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- [发明专利]一种碳化硅籽晶粘结方法-CN202311121092.4在审
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杨弥珺;浩瀚;赵新田;朱凤;陈晶莹;章宣
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宁波合盛新材料有限公司
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2023-09-01
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2023-10-10
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C30B33/06
- 本发明公开了一种碳化硅籽晶粘结方法，包括步骤：S100、提供待粘接的籽晶，籽晶的硅面设有多个凹坑，凹坑的直径为10μm~200μm，凹坑的深度为3μm~20μm；S200、在石墨盖的粘接面浸涂胶水，在石墨纸的两面浸涂胶水，在籽晶的硅面浸涂胶水；S300、将石墨纸的两面分别与石墨盖的粘接面和籽晶的硅面粘接得到粘接件，并将粘接件进行热压烧结，得到预制件；S400、对预制件进行高温碳化处理，使得胶水碳化，并在石墨纸与籽晶的硅面之间形成Si‑C键。使用本发明提供的碳化硅籽晶粘结方法得以通过较为简便的上胶方式使得籽晶、石墨纸和石墨盖达到良好的粘结效果，从而获得较高品质碳化硅单晶。
- 一种碳化硅籽晶粘结方法
- [发明专利]一种硅化铈的合成方法-CN202210847933.9有效
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章宣;罗烨栋;浩瀚;赵新田;杨弥珺;陈晶莹
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宁波合盛新材料有限公司
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2022-07-19
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2023-10-10
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C01B33/06
- 本发明属于物质合成技术领域，提供了一种硅化铈的合成方法。本发明的合成方法，将硅和含铈物料混合，进行压制成型，得到块体物料；在保护气氛下，将所述块体物料进行焙烧，得到所述硅化铈；所述含铈物料为铈粉或氧化铈；氧化铈时焙烧的压力为0～30mbar；铈粉时焙烧的压力为300～950mbar。本发明提供的制备方法不需要使用有毒的汞，也未引入氟和氯元素，以含铈物料(铈粉或氧化铈)和硅为原料进行制备，工艺简单、安全环保；同时，焙烧压力小，安全隐患低。实施例的数据表明，本发明提供的制备方法得到的硅化铈的纯度为97～98.6％，纯度高；所得硅化铈在第三代半导体碳化硅长晶中使用，达到了稳定晶型的目的。
- 一种硅化铈合成方法
- [实用新型]一种石墨件表面附着物处理装置-CN202320166630.0有效
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饶威;浩瀚;赵新田
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宁波合盛新材料有限公司
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2023-01-16
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2023-06-30
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B08B1/00
- 本申请公开了一种石墨件表面附着物处理装置，包括第一处理组件、第二处理组件、第三处理组件以及第四处理组件；第一处理组件、第二处理组件、第三处理组件以及第四处理组件依次设置；第一处理组件用于刮除石墨件表面的附着物，第二处理组件用于吹扫石墨件表面残余的颗粒物；重复通过第一处理组件以及第二处理组件处理至少一次后，第三处理组件用于检测石墨件表面的颗粒物是否清除干净，没有清除干净的石墨件返回第二处理组件进行处理，直至石墨件表面的颗粒物清除干净后，第四处理组件用于使石墨件保持在惰性气体氛围中。该处理装置操作简单，使用方便，能够高效地处理石墨件表面的附着物，从而有利于石墨件用于的碳化硅外延机台重新复机成功。
- 一种石墨表面附着物处理装置
- [发明专利]一种碳化硅单晶的制备方法-CN202211396071.9在审
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赵新田;罗烨栋;浩瀚;杨弥珺;章宣;陈晶莹
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宁波合盛新材料有限公司
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2022-11-09
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2023-06-23
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C30B29/36
- 本发明提供了一种碳化硅单晶的制备方法，属于半导体材料制备技术领域。本发明将长晶用碳化硅原料置于装料石墨坩埚中，然后装配第一石墨支撑环，将含涂层籽晶置于所述第一石墨支撑环上，且使所述含涂层籽晶的硅面朝上；然后在所述第一石墨支撑环上装配第二石墨支撑环，将所述多孔石墨板置于所述第二支撑环上，且使多孔石墨板与所述含涂层籽晶之间预留有空间；在所述多孔石墨板的表面铺设碳化硅粉料层，之后盖上石墨盖，加热进行长晶处理，得到碳化硅单晶。本发明在籽晶背部设置碳化涂层，能够有效的防止籽晶背部硅蒸汽的挥发，进而防止籽晶背部腐蚀；同时通过籽晶支撑结构的优化设计，能够进一步防止籽晶背部腐蚀，保证最终得到高品质碳化硅单晶。
- 一种碳化硅制备方法
- [发明专利]碳化硅晶片的多线切割方法-CN202211697888.X有效
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师杰;赵新田;廖青春;颜海雷;周长青
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宁波合盛新材料有限公司
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2022-12-28
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2023-06-20
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B28D5/04
- 本申请公开了一种碳化硅晶片的多线切割方法，碳化硅晶棒无需粘接为较长的晶棒进行切割，这可以避免多个碳化硅晶棒粘接时产生的较大误差，能够保证切割后晶片具有较好的晶向参数，此外，减少了晶棒的拼接缝隙，也可以减少钢线往复切割时，张力传递在线网内发生弛豫的现象，有利于改善切割后晶片的面型；在单次切割过程中，无需将钢线布满整个罗拉，因此未处在切割区域的线槽不会受到磨损，可以在下一次切割时使用，如此极大地提高了罗拉的使用率，减少了罗拉的浪费，有利于降低碳化硅晶片的制造成本；由于一套罗拉可以进行多次切割，因此不需要每次切割前都进行更换，有利于提高加工效率，减少人员工作量。
- 碳化硅晶片切割方法
- [实用新型]一种晶体用工装-CN202320172499.9有效
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卢超;罗烨栋;浩瀚;赵新田;周长青;师杰
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宁波合盛新材料有限公司
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2023-01-13
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2023-06-02
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H01L21/687
- 本申请公开了一种晶体用工装，所述工装适于放置在定向仪内，且所述工装包括基座和至少一个支架，所述基座上设有用于放置晶体的晶托，所述支架上适于安装辅助固定结构，所述辅助固定结构适于实现对于所述晶体的限位，并适于配合所述定向仪调节所述晶体和所述晶托之间的位置关系。本申请可用辅助固定结构来实现对于晶体的限位，使得机械化标准代替人工经验，从而减少对人的依赖，更为标准化，也可有效降低工作人员的劳动强度，并且将工装放入定向仪内，在粘接过程中，工作人员可根据定向仪对辅助固定结构进行调节，从而实现粘胶过程中对于角度偏差的调整，并由此可提高晶体与晶托之间的位置精度。
- 一种晶体用工
- [实用新型]一种自动缠制装置-CN202320163897.4有效
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贺秀山;浩瀚;赵新田;杨弥珺
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宁波合盛新材料有限公司
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2023-01-13
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2023-05-30
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B65H18/10
- 本申请公开了一种自动缠制装置，包括工作台、缠绕组件、转动组件、升降组件以及卷绕有保温毡的收纳架；收纳架可转动地设置于工作台上方；缠绕组件可拆卸地且可转动地设置于升降组件，且缠绕组件用于固定保温毡的起始端；升降组件设置于工作台上方，且升降组件用于驱动缠绕组件上下运动；转动组件可转动地设置于工作台上方，转动组件用于迫使保温毡与缠绕组件接触，从而通过摩擦力迫使保温毡卷绕于缠绕组件。通过该自动缠制装置能实现自动缠制，易于提高热场缠制的受力均匀性以及密实缠绕的松紧度，保障热场在高温度时需要的轴向、径向生长温度的均匀性与重复性；这种自动缠制的方式的自动化程度更高，能够避免人员长期接触，安全性更高。
- 一种自动装置
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