专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种尺寸高纯碳化硅单晶单晶衬底及其制备方法-CN201811204726.1有效
  • 高超;刘家朋;刘鹏飞 - 山东天岳先进科技股份有限公司
  • 2018-10-16 - 2021-11-26 - C30B29/36
  • 本申请公开了一种尺寸高纯碳化硅单晶单晶衬底及其制备方法,属于碳化硅单晶单晶衬底领域。该尺寸高纯碳化硅单晶的制备方法包括下述步骤:将装填碳化硅粉料的坩埚安装籽晶单元后,坩埚置于密闭保温结构的腔内,移至晶体生长装置内;后经除杂阶段、长晶阶段,制得高纯半绝缘碳化硅单晶。将高纯半绝缘碳化硅单晶经切割、研磨和抛光制得半绝缘碳化硅单晶衬底。该尺寸高纯碳化硅单晶单晶衬底的制备方法中使用不同壁厚的坩埚及不同厚度的保温结构制造出轴向温度梯度,同时改变坩埚上侧的保温结构,从而制造出径向温度分布一致的热场,可制得4‑12寸的尺寸碳化硅单晶单晶衬底,且制备的尺寸高纯碳化硅单晶单晶衬底的电阻率均匀、内应力小。
  • 一种尺寸高纯碳化硅衬底及其制备方法
  • [发明专利]基于掺硼过渡层的CVD同质外延金刚石单晶的分离方法-CN202010427973.9有效
  • 王兵;熊鹰 - 西南科技大学
  • 2020-05-20 - 2022-08-23 - C30B29/04
  • 本发明提供一种基于掺硼过渡层的CVD同质外延金刚石单晶的分离方法,属于尺寸单晶金刚石制备技术领域。包括含掺硼过渡层的CVD同质外延金刚石单晶的制备及线切割分离:在金刚石单晶衬底表面先通过化学气相沉积外延生长一层掺硼金刚石单晶膜作为中间过渡层,再在其上外延生长大尺寸金刚石单晶,然后通过电火花线切割除去含掺硼过渡层,实现CVD同质外延金刚石单晶与衬底的分离。本发明在金刚石单晶衬底表面先沉积一层掺硼金刚石膜,再在其上外延生长大尺寸金刚石单晶,使产品局部具有导电性,在外延尺寸金刚石单晶与衬底的电火花线切割加工中,掺硼过渡层既是放电区,也是分离消耗区,实现线切割技术对CVD同质外延金刚石单晶的加工分离。
  • 基于过渡cvd同质外延金刚石大单晶分离方法
  • [发明专利]一种尺寸单晶钙钛矿薄膜的制备方法-CN201610369755.8有效
  • 张甲;白学林;周丽杰;王振龙;石琳 - 哈尔滨工业大学
  • 2016-05-30 - 2018-03-30 - H01L51/48
  • 一种尺寸单晶钙钛矿薄膜的制备方法,本发明涉及尺寸单晶薄膜的制备方法,特别是涉及一种尺寸单晶钙钛矿薄膜的制备方法。本发明的目的是为了解决现有技术制备的钙钛矿薄膜的单晶尺寸小和结晶质量差导致其电学性能较低的问题。本发明利用有机前驱物和无机前驱物,加热蒸发进行气相反应,在衬底上制备出尺寸单晶钙钛矿薄膜。该制备方法能稳定的获得尺寸高结晶质量的单晶钙钛矿薄膜,同时可对薄膜的尺寸、厚度、成分等物性进行精确的调控;本发明所制备的尺寸单晶钙钛矿薄膜可用于柔性太阳能电池、激光器件、LED器件等方面。
  • 一种尺寸单晶钙钛矿薄膜制备方法
  • [实用新型]一种尺寸类单晶籽晶-CN201220327258.9有效
  • 孙勇 - 无锡中硅科技有限公司
  • 2012-07-06 - 2013-03-20 - C30B11/14
  • 本实用新型公布了一种尺寸类单晶籽晶,其特征在于:其长度为700-1200mm,厚度为5-30mm,宽度为50-400mm。一种尺寸类单晶籽晶的生产工艺,包括下述步骤:(1)将大直径单晶硅棒去头尾,切割成设定长度尺寸;(2)将去头尾的单晶硅棒纵向切割成设定厚度的薄片;(3)将切割好的薄片去边皮,得到最终成品。本实用新型尺寸类单晶籽晶面积,拼接数量少,更利于类单晶的铸锭。尺寸类单晶籽晶工艺可以在同等长度和直径大小的单晶硅棒中做出更多的籽晶产品,因其最大范围的使用了整个单晶硅棒的圆面积使得利用率大大提高,也使生产成本得到了降低。
  • 一种尺寸类单晶籽晶
  • [发明专利]尺寸单晶金刚石及其制备方法-CN202111613038.2在审
  • 缪勇;马懿 - 苏州贝莱克晶钻科技有限公司
  • 2021-12-27 - 2022-03-25 - C30B29/04
  • 本发明公开了一种尺寸单晶金刚石及其制备方法。所述制备方法包括:沿第一金刚石单晶片的厚度方向对其周缘部进行切割,使形成的切割面垂直于第一金刚石单晶片的上下表面,之后依次进行研磨、清洗及等离子体刻蚀处理,再以第一金刚石单晶片作为生长基底生长金刚石单晶层;之后从金刚石单晶层中分离获得径向尺寸大于第一金刚石单晶片的第二金刚石单晶片,然后将第二金刚石单晶片作为新的生长基底,并循环以上操作直至获得所需的尺寸单晶金刚石。本发明有效解决了由小尺寸单晶金刚石不能直接外延生长为尺寸单晶金刚石以及外延过程中易产生多晶的问题;所制得的制备的到的尺寸单晶金刚石晶体均匀度高,整体性强。
  • 尺寸金刚石及其制备方法
  • [发明专利]一种尺寸低应力单晶氮化物厚膜结构及其制备方法-CN202011495161.4在审
  • 李国强 - 广州市艾佛光通科技有限公司
  • 2020-12-17 - 2021-06-18 - H03H9/17
  • 本发明公开了一种尺寸低应力单晶氮化物厚膜结构,包括衬底,及生长在所述衬底上的单晶氮化物厚膜;所述衬底上刻蚀有沟道,所述沟道将所述衬底的表面分成多个不连续的区域;所述沟道的深度大于所述单晶氮化物厚膜的厚度本发明在沟道处理后的衬底上生长的单晶氮化物膜具有尺寸、膜厚度,同时应力低、不卷曲、无裂纹的特点。本发明还公开了一种上述尺寸低应力单晶氮化物厚膜结构的制备方法,对尺寸衬底进行了沟道图形化,通过刻蚀沟道将衬底表面分割成多个独立的不连续的区域,再进行氮化物的生长,降低了尺寸单晶氮化物在外延生长过程中的应力积累,解决了目前尺寸单晶氮化物厚膜易卷曲、裂纹的问题。
  • 一种尺寸应力氮化物膜结构及其制备方法
  • [发明专利]一种适用于单晶小硅块的切割方法-CN202110175449.1在审
  • 王康 - 常州时创能源股份有限公司
  • 2021-02-09 - 2021-05-28 - B28D5/04
  • 本发明公开了一种适用于单晶小硅块的切割方法,先将至少两个单晶小硅块拼接成单晶硅块,再将单晶硅块粘贴在工件板上进行切割得到硅片,其特征在于:所述单晶硅块和所述工件板之间设置有胶带。本发明的单晶小硅块的切割方法,利用有机硅压敏胶带将拼接后的单晶小硅块之间的缝隙同工件板之间隔离开,防止粘棒胶渗入拼接后的单晶小硅块的缝隙中,切割完成后厚片与厚片之间不存在残胶粘连。本发明的单晶小硅块的切割方法,提高了厚片回收利用率,减少了硅料损失。
  • 一种适用于单晶小硅块切割方法
  • [发明专利]一种尺寸HPHT金刚石单晶片同质外延生长方法-CN202210747489.3有效
  • 陈明;张国凯;曹通;薛晨阳;朱培;郭鋆;郭崇 - 中南钻石有限公司
  • 2022-06-29 - 2023-08-22 - C30B29/04
  • 本发明属于尺寸单晶金刚石制造工艺技术领域,具体涉及一种尺寸HPHT金刚石单晶片同质外延生长方法。本发明的方法以尺寸HPHT单晶片作为晶种,采用CVD法同质外延生长,通过控制生长初期的等离子刻蚀条件和CH4的添加方式,并合理设置CH4的添加浓度和保持时间,大幅度降低了HPHT单晶片表面因缺陷密度高易形成多晶杂质的概率,实现生长表面状态的顺利过渡,保证了结晶质量和生长时间。该方法直接解决尺寸HPHT单晶片生长难度的难题,而且经激光切割和抛光处理后,原HPHT单晶片和分离的CVD单晶片均可用于再次生长,重复利用率高,也证明了制备的CVD单晶片质量良好稳定,具有较高的发展前景和应用价值
  • 一种尺寸hpht金刚石晶片同质外延生长方法

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