专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]弧离子镀膜装置-CN202210517313.9在审
  • 王君;闫超颖;依君;梁惠朋 - 沈阳爱科斯科技有限公司
  • 2022-05-12 - 2022-07-08 - C23C14/32
  • 本申请涉及真空镀膜技术领域,尤其是涉及一种弧离子镀膜装置。该弧离子镀膜装置包括镀膜模组,镀膜模组包括真空室、镀膜弧源和刻蚀弧源,镀膜弧源和刻蚀弧源均与真空室相连接,真空室的内部用于通入反应气体。该弧离子镀膜装置采用刻蚀弧源和阳极组件组成的刻蚀组件对工件表面进行刻蚀处理,再通过镀膜弧源对工件进行沉积镀膜,能够提高工件外表面与膜层之间结合力,使得工件表面获得致密、高硬度、高耐磨的高性能功能膜层,
  • 离子镀膜装置

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