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[发明专利]减少设备表面上粘合剂积聚的方法-CN201980086814.2在审
发明人： R·P·斯图辛斯基;K·田中;X·叶;张振军 -专利权人：波士胶公司
申请日： 2019-12-19 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： B32B7/12 文献下载
摘要：在沿着用于施加粘合剂和形成层压件的系统传送基材时，通过升高用于引导基材的工艺设备的运行温度，减少或甚至消除工艺设备上粘合剂的积聚。优选地，将工艺设备加热到这样的温度，该温度高于粘合剂的交叉温度至少约5℃、优选至少约10℃以及最优选至少约15℃，并且高于该交叉温度至多约60℃、优选至多约50℃以及最优选至多约45℃。一种用于将热熔粘合剂施加到基材的系统包括用于向工艺设备提供热量的加热器和可选的用于冷却工艺设备的冷却器。
减少设备表面上粘合剂积聚方法

[实用新型]蒸汽利用冷凝水回收系统的蒸汽动力疏水装置-CN201420713887.4有效
发明人：王正伟;胡俊华;周璐;马楠;许世勇;何保兵;石峰;郭利民 -专利权人：河南中烟工业有限责任公司
申请日： 2014-11-25 - 公布日： 2015-04-22 - 主分类号： F16T1/00 文献下载
摘要：蒸汽利用冷凝水回收系统的蒸汽动力疏水装置，包括蒸汽主进管、高温工艺设备、低温工艺设备、第一集水槽、蒸汽动力疏水阀泵和第二集水槽，蒸汽主进管上通过第一蒸汽进管和第二蒸汽进管分别与高温工艺设备和低温工艺设备的进气口连接，第一蒸汽进管、第二蒸汽进管上分别设有第一截止阀、第二截止阀，低温工艺设备的出水口连接有第一回收管道。
蒸汽利用冷凝回收系统动力疏水装置

[发明专利]半导体工艺设备及薄膜沉积方法-CN202110413686.7在审
发明人：韩立仁;李冰 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-04-16 - 公布日： 2021-10-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体工艺设备及薄膜沉积方法，其中，半导体工艺设备包括工艺腔室、承载部件和冷却部件，承载部件可移动地设置在工艺腔室中，用于承载晶圆；冷却部件设置在工艺腔室中，并位于承载部件的下方，用于在承载部件移动至靠近冷却部件时本发明提供的半导体工艺设备及薄膜沉积方法，能够减少承载部件降温至满足工艺要求所需的时间，从而提高冷却效率，提升产能。
半导体工艺设备薄膜沉积方法

[实用新型]一种坚果除菌控制装置-CN201921253768.4有效
发明人：朱奕;胡厚志;秦浩 -专利权人：三只松鼠股份有限公司
申请日： 2019-08-05 - 公布日： 2020-05-26 - 主分类号： A23B9/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种坚果除菌控制装置，包括坚果除菌机以及坚果除菌机的供电回路，在坚果除菌机的供电回路中串联设置多个联锁控制开关，每个所述联锁控制开关分别对应连接一个坚果生产流程中工艺设备，所述联锁控制开关根据工艺设备的控制信号断开闭合坚果除菌机的供电回路本实用新型的优点在于：将坚果除菌机与生产工艺流程上下游的工艺设备联锁，使得当生产流程中的其它的工艺设备故障时，坚果除菌机能够及时联锁停机，提供联锁保护。
一种坚果控制装置

[发明专利]光照设备-CN201810874518.6在审
发明人：向昌明 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2018-08-03 - 公布日： 2018-12-25 - 主分类号： G02F1/1339 文献下载
摘要：本发明提供一种光照设备，该光照设备包括光源、遮光板、控制器以及回收装置，光源在光照设备配套的工艺设备运行时持续产生光能，遮光板在控制器的控制下调节光能输出以满足工艺设备所需要的光能，回收装置在工艺设备处于闲置状态等不需要光能时回收光能；即本发明提供的光照设备实现了光能回收，降低了光能等资源浪费。
光能光照设备工艺设备回收装置控制器遮光板光源闲置状态回收配套的运行时输出

[发明专利]一种改善烟丝结构的制丝工艺设备和烟丝加工方法-CN201810129280.4在审
发明人：段黎跃;邹泉;赵云川;马晓伟;夏琼凤;陈冉;杨光涛;柴俊红;乔晓辉;赵剑;李新;马丽;王夏婷;欧志能;冯振宇;黄秋婷;储睿;靳志富 -专利权人：红塔烟草(集团)有限责任公司
申请日： 2018-02-08 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： A24B7/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种改善烟丝结构的制丝工艺设备和烟丝加工方法，制丝工序包括：切丝→振槽抖散→筛分→梳理→断丝→汇总至后续加工，工艺设备包括依次设置的切丝机、抖散振槽、振动筛分分流器、长丝梳理器、在线直线断丝装置、烟丝输送带等，本工艺设备对成品烟丝中的长丝(烟丝长度＞3.35mm为长丝)和团状丝进行调整改善，使烟丝结构合理。本工艺设备精度高，振筛安全可靠，实现高效、低能耗、低噪音的工作，有效提高了卷烟的整体质量。
工艺设备烟丝结构长丝烟丝烟丝加工制丝工艺抖散振槽输送带成品烟丝断丝装置后续加工依次设置低能耗低噪音分流器切丝机梳理器断丝切丝团状振筛制丝卷烟梳理

[发明专利]半导体工艺设备中传输系统的控制方法和半导体工艺设备-CN202111566524.3在审
发明人：周明;王凯 -专利权人：西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： B25J11/00 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种半导体工艺设备中传输系统的控制方法和半导体工艺设备，应用于半导体装备技术领域，该方法包括：获取机械手当前时刻的位置坐标，以及各工位的干涉区域坐标，分别判断位置坐标是否与各工位的干涉区域坐标重叠，对于干涉区域坐标与位置坐标重叠的工位，向半导体工艺设备中的控制主机发送与该工位对应的互锁启动信号，禁止该工位的运动机构动作。当机械手故障时，无需停止与机械手相关的所有运动机构，可以避免降低半导体工艺设备的生产效率。
半导体工艺设备传输系统控制方法

[发明专利]一种半导体加工系统-CN201910743777.X有效
发明人：李强;李卫;安利壮 -专利权人：世源科技工程有限公司;中国电子工程设计院有限公司
申请日： 2019-08-13 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：该半导体加工系统，包括：多个半导体加工组，相邻的两个半导体加工组之间设置有操作通道，半导体加工组包括搬运装置，搬运装置运动轨道，以及两排工艺设备，工艺设备包括装载接口，其中：针对每个半导体加工组，两排工艺设备相对交错设置，且装载接口的朝向相反；搬运装置运动轨道设置于工艺设备上方，搬运装置可沿搬运装置运动轨道运动，并将搬运的电子器件在制品输送到对应的装载接口。
一种半导体加工系统

[发明专利]纵梁生产线的控制方法、中控系统、纵梁生产线控制系统-CN202310911813.5在审
发明人：高显进;赵旭;王晓丽;杜渐;赵克强;卜令明;孙理;陈磊;王擎林 -专利权人：一汽解放汽车有限公司
申请日： 2023-07-24 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本申请涉及一种纵梁生产线的控制方法、中控系统、纵梁生产线控制系统、计算机设备、存储介质以及计算机程序产品。该方法包括：获取产品生产计划信息，并将产品生产计划信息下发至对应的工艺设备；获取各工艺设备的工作状态和待加工产品的坐标信息，生成物料调度指令，以指示调度区域内的机械化行吊将待加工产品移动到目标工艺设备；获取每一工艺设备按照对应的产品生产计划信息对待加工产品进行加工处理过程中的生产数据；生产数据包括实时加工产品数据、设备运行数据和产品完工数据；根据生产数据获取待加工产品的产品完成信息和工艺设备的运行状态信息
生产线控制方法系统控制系统

[发明专利]顶盖装置及工艺设备-CN201410174353.3有效
发明人：赵海洋 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2014-04-28 - 公布日： 2018-01-09 - 主分类号： C30B25/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种顶盖装置及工艺设备，其顶盖装置包括喷水冷却部和上盖，喷水冷却部和上盖为分离式结构，喷水冷却部随上盖一起上下运动。其工艺设备包含石英腔和上述顶盖装置，顶盖装置安装在石英腔的上方。本发明顶盖装置及工艺设备，结构设计简单合理，保证石英腔不易损坏。
顶盖装置工艺设备

[实用新型]一种新型工艺设备冷冻水供应装置-CN201220533887.7有效
发明人：刘峰;詹新力;雷建华;袁正明 -专利权人：中国瑞林工程技术有限公司
申请日： 2012-10-18 - 公布日： 2013-04-10 - 主分类号： F24F5/00 文献下载
摘要：一种新型工艺设备冷冻水供应装置，其特征在于：包括抽水井、回灌井、变频水泵、水处理装置、空调冷水机组、电动三通调节阀、温度传感器、压差变送器、PID控制器、水流量计、电动阀，地下水由抽水井通过变频水泵输送到水处理装置进行水处理，然后通过空调冷水机组或者电动三通调节阀为工艺设备提供一定温度的冷冻水，带走工艺设备散热量，变频水泵通过压差变送器信号和PID控制器调节运行频率以控制工艺设备冷冻水流量。本实用新型充分利用了地下水资源，依靠地下水带走工艺设备的散热量，克服了传统的冷冻站制备工艺冷冻水方式耗电量大的缺点，尽量降低运行成本，达到节能降耗的目的。
一种新型工艺设备冷冻供应装置

[发明专利]金属喷雾器气体供应和再生-CN200380109229.9无效
发明人： S·E·杰恩斯;M·克莱斯;J·范登塞普 -专利权人：普莱克斯技术有限公司
申请日： 2003-11-21 - 公布日： 2006-03-01 - 主分类号： B01D53/02 文献下载
摘要：本发明使用氦气和氦气回收净化设备去除来自封闭工艺设备的杂质，封闭工艺设备如熔融室和雾化塔。高于大气压的氩气/氦气交换可以产生雾化所需的氩气气氛。
金属喷雾器气体应和再生

[发明专利]半导体工艺设备-CN202011156384.8在审
发明人：宋瑞智 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-10-26 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种半导体工艺设备。该半导体工艺设备包括：工艺腔室、负载腔室及传输腔室；工艺腔室内设置有基座及聚焦环，聚焦环设置于基座上，基座用于承载待加工件；负载腔室内设置有支撑组件，支撑组件用于承载待加工件及聚焦环；传输腔室与工艺腔室及负载腔室均连通，传输腔室内设置有机械手，机械手用于在负载腔室及工艺腔室之间传送待加工件或聚焦环。本申请实施例实现了无需开启工艺腔室的上盖即可实现对聚焦环进行更换，从而大幅缩短了工艺腔室的维护时间，并且由于无需对工艺腔室进行开盖，还节省了半导体工艺设备的复机时间，从而大幅提高了半导体工艺设备的产能。
半导体工艺设备

[发明专利]半导体工艺设备的排气装置及半导体工艺设备-CN202010871532.8有效
发明人：董金卫 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-08-26 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体工艺设备的排气装置及半导体工艺设备，排气装置中排气接管用于与工艺腔室的排气口连接引流出工艺腔室内气体；排气管路与排气接管连接用于排出排气接管中气体，排气管路的内部通道与排气接管的内部通道共同形成排出气体的排气通道本发明提供的半导体工艺设备的排气装置及半导体工艺设备能够提高环形密封圈的使用寿命及使用可靠性，从而提高半导体工艺设备的安全性及半导体工艺的稳定性。
半导体工艺设备排气装置

[实用新型]一种配电系统及洁净厂房-CN201921277306.6有效
发明人：张秀芬;乔正 -专利权人：世源科技工程有限公司;中国电子工程设计院有限公司
申请日： 2019-08-08 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： H02J3/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种配电系统及洁净厂房，该配电系统应用于洁净厂房，洁净厂房内设置有工艺设备，配电系统用于给工艺设备供电。该配电系统包括设置在洁净厂房外的配电所、以及用于给多个工艺分区内的工艺设备供电的至少一根第一电缆。配电系统还包括设置在多个工艺分区内的至少一根配电母线，至少一根配电母线与至少一根第一电缆一一对应，每根配电母线电连接对应的第一电缆及该根配电母线所在的工艺分区内的工艺设备。以提高配电系统的稳定性，提高对洁净厂房内工艺设备的供电的可靠性及灵活性。
一种配电系统洁净厂房