内供给包含有机氨基官能化低聚硅氧烷化合物的硅原料气体的步骤;和,向调整为1~10Torr(133~1333Pa)的压力的前述处理容器内供给氧化气体的步骤
  • 方法
  • [发明专利]方法-CN201680075857.7有效
  • 香取重尊;广木一亮;织田真也;人罗俊实 - 株式会社FLOSFIA
  • 2016-12-21 - 2021-04-23 - B05D1/02
  • 为了提供具有工业优势质量的薄膜的目的,本发明提出了一种方法。本发明的方法的实施方式包括:将含有非质子溶剂(可以是内酯或内酰胺)的原料溶液变成雾或液滴(雾化步骤),将雾或液滴携带至设置在室的基体上(雾的运送步骤),以及优选在250℃或以下的温度使雾或液滴反应,从而在基体上成(步骤)。
  • 方法
  • [发明专利]一种番茄涂保鲜方法-CN201410586318.2有效
  • 张刚 - 张刚
  • 2014-10-21 - 2017-07-21 - A23B7/16
  • 本发明公开了一种番茄涂保鲜方法,包括以下步骤(1)原料预处理;(2)浸泡;(3)保藏。本发明采用质量浓度为0.3~0.5%的碳酸氢钠溶液对番茄进行清洗,清洗效果好,能大大改善保鲜剂的性能,使得保鲜溶液能均匀附着在番茄表面,并采用浸泡、冷风风干的方式对番茄进行涂保鲜,针对番茄的特性对保鲜溶液进行了优化改进,保鲜溶液中的各组分相互协同增效,安全高效,成本低,性能好,能改善番茄外观,延长番茄保鲜期,整个方法工艺步骤简单,可操作性强,效率高,设备投资少,环保安全,质量好,适合工业化生产。
  • 一种番茄保鲜方法
  • [发明专利]一种多层电路板预浸工艺-CN201910956291.4在审
  • 苏惠武;叶何远;赖剑锋;张惠琳 - 信丰福昌发电子有限公司
  • 2019-10-10 - 2020-03-27 - H05K3/28
  • 本发明公开了一种多层电路板预浸工艺,包括以下步骤步骤一、除油;步骤二、DI水洗;步骤三、微蚀;步骤四、清洗;步骤五、预浸;步骤六、DI水洗;步骤七、OSP处理;步骤八、DI水洗;步骤九、烘干出料;所述步骤七中浸泡盒为密封结构,包括盒体和上盖,盒体的顶部设有上盖,上盖与盒体之间设有密封条;盒体的前端设有若干个进液口,后端设有若干个出液口,若干个进液口通过管道连接进液集流管,若干个出液口通过管道连接出液集流管,进液集流管和出液集流管均通过管道连接液槽;动本发明利用预浸剂对PCB进行预浸处理,提高的速率,并协同流动的液能够在PCB表面形成厚度均匀的OSP,值得大力推广。
  • 一种多层电路板预浸成膜工艺
  • [发明专利]方法和TFT的制造方法-CN201710457272.8有效
  • 佐藤吉宏;渡边幸夫;窪田真树 - 东京毅力科创株式会社
  • 2017-06-16 - 2020-01-03 - C23C16/34
  • 本发明的课题在于降低保护中的H原子的含量并且在含Cu的电极上正常地形成保护。保护方法包括搬入步骤、供给步骤步骤。在搬入步骤中,向处理容器内搬入Cu部露出的基板,其中Cu部为由含Cu的材料形成的构造物。在供给步骤中,向处理容器内供给第一气体、第二气体和第三气体。在步骤中,利用供给到处理容器内的、含有第一气体、第二气体和第三气体的混合气体的等离子体,在Cu部上形成保护。第一气体为含卤素原子的硅系气体。第二气体为O
  • 方法tft制造

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