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[发明专利]MEMS封装件及其制造方法-CN201610084450.2在审
发明人：余振华;余国宠 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2016-02-14 - 公布日： 2016-12-07 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：描述了微机电系统(MEMS)封装件及其制造方法。在实施例中，制造MEMS封装件的方法可以包括：将具有在其上的盖结构的MEMS结构附接至器件晶圆以形成晶圆级MEMS封装件，器件晶圆包括形成在其中的多个第一器件；以及切割具有附着至其的MEMS结构的器件晶圆以形成多个芯片尺寸MEMS封装件。本发明实施例涉及MEMS封装件及其制造方法。
mems 封装及其制造方法

[发明专利]微机电系统麦克风的封装结构与封装方法-CN201910821985.7在审
发明人：李建兴;谢聪敏 -专利权人：鑫创科技股份有限公司
申请日： 2019-09-02 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本发明公开一种微机电系统麦克风的封装结构与封装方法，其中该微机电系统麦克风的封装结构包括陶瓷封装基板，嵌入有第一线路。所述第一线路包含第一金属围封环在所述陶瓷封装基板的表面。微机电系统(MEMS)麦克风芯片设置在所述陶瓷封装基板的所述表面上。所述MEMS麦克风芯片电连接到所述集成电路。帽盖结构设置在所述陶瓷封装基板的所述第一金属围封环上。
微机系统麦克风封装结构方法

[实用新型]微机电系统管芯-CN202120801755.7有效
发明人：彼得·洛佩特 -专利权人：美商楼氏电子有限公司
申请日： 2021-04-19 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： H04R19/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及微机电系统管芯。微机电系统MEMS管芯包括基板、背板以及振膜。背板联接至基板并且包括介电层和电极。电极联接至介电层并且限定了开口，该开口暴露介电层的中心部分。
微机系统管芯

[实用新型]微机电传感器和电子设备-CN202020082152.1有效
发明人：汤小贾 -专利权人：广州市意芯微电子有限公司
申请日： 2020-01-14 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本实用新型公开一种微机电传感器和电子设备，该微机电传感器包括基板、MEMS传感器芯片和金属外壳，所述基板和所述金属外壳连接形成内腔，所述MEMS传感器芯片收容于所述内腔，所述MEMS传感器芯片包含振膜和固定架，所述振膜、所述固定架围合形成MEMS传感器芯片背腔，所述基板设有下凹的避空位，所述振膜投影于所述基板上的投影轮廓与至少部分所述避空位重合，所述避空位与所述背腔连通，以此扩大传感器芯片背腔空气容积，并增大所述MEMS传感器芯片背腔振膜的振动空间。本实用新型技术方案提高了微机电传感器的灵敏度和信噪比，节约了研发成本。
微机传感器电子设备

[发明专利]微机电系统的角度参数化宏建模方法-CN200810190111.8无效
发明人：苑伟政;徐景辉;常洪龙;吕湘连;姜澄宇 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2008-12-30 - 公布日： 2009-10-14 - 主分类号： B81C5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种微机电系统的角度参数化宏建模方法，属于微机电系统设计与模型降阶领域。该方法首先从相同几何形状的微结构中任意选取一个作为参考微结构，采用数值降阶方法提取其宏模型；然后根据微结构方位之间的关系，采用矩阵坐标变换方法建立其它方位微结构相对参考微结构的力与位移之间的转换方程；最后，将力与位移之间的转换方程代入宏模型的行为方程中，实现MEMS本发明采用矩阵坐标变换方法实现角度参数化的宏建模，通过设置相应的角度参数，即可避免结构完全相同，初始方位不同的MEMS微结构的重复宏建模过程，从而使基于宏模型的MEMS系统级建模与仿真速度加快，进而提高整个MEMS的设计效率。
微机系统角度参数建模方法

[发明专利]微机电系统的角度参数化宏建模方法-CN200910134186.9无效
发明人：苑伟政;徐景辉;常洪龙;吕湘连;姜澄宇 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2009-04-15 - 公布日： 2009-10-07 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种微机电系统的角度参数化宏建模方法，属于微机电系统设计与模型降阶领域。该方法首先从相同几何形状的微结构中任意选取一个作为参考微结构，采用数值降阶方法提取其宏模型；然后根据微结构方位之间的关系，采用矩阵坐标变换方法建立其它方位微结构相对参考微结构的力与位移之间的转换方程；最后，将力与位移之间的转换方程代入宏模型的行为方程中，实现MEMS本发明采用矩阵坐标变换方法实现角度参数化的宏建模，通过设置相应的角度参数，即可避免结构完全相同，初始方位不同的MEMS微结构的重复宏建模过程，从而使基于宏模型的MEMS系统级建模与仿真速度加快，进而提高整个MEMS的设计效率。
微机系统角度参数建模方法

[发明专利]集成方式的RF MEMS开关-CN200510074845.6无效
发明人：万江文;周玉娇 -专利权人：北京邮电大学
申请日： 2005-06-07 - 公布日： 2006-01-04 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：一种基于微机电系统技术的射频开关，包含微机械(MEMS)部分和射频(RF)部分，实现开关功能的可移动开关结构设置在MEMS衬底上，采用MEMS部分和RF部分独立加工再将MEMS衬底与RF衬底对准键合在一起的方式
集成方式 rf mems 开关

[实用新型]一种高端口数目的MEMS光开关-CN201920982660.2有效
发明人：龚磊 -专利权人：武汉嘉迅光电有限公司
申请日： 2019-06-27 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： G02B6/35 文献下载
摘要：本实用新型公开一种高端口数目的MEMS光开关，包括壳体，所述壳体内部设有二维光纤阵列、组合透镜元件和MEMS微镜；所述二维光纤阵列包括一个光纤输入端口和多个光纤输出端口；所述组合透镜元件包括准直透镜一和准直透镜二；所述MEMS微镜包括微型反射镜和微机电系统，所述微机电系统用于调节微型反射镜在水平面和竖直平面内转动；光信号从所述光纤输入端口输入，依次穿过准直透镜一、准直透镜二，被MEMS微镜反射后，再依次穿过准直透镜二本实用新型采用组合透镜来代替现有的单准直透镜，且组合透镜之间的相对位置可以调节，极大地优化了光学系统的像差，提升了光纤阵列的横向扩展尺寸，可实现更高端口数目的MEMS光开关。
准直透镜组合透镜二维光纤阵列光纤输出端口光纤输入端口本实用新型微机电系统微型反射镜高端口穿过光纤阵列光学系统横向扩展壳体内部竖直平面耦合反射壳体像差转动输出优化

[发明专利]液态微机电系统部件及其射频应用-CN201310409833.9有效
发明人：艾哈迈德礼萨·罗福加兰 -专利权人：美国博通公司
申请日： 2013-09-10 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： H04B1/40 文献下载
摘要：本发明公开了一种液态微机电系统部件及其射频应用。本发明公开了一种无线电电路，包括：前端模块，板，液态MEMS部件，以及耦接部件。前端模块被实现在至少一个集成电路（IC）晶方上，并且包括可变电路。板支撑液态微机电系统部件并且至少间接地支撑该至少一个集成电路晶方。耦接部件将液态MEMS部件电气耦接至可变电路，其中，基于控制信号，液态MEMS部件的一个或多个特性被改变，从而调整可变电路。
液态微机系统部件及其射频应用

[实用新型]通过具有自适应通信的微机电系统驱动的无线设备-CN201520330097.2有效
发明人：彼得·沃伦坎普 -专利权人：美国博通公司
申请日： 2015-05-20 - 公布日： 2015-11-04 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：一种通过具有自适应通信的微机电系统驱动的无线设备，包括无线接口、微机电系统(MEMS)能量采集部件、耦接至MEMS能量采集部件的能量存储器、以及处理线路。处理线路被配置为响应能量收集事件确定通过MEMS能量采集部件收集的或者存储在能量存储器中的能量总量；基于收集的能量总量确定无线通信操作；并且根据确定的无线通信操作经由无线接口与远程设备通信。
通过具有自适应通信微机系统驱动无线设备

[发明专利]包括自由悬挂式或自立式微沟道的微机电系统部件或微流体部件-CN202080080437.4在审
发明人： W·斯帕雷布姆;J·格罗内斯泰因;J·H·范·皮滕;M·J·德·波尔;R·J·维格林克;H-W·维特坎普;Q·于;M·亚里斯布伊;M·A·罗德里格斯·奥尔金;J·C·洛特斯 -专利权人：伯金公司
申请日： 2020-09-18 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种微机电系统(MEMS)部件或微流体部件，包括自由悬挂式或自立式微沟道(1)，以及一种用于制造这样的微沟道的方法，以及一种流量传感器，例如热流量传感器或科里奥利流量传感器、压力传感器或多参数传感器、阀门、泵或微换热器，包括这样的微机电系统部件或微流体部件。MEMS部件允许通过增加沟道直径来增加例如微型科里奥利质量流量计的流量范围和/或降低其压降，同时保持其优势。
包括自由悬挂自立式微沟道微机系统部件流体

[实用新型]一种基于微机电系统动镜的傅里叶变换微光谱仪-CN201220093929.X有效
发明人：陈巧;谢会开;周亮;严冬梅;管帅;傅霖来;兰树明 -专利权人：无锡微奥科技有限公司
申请日： 2012-03-14 - 公布日： 2012-11-21 - 主分类号： G01J3/45 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种基于微机电系统动镜的傅里叶变换微光谱仪,包括迈克尔逊干涉仪、信号采集处理器和光电探测器，迈克尔逊干涉仪包括光源、第一分光镜、第二分光镜、MEMS微镜和静镜，它们彼此之间通过连接对样品实现扫描本实用新型设计的基于微机电系统动镜的傅里叶变换微光谱仪实现了结构的微型化，提高了设备的便携型，能够保证MEMS微镜的线性移动，而且降低了整个设备的成本。
一种基于微机系统傅里叶变换微光

[发明专利]多功能三维扫描器-CN201980093944.9有效
发明人：马科·埃罗马基;埃罗·萨尔梅林;米科·特霍 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2019-03-13 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： H04N9/31 文献下载
摘要：一种光机电装置，包括具有第一端和第二端的衬底。微机电系统(micro‑electro mechanical system，MEMS)镜设置在所述衬底的所述第一端上。光检测器设置在所述MEMS镜和所述激光器阵列之间。所述MEMS镜用于将从所述多二极管激光器阵列投影的光反射离开所述装置，并将返回光反射到所述光检测器上。本发明提供了一个独立的光机电封装，通过光束扫描投影方法支持多种功能。
多功能三维扫描器

[发明专利]用于检测磨损金属的MEMS实现方式-CN201680014241.9在审
发明人： B·杰米森;M·迪克森;S·万弗莱特 -专利权人：玛斯特股份有限公司
申请日： 2016-01-06 - 公布日： 2018-01-26 - 主分类号： G01J3/28 文献下载
摘要：本发明涉及分析元素，包括机械系统中的金属。因此，本发明允许检测例如润滑剂中的诸如金属的磨损元素，以确定机械系统是否正在恶化，甚至接近故障。本发明涉及一种集成的微机电(MEMS)装置，以及使用该装置的方法。
用于检测磨损金属 mems 实现方式

[发明专利]微机电系统及其制造方法-CN201210061957.8有效
发明人：斋藤友博 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2012-03-09 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明涉及MEMS及其制造方法。该MEMS包括：设置在基板上的第1电极；第1辅助构造体，与上述第1电极相邻地设置在上述基板上，处于电浮置状态；和第2电极，设置在上述第1电极和上述第1辅助构造体的上方，被向上述第1电极的方向驱动。
微机系统及其制造方法