专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]转换的均匀控制-CN200810003145.1无效
  • R·A·戈特肖;R·J·斯特格尔 - 兰姆研究有限公司
  • 2001-06-08 - 2008-08-13 - H01J37/00
  • 一种用来在加工室内部分配分量的分量供给机构。此分量被用来对加工室中的工件进行加工。此分量供给机构包括多个用来将分量输出到加工室的所希望区域的分量输出。此分量供给机构还包括耦合到多个分量输出的空间分配开关。此空间分配开关被设置成将分量引导到多个分量输出中的至少一个。此分量供给机构还包括耦合到空间分配开关的单一分量源。此单一分量源被设置成将分量供应到空间分配开关。
  • 转换均匀控制
  • [发明专利]掺配均匀控制方法-CN202110796358.X有效
  • 付永民;靳亚伟;范磊;马媛媛;张根勤;孙祎;徐卫东;王小明;侯俊峰;耿娜 - 河南中烟工业有限责任公司
  • 2021-07-14 - 2022-12-27 - A24B3/08
  • 本发明公开了一种掺配均匀控制方法,本发明的设计构思在于,针对现有的掺配系统掺配从秤瞬时流量波动大、瞬时流量精度较差的问题,将掺配系统的掺配从秤计量方式基于掺配主秤的运行状态分为三个独立阶段进行区别设置,利用瞬时精度误差和累计精度误差进行控制,具体是增加了短时误差控制和累计误差补偿,以此提高瞬时掺配比例的控制精度,有效改善了掺配均匀。本发明通过对掺配系统在料头、料中和料尾的分阶段精准控制,在保障掺配均匀的同时,减少了系统瞬时精度的波动,从而降低了整个系统的误差,避免了批间不均现象。
  • 均匀控制方法
  • [发明专利]具有均匀控制的蚀刻-CN200580038231.0无效
  • S·卡瓦古基;K·塔克施塔 - 兰姆研究有限公司
  • 2005-08-17 - 2007-10-17 - H01L21/311
  • 提供了一种在晶片上形成半导体器件的方法。蚀刻层形成在晶片上面。光刻胶掩模形成在蚀刻层上面。仅环绕晶片外边缘的光刻胶掩模被除去,以暴露环绕晶片外边缘的蚀刻层。包括含碳和氢物种的沉积气体被提供。从沉积气体形成等离子体。聚合物层被沉积在环绕晶片外边缘的暴露蚀刻层上,其中聚合物由从沉积气体形成的等离子体形成。蚀刻层蚀刻通过光刻胶掩模,同时消耗沉积在环绕晶片外边缘的暴露蚀刻层上的光刻胶掩模和聚合物。
  • 具有均匀控制蚀刻
  • [发明专利]镀层合金化均匀控制方法-CN200710045513.4无效
  • 李俊;张理扬;林秀贞 - 宝山钢铁股份有限公司
  • 2007-08-31 - 2009-03-04 - C23C2/40
  • 本发明提供一种控制镀层合金化均匀的方法,该方法通过在气刀与顶辊之间设置至少一套带钢稳定装置,并调整气刀参数,以提高带钢镀层厚度的均匀;使带钢温度均匀地进入合金化加热炉,而后进行均匀均热和/或均匀冷却,以提高镀层合金化的均匀。本发明通过提高带钢在气刀处的稳定性确保带钢表面镀层厚度均匀,同时提高合金化加热前、合金化均热过程和合金化冷却过程中带钢温度沿带钢宽度方面的均匀,以实现带钢镀层均匀合金化。通过使用本发明技术制造出的合金化热镀锌钢板,可以确保镀层合金化的均匀,特别适合应用于汽车内、外板和家电外板。
  • 镀层合金均匀控制方法
  • [发明专利]柔性磁控溅射镀膜横向均匀控制装置-CN201710402880.9在审
  • 武良辰 - 南京沪友冶金机械制造有限公司
  • 2017-06-01 - 2017-08-01 - C23C14/35
  • 本技术公开了一种柔性磁控溅射镀膜横向均匀控制装置,喷嘴排上设有气体喷嘴,磁控溅射程度监测探头有多个,用于检测气体喷嘴的溅射程度,磁控溅射程度监测探头通过屏蔽电信号输出线与磁控溅射程度分析比较装置输入端相连接,磁控溅射程度分析比较装置的输出端通过屏蔽电信号输出线与阀门开度控制装置相连接,阀门开度控制装置用于控制电动阀门的开闭度,每个气体喷嘴上均单独设有电动阀门,气体气源通过不锈钢管依次与气体压力稳压装置、电动阀门本技术装置能控制横向各点溅射程度一致,从而控制对应点气体分布密度,达到控制横向相应各点沉积率的目的,使得横向各点膜性能指标均匀一致。
  • 柔性磁控溅射镀膜横向均匀控制装置

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