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[发明专利]可调谐激光滤光器-CN200610003200.8无效
发明人：谭平恒;章昊;朱汇 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2006-02-24 - 公布日： 2007-08-29 - 主分类号： G02B27/42 文献下载
摘要：一种可调谐激光滤光器，其特征在于，该滤光器包括：一底板；一平面光栅，该平面光栅置于底板上；一平面光栅转动装置，该平面光栅转动装置置于底板上、平面光栅的下方并控制平面光栅转动的角度；一反射镜，该反射镜置于底板上、平面光栅的上方；一入口狭缝，该入口狭缝置于底板的一侧边、与平面光栅的位置平行；一出口狭缝，该出口狭缝置于底板的另一侧边、与反射镜平行。
调谐激光滤光

[发明专利]工件台测试方法、平面光栅测试方法及系统测试方法-CN202111597212.9在审
发明人：付大为;焦健;解昊;范玉娇 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2021-12-24 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： G01R31/00 文献下载
摘要：本发明涉及光栅测量领域，具体而言，涉及一种工件台测试方法、平面光栅测试方法及系统测试方法。工件台测试方法，利用框架标定工装上的第一平面光栅替代整机框架上的平面光栅模块，为读数头的信号提供参考基准，对工件台进行测试，判断工件台是否合格。平面光栅测试方法，利用测试合格的离线测试台代替工件台，对整机框架上的平面光栅模块进行测试，判断工件台是否合格。系统测试方法包括上述工件台测试方法和上述平面光栅测试方法。本发明提供的工件台测试方法、平面光栅测试方法及系统测试方法，在测试时，不易损害平面光栅模块中的大尺寸异形平面光栅，从而，降低了整机的制造成本。
工件测试方法平面光栅系统

[实用新型]一种复合球面光栅-CN202221340604.7有效
发明人：吴砺;张建英;周孝莲;林磊 -专利权人：福州高意光学有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： G02B3/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种复合球面光栅，其包括平面光栅和准直透镜，所述平面光栅设在准直透镜一侧，所述平面光栅的光栅面与准直透镜的平面光学面相对设置，平面光栅和准直透镜两端分别设有固定块，固定块两端分别与对应的平面光栅和准直透镜固定连接
一种复合球面光栅

[实用新型]一种平面衍射光栅衍射波前检测系统-CN201220303293.7有效
发明人：钱林勇;黄元申;徐邦联;王琦;张大伟;陶春先;倪争技;庄松林 -专利权人：上海理工大学
申请日： 2012-06-26 - 公布日： 2013-02-13 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：一种平面衍射光栅衍射波前检测系统，包括：平面衍射光栅衍射波前检测装置、平面光栅正级次衍射波前检测的入射光与衍射光光路、平面光栅负级次衍射波前检测的入射光与衍射光光路；平面衍射光栅衍射波前检测装置中标准平面透镜安装在ZYGO干涉仪上，ZYGO干涉仪内置激光仪，通过数据线与计算机连接，平面光栅置于旋转平台上，旋转平台上的平面光栅与平面反射镜置于光路中；平面光栅正级次衍射波前检测的入射光与衍射光光路：旋转平台上平面光栅的激光入射角等于衍射角；平面光栅负级次衍射波前检测的入射光与衍射光光路：平面反射镜与平面光栅衍射光垂直，衍射光作为测量波面经平面反射镜反射，沿原路返回ZYGO干涉仪。
一种平面衍射光栅检测系统

[发明专利]一种位移测量系统以及曝光设备-CN201710114465.3有效
发明人：陈南曙;张金贵 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2017-02-28 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种位移测量系统以及曝光设备，该位移测量系统包括安装在运动台下表面的位移传感器、设在运动台下方的目标平面光栅以及信号处理单元，目标平面光栅为反射光栅，所述位移传感器发射光束至所述目标平面光栅，并接收经所述目标平面光栅反射的光束，所述信号处理单元接收位移传感器发送的信号后计算所述运动台相对所述目标平面光栅的位移，再结合所述主基板所在的目标物坐标系与所述目标平面光栅所在的运动台坐标系之间的位置关系计算所述运动台相对所述目标物的位移本发明采用物镜、运动台、目标平面光栅的布局方式，目标平面光栅不会引入由拼接造成的测量误差，且易于制造；物镜与运动台之间的空间未被占用，可安装更多类型的传感器。
一种位移测量系统以及曝光设备

[实用新型]一种安装稳固的平面光栅-CN201721812011.5有效
发明人：李金翰 -专利权人：长春市赛奥科技开发有限公司
申请日： 2017-12-19 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及光栅安装技术领域，且公开了一种安装稳固的平面光栅，包括安装箱和平面光栅，安装箱的顶部开设有散热口，平面光栅的两侧均固定连接有挡板，挡板的一侧固定连接有螺杆，螺杆的一端固定连接有把手，挡板通过硅胶垫与平面光栅活动连接本实用新型，通过设置挡板、螺杆、把手、硅胶垫、安装块和固定柱可以对平面光栅起到安装作用，解决了平面光栅因安装不稳定导致损坏的问题，阙口可以方便安装块与固定柱的安装，而且硅胶垫既可以增大平面光栅与挡板之间的摩擦力，又可以起到缓冲作用，从而使得平面光栅安装更稳固。
平面光栅挡板安装箱安装块硅胶垫螺杆本实用新型固定柱稳固弹簧把手光栅安装缓冲作用活动连接面光栅内底壁散热口垫板

[实用新型]一种光栅拼接结构-CN202221478729.6有效
发明人：吴砺;张建英;周孝莲;林磊 -专利权人：福州高意光学有限公司
申请日： 2022-06-14 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种光栅拼接结构，其包括基板、反射式的平面光栅和连接棒；所述平面光栅上部呈矩形；所述基板上方排列有若干个平面光栅，所述平面光栅背离光栅一面的四个边缘为楔面，所述楔面通过连接棒与基板的表面固定连接
一种光栅拼接结构

[发明专利]光耦合装置及光模块-CN201410363471.9在审
发明人：陈侠;秦振凯;傅正华;张源 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2014-07-26 - 公布日： 2014-11-26 - 主分类号： G02B6/34 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种光耦合装置，包括：第一平面光波导、第二平面光波导和光栅耦合器，第一平面光波导的截面尺寸大于第二平面光波导的截面尺寸，光栅耦合器与第二平面光波导的一端相连通，第一平面光波导与光栅耦合器相对应的位置设置一反射端面，反射端面与第一平面光波导的延伸方向之间的夹角为锐角；光从第二平面光波导传输到光栅耦合器后，从光栅耦合器传播到反射端面，并经反射端面反射后形成的出射光耦合到第一平面光波导中并在第一平面光波导中传输。
耦合装置模块

[发明专利]一种基于平面光栅的硅片台大行程运动测量系统-CN201410306846.8无效
发明人：朱煜;张鸣;刘峰;成荣;杨开明;支凡;张利;赵彦坡;胡清平;田丽;徐登峰;尹文生;穆海华;张金;陈安林 -专利权人：清华大学;北京华卓精科科技有限公司
申请日： 2014-06-30 - 公布日： 2014-09-24 - 主分类号： G01B11/04 文献下载
摘要：一种基于平面光栅的硅片台大行程运动测量系统，属于超精密测量技术领域。该测量系统包含平面光栅与读数头阵列，平面光栅安装在硅片台动台下表面，读数头阵列安装在定台上。每个读数头能够测量动台两个方向位移，任一时刻平面光栅下方覆盖三个及三个以上的读数头；因此，当硅片台动台进行大行程平面运动时，通过读数头之间的切换，能够实现动台的位移测量。本发明采用二维高精度平面光栅作为测量元件，在硅片台运动区域内布置多个读数头，满足硅片台大行程运动的测量需求；读数头与平面光栅之间测量光路短，环境变化引起的误差较小，同时将平面光栅布置在动台上，避免了测量系统对硅片台运动产生线缆扰动
一种基于平面光栅硅片行程运动测量系统

[实用新型]一种具备移动机构的平面光栅-CN201721811506.6有效
发明人：李金翰 -专利权人：长春市赛奥科技开发有限公司
申请日： 2017-12-19 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及平面光栅设备技术领域，且公开了一种具备移动机构的平面光栅，包括固定板，固定板的内部固定连接有扭簧，所述扭簧的内部套接有连接轴，所述连接轴的表面固定连接有平面光栅本体，所述平面光栅本体的表面活动连接有位于固定板表面的缓冲垫该具备移动机构的平面光栅，通过设置滚轮、夹杆和转盘，通过滚轮方便对平面光栅本体进行平面上的移动，且转盘带动滚轮进行三百六十度旋转，旋转移动方便，从而达到了方便移动的目的。
平面光栅移动机构固定板连接钮滚轮内部固定活动销连接轴扭簧旋钮转盘三百六十度旋转设备技术领域本实用新型固定板表面活动连接有表面固定表面滑动传动连接方便移动活动插接旋转移动缓冲垫弹簧滑道夹杆套接移动

[发明专利]一种基于平面光栅分光的光谱成像仪-CN201410079468.4有效
发明人：马玲芳;王孟先;李鹏;于爱宁 -专利权人：烟台天宇光电技术有限公司
申请日： 2014-03-05 - 公布日： 2014-06-04 - 主分类号： G01J3/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于平面光栅分光的光谱成像仪，包括前置镜、具有透射缝隙的狭缝反射平面光栅、准直反射镜、成像镜以及探测器：目标发出的光经过所述前置镜在像面位置汇聚，汇聚光经所述狭缝反射平面光栅的透射缝隙后，经所述准直反射镜后反射回所述狭缝反射平面光栅，经所述狭缝反射平面光栅分光后到达所述成像镜，经所述成像镜汇聚后在所述探测器成像。通过透射光路与反射光路混合设计，实现结构紧凑化和小型化，通过狭缝与反射光栅的集成设计实现集成化和轻量化。
一种基于平面光栅分光光谱成像

[实用新型]一种平面光栅栅距的检测装置-CN201721810117.1有效
发明人：李金翰 -专利权人：长春市赛奥科技开发有限公司
申请日： 2017-12-19 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： G01B11/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及平面光栅技术领域，且公开了一种平面光栅栅距的检测装置，包括底座和支架，支架一侧的表面开设有进料口，支架的一侧设置有固定连接在底座上的伸缩杆，伸缩杆的外表面套接有弹簧，伸缩杆的顶部固定连接有毛刷本实用新型，通过设置伸缩杆、弹簧和毛刷可以清除平面光栅表面的灰尘，从而可以在平面光栅距离检测的时候起到清洁作用，使得平面光栅的距离检测效果更好，通过设置电机、主动轮、皮带、从动轮、墨水盒、毛细管和刻度尺可以对平面光栅起到标识的作用
平面光栅伸缩杆支架本实用新型电机检测装置距离检测弹簧毛刷栅距支杆底座表面开设底座顶部顶部设置清洁作用外表面套转动连接从动轮进料口刻度尺毛细管墨水盒输出端主动轮动轮转辊皮带

[发明专利]采用滤色片减小柱面光栅立体显示器图像串扰的方法-CN201010252720.9无效
发明人：王琼华;陶宇虹;刘军;徐小清;谷俊 -专利权人：四川大学
申请日： 2010-08-13 - 公布日： 2011-01-19 - 主分类号： H04N13/00 文献下载
摘要：本发明提出了一种采用滤色片减小柱面光栅立体显示器图像串扰的方法，柱面光栅、滤色片以及图像显示屏依次放置，其中，在柱面光栅的焦平面上放置滤色片对引起视点间串扰的光线进行过滤，从而降低视点间图像串扰。本发明还提出了一种柱面光栅立体显示装置，该装置包括柱面光栅、滤色片以及图像显示屏，所述柱面光栅、所述滤色片以及所述图像显示屏依次放置，其中，所述滤色片放置在柱面光栅的焦平面上，对引起视点间串扰的光线进行过滤
采用滤色片减小柱面光栅立体显示器图像方法

[发明专利]一种基于平面光波导的光栅滤波光器件-CN202011212538.0在审
发明人：夏翔;沈杰;李雪峰;黄惠良 -专利权人：上海鸿辉光通科技股份有限公司
申请日： 2020-11-03 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于平面光波导的光栅滤波光器件，包括平面光波导芯片，所述平面光波导芯片内置有至少一根光波导；每个所述光波导设有用于经紫外光照射而形成折射率周期变化的波导区域；所述平面光波导芯片开设有用于露出所述波导区域的开窗区能够在平面光波导上照射紫外光实现光栅相同功能，解决目前光纤光栅工艺复杂、封装体积大、多器件无法单片集成等问题。
一种基于平面波导光栅滤波器件

[实用新型]一种基于平面光波导的光栅滤波光器件-CN202022508796.5有效
发明人：夏翔;沈杰;李雪峰;黄惠良 -专利权人：上海鸿辉光通科技股份有限公司
申请日： 2020-11-03 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于平面光波导的光栅滤波光器件，包括平面光波导芯片，所述平面光波导芯片内置有至少一根光波导；每个所述光波导设有用于经紫外光照射而形成折射率周期变化的波导区域；所述平面光波导芯片开设有用于露出所述波导区域的开窗区能够在平面光波导上照射紫外光实现光栅相同功能，解决目前光纤光栅工艺复杂、封装体积大、多器件无法单片集成等问题。
一种基于平面波导光栅滤波器件

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