专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]器件设计尺寸的提取方法-CN201410217449.3有效
  • 刘竹 - 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司
  • 2014-05-21 - 2019-10-15 - G03F1/44
  • 本发明提供一种器件设计尺寸的提取方法,该方法包括将器件中的每层平面图形和CD Bar放置在平面图形对应的掩膜版上;采用多种曝光条件,分别对每个掩膜版上的平面图形和CD Bar进行曝光处理,使得每个掩膜版上的不同曝光条件下的平面图形和CD Bar转移到掩膜版对应的样品晶片上;对于每个样品晶片,量取样品晶片上每个曝光条件下的CD Bar的数值,并获取样品晶片上的最佳曝光条件;其中,最佳曝光条件下的CD Bar的数值与CD Bar的实际设计尺寸之差均小于除最佳曝光条件之外的其他曝光条件下的CD Bar的数值与CD Bar的实际设计尺寸之差;分别对每个样品晶片上最佳曝光条件下的平面图形进行测量,获取器件中每层平面图形的设计尺寸。
  • 器件设计尺寸提取方法

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