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[发明专利]微机电系统装置-CN201510129061.2在审
发明人：吉泽隆彦 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2015-03-23 - 公布日： 2015-09-30 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明提供一种MEMS装置。该MEMS装置具备：半导体基板，其在主面的第一区域中形成有沟槽，并且在主面的第二区域中形成有半导体电路元件的杂质扩散区；功能元件，其直接或经由绝缘膜而被设置于半导体基板的沟槽的底面上；壁部，其被设置于半导体基板的沟槽内
微机系统装置

[发明专利]MEMS器件及MEMS器件形成方法-CN201210451121.9有效
发明人：朱家骅;郑钧文;李德浩;林宗贤 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2012-11-12 - 公布日： 2014-02-12 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种包括内含微机电系统(MEMS)器件的MEMS晶圆的器件。所述MEMS器件包括可移动元件，以及在所述MEMS晶圆中的第一开口。所述可移动元件设置在所述第一开口中。载体晶圆接合到MEMS晶圆。本发明还公开了微机电系统(MEMS)器件以及MEMS器件形成方法。
mems 器件形成方法

[发明专利]在微机电系统(MEMS)装置中耦合折叠弹簧-CN201710885349.1在审
发明人：张谦;杨光隆;顾磊 -专利权人：美国亚德诺半导体公司
申请日： 2017-09-27 - 公布日： 2018-04-03 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明涉及在微机电系统(MEMS)装置中耦合折叠弹簧。描述了微机电系统(MEMS)装置，包括质量块，通过设置在质量块的相对侧上的折叠弹簧可移动地连接到基板，其中耦合器将折叠弹簧中的两个耦合在一起。
微机系统 mems 装置耦合折叠弹簧

[发明专利]在微机电系统(MEMS)装置中耦合折叠弹簧-CN202310644600.0在审
发明人：张谦;杨光隆;顾磊 -专利权人：美国亚德诺半导体公司
申请日： 2017-09-27 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明涉及在微机电系统(MEMS)装置中耦合折叠弹簧。描述了微机电系统(MEMS)装置，包括：质量块，通过设置在质量块的相对侧上的折叠弹簧可移动地连接到基板，其中耦合器将折叠弹簧中的两个耦合在一起。
微机系统 mems 装置耦合折叠弹簧

[发明专利]包含MEMS声学传感器和压力传感器的集成封装-CN201780043978.8有效
发明人：高佳;金炯汉;彼得·乔治·哈特韦尔;穆札法尔·梅格苏乌尼亚 -专利权人：应美盛公司
申请日： 2017-04-27 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种集成微机电系统(MEMS)声学传感器装置。集成MEMS声学传感器装置可包括MEMS声学传感器元件和位于与MEMS声学传感器元件相关联的后腔内的压力传感器。集成MEMS声学传感器装置可包括适于接收声波或压力的端口。制造方法也同时公开。
包含 mems 声学传感器压力传感器集成封装

[发明专利]一种高精度MEMS激光雷达发射装置和方法-CN202010068809.3有效
发明人：刘佳尧;石拓 -专利权人：苏州一径科技有限公司
申请日： 2020-01-21 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： G01S7/484 文献下载
摘要：本发明公开一种高精度MEMS激光雷达发射装置和方法，包括:激光发射模块，包括激光器和准直透镜，准直透镜用于将来自激光器发射的激光束进行准直；扫描模块，包括微机电系统(MEMS)微振镜，用于将来自准直透镜的激光束反射至非均匀光束角度扩大模块；非均匀光束角度扩大模块，用于将来自微机电系统(MEMS)微振镜的光束转换为扫描角度间隔非均匀分布的光束。
一种高精度 mems 激光雷达发射装置方法

[发明专利]包括微机电系统(MEMS)阵列的电源开关系统-CN201210012987.X有效
发明人： P·K·阿南德;S·钱加利;J·K·胡克;R·K·基拉姆索德;B·C·孔菲尔 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2012-01-04 - 公布日： 2012-07-18 - 主分类号： H02P1/18 文献下载
摘要：本发明名称为“包括微机电系统(MEMS)阵列的电源开关系统”。一种开关系统(4)，包括形成二极管电桥的多个二极管，以及紧密耦合到多个二极管的微机械系统(MEMS)开关阵列(12)。MEMS开关阵列(12)在(MxN)阵列中电连接。(MxN)阵列包括与第二MEMS开关支线(44)并联电连接的第一MEMS开关支线(40)。第一MEMS开关支线(40)包括串联电连接的第一多个MEMS管芯，而第二MEMS开关支线(44)包括串联电连接的第二多个MEMS管芯。
包括微机系统 mems 阵列电源开关

[发明专利]集成芯片及其制造方法-CN201911353697.X在审
发明人：王怡人;潘兴强;谢元智 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2019-12-25 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：器件衬底包括第一微机电系统(MEMS)器件及相对于第一微机电系统器件在横向上偏置开的第二微机电系统器件。顶盖结构包括上覆在第一微机电系统器件上的第一空腔及上覆在第二微机电系统器件上的第二空腔。
集成芯片及其制造方法

[实用新型]微机电系统封装结构-CN202320039895.4有效
发明人：雷永庆;向兴林 -专利权人：麦斯塔微电子（深圳）有限公司
申请日： 2023-01-06 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本申请涉及微机电系统技术领域，公开了一种微机电系统封装结构，包括MEMS裸片、内置有控制MEMS裸片的控制电路的CMOS裸片以及通过引脚或端口与外部电路连接的基底，基底用于支撑CMOS裸片和MEMS裸片；CMOS裸片具有第一表面和与第一表面相对的第二表面，第二表面通过设于CMOS裸片和基底之间的焊料球与基底倒装连接；第二表面设有功能区，MEMS裸片通过胶粘剂层固定在功能区内，且通过导线的引线键合与CMOS裸片电性连接，其中，MEMS裸片背离CMOS裸片的一侧与基底保持有避空间隙；CMOS裸片的外周包覆有塑封料，塑封料延展至基底。本申请消除了MEMS裸片在封装中所受的应力影响，保证了MEMS裸片的输出精度。
微机系统封装结构

[发明专利]微机电系统陀螺随机噪声的处理方法及处理装置-CN202011257795.6在审
发明人：刘宁;袁超杰;苏中;李擎;刘福朝;赵旭;李羚;付国栋 -专利权人：北京信息科技大学
申请日： 2020-11-11 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： G01C19/5776 文献下载
摘要：本发明公开了一种微机电系统陀螺随机噪声的处理方法及处理装置、存储介质、处理器，其中，前述方法包括：采集待处理窗口内微机电系统输出的运行数据，得到采样数据；基于采样数据创建微机电系统的相空间重构模型；基于相空间重构模型，通过非线性滤波算法进行随机噪声的误差估计；根据误差估计的估计结果对微机电系统进行随机噪声的误差补偿。本发明通过建立基于相空间重构的陀螺输出信号模型，利用容积卡尔曼滤波方法，实现随机噪声的有效抑制，解决了MEMS陀螺随机噪声的抑制效果不佳的技术问题。
微机系统陀螺随机噪声处理方法装置

[发明专利]电子器件及其制造方法-CN202210231661.X在审
发明人：郑钧文;朱家骅;蔡俊胤;郭文政 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2022-03-09 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：第一微机电系统(MEMS)器件沿半导体衬底的第一表面安置。第一微机电系统器件包括第一背板和与第一背板竖直分离的隔板。第二微机电系统器件沿半导体衬底的第一表面安置。第二微机电系统器件包括弹簧结构和可移动元件。弹簧结构配置成将可移动元件悬挂在空腔中。半导体衬底的区段从第一微机电系统器件的侧壁下方连续地横向延伸到第二微机电系统器件的侧壁下方。
电子器件及其制造方法

[实用新型]微机电麦克风组件-CN201621137579.7有效
发明人：朱佳辉;万蔡辛;黄慧宇 -专利权人：北京卓锐微技术有限公司
申请日： 2016-10-19 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：公开了一种微机电麦克风组件。该微机电麦克风组件包括MEMS麦克风芯片、ASIC芯片以及线路板，其中，MEMS麦克风芯片包括第一焊盘，ASIC芯片包括第二焊盘，第一焊盘以及第二焊盘上具有焊球，MEMS麦克风芯片及ASIC芯片通过焊球焊接固定在线路板上，使得MEMS麦克风芯片及ASIC芯片与线路板电连接。本实用新型提供的微机电麦克风组件通过在各芯片的焊盘上形成焊球，在微机电麦克风组件的封装过程中直接通过焊球将MEMS麦克风芯片及ASIC芯片焊接固定在线路板上，使得MEMS麦克风芯片及ASIC芯片与线路板电连接，省略了金线键合工序及其用料，节省成本，避免了引线失效的可靠性隐患，从而提高了微机电麦克风组件的可靠性。
微机麦克风组件

[发明专利]MEMS器件、封装MEMS器件及其制造方法-CN201210536917.4有效
发明人：梁凯智;郑钧文 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2012-12-12 - 公布日： 2014-01-29 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了MEMS器件、封装MEMS器件及其制造方法。在一个实施例中，微机电系统(MEMS)器件包括第一MEMS功能结构和第二MEMS功能结构。第二MEMS功能结构的内部区域的压力与第一MEMS功能结构的内部压力不同。
mems 器件封装及其制造方法

[发明专利]微机电系统继电器电路-CN201680075721.6有效
发明人： Y.刘;G.S.克莱顿;C.F.凯梅尔;C.M.焦文尼洛 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2016-10-18 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： H01H9/54 文献下载
摘要：一种切换系统包括：具有MEMS开关和驱动器电路的MEMS切换电路；以及与MEMS切换电路并联耦合的辅助电路，辅助电路包括固态切换电路。与MEMS切换电路和辅助电路通信的控制电路执行负载电流朝向MEMS切换电路和辅助电路的选择性切换，其中控制电路编程为：向驱动器电路传送控制信号以使得MEMS开关在切换间隔上致动到打开或闭合位置；在当MEMS开关在打开和闭合位置之间切换时的切换间隔期间激活辅助电路；以及一旦在切换间隔完成之后到达打开或闭合位置，便去激活辅助电路，从而使得负载电流选择性地流过MEMS开关和固态切换电路。
微机系统继电器电路

[发明专利]一种像素结构及其制备方法、像素显示方法和阵列基板-CN201410818586.2有效
发明人：张斌;曹占锋;孔祥春;姚琪;高锦成;李正亮;何晓龙 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2014-12-24 - 公布日： 2015-03-25 - 主分类号： G09G3/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种像素结构及其制备方法、像素显示方法和阵列基板，以解决现有的量子点电致发光QLED显示装置的QLED显示器件使用寿命低、QLED显示装置制备难度大的问题。所述像素结构，包括：薄膜晶体管TFT，用于控制微机电系统MEMS开关；所述微机电系统MEMS开关，用于控制量子点发光二极管QLED器件的出射光的透过量；所述量子点发光二极管QLED器件为顶发射型，用于根据恒定发光驱动信号进行恒定发光
一种像素结构及其制备方法显示阵列