专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]研磨装置-CN200880024126.5有效
  • 金马利文;草宏明;藤井将喜 - 株式会社荏原制作所
  • 2008-06-24 - 2010-03-31 - H01L21/304
  • 本发明具备:载置台(20),用于保持衬底W;载置台旋转机构(40),用于使载置台旋转;研磨头(42),用于研磨保持在载置台上的衬底的周缘部;控制部(70),控制载置台(20)、载置台旋转机构(40)及研磨头(42)的动作;图像取得部(61),通过与衬底的周缘部相对配置的至少1个末端摄像部(60)取得该衬底的周缘部的图像图像处理部(62),处理来自图像取得部的图像;及液体喷射部(51),向衬底的周缘部喷射具有透光性的液体,在衬底的周缘部和末端摄像部之间充满液体。
  • 研磨装置
  • [发明专利]周缘去除装置和周缘去除方法-CN202310289536.9在审
  • 森弘明;田之上隼斗;川口义广 - 东京毅力科创株式会社
  • 2019-12-09 - 2023-06-06 - B23K26/53
  • 一种周缘去除装置和周缘去除方法。对基板进行处理,所述基板处理装置具有:基板保持部,其保持将第一基板的表面与第二基板的表面接合而成的重合基板中的所述第二基板;周缘改性部,其针对被所述基板保持部保持的所述第一基板的内部,沿着作为去除对象的周缘部与中央部之间的边界照射周缘用激光来形成周缘改性层;以及内部面改性部,在通过所述周缘改性部形成了所述周缘改性层后,所述内部面改性部针对被所述基板保持部保持的所述第一基板的内部,沿着面方向照射内部面用激光来形成内部面改性层。
  • 周缘去除装置方法
  • [发明专利]周缘处理装置和周缘处理方法-CN201810330395.X有效
  • 桑原丈二;楠原充也 - 株式会社斯库林集团
  • 2018-04-13 - 2023-03-28 - H01L21/027
  • 本发明涉及周缘处理装置和周缘处理方法。检测用于确定基板相对于基准面的倾斜的倾斜确定信息。基于检测出的倾斜确定信息和第一角度,在与基准面平行的方向上对由旋转保持部所保持的基板的保持位置进行修正,以使由周缘区域处理部处理的基板的部分和基板的中心之间的距离维持恒定。该状态下,由旋转保持部旋转基板,且由周缘区域处理部对基板的周缘区域进行具有相对于基准面倾斜第一角度的指向性的处理。
  • 周缘处理装置方法
  • [发明专利]电子设备以及透光性盖基板-CN201480069170.3在审
  • 宇都隆司;光田国文 - 京瓷株式会社
  • 2014-12-01 - 2016-08-17 - G09F9/00
  • 本发明提供一种电子设备(100),具备:图像显示设备(52),其具有图像显示面;外壳(2),其被配置于所述图像显示设备的周围的至少一部分;透光性盖基板(1),其具有与所述图像显示面对置的一个主面(1A),至少所述一个主面的周缘区域(11A)与所述外壳接合;和接合部件(3),其将所述一个主面的周缘区域与所述外壳接合,并且杨氏模量比所述透光性盖基板小,所述透光性盖基板具有随着接近于周缘区域最外周部(1E)而厚度逐渐减小的逐渐减小区域(1α),所述周缘区域的至少一部分包含于所述逐渐减小区域。
  • 电子设备以及透光性盖基板
  • [发明专利]图像显示装置及电子设备-CN200810091240.1有效
  • 高柳雅哉;大西益生 - 富士通株式会社
  • 2008-04-23 - 2008-10-29 - G09F9/00
  • 本发明提供一种图像显示装置及电子设备。所述图像显示装置具有:显示面板,该显示面板具有显示屏,以在前表面上显示图像;壳体,该壳体容纳所述显示面板,并且具有围绕所述显示面板的周缘并离开所述周缘的直立壁部;以及盖,该盖覆盖所述显示面板的周缘与所述壳体的所述直立壁部之间的部分所述装置还具有:框架,该框架具有放置所述显示面板的背部周缘的放置部,并具有与所述显示面板的侧面接触的隔离部,该隔离部分隔所述显示面板和所述壳体的所述直立壁部;以及配线,所述配线在所述隔离部和所述直立壁部之间通过
  • 图像显示装置电子设备
  • [发明专利]周缘曝光装置、涂敷显影装置及周缘曝光方法-CN200610080318.0有效
  • 岩下泰治;下村一郎 - 东京毅力科创株式会社
  • 2006-05-09 - 2006-11-15 - G03F7/20
  • 本发明中包括:第1光路形成部件和第2光路形成部件,各自的入口侧配置在来自光源的光电子束的通路内;第1放置台,放置基板,绕垂直轴自由旋转,并且基板的周缘部位于来自第1光路形成部件的出口侧的光电子束照射区域;第2放置台,基板的周缘部位于来自第2光路形成部件的出口侧的光电子束照射区域;遮光机构,用于遮挡来自第1和第2光路形成部件的光的照射。由于可例如可采用共通的光源对第1放置台和第2放置台上的基板进行周缘曝光,所以具有较强的处理能力,并且能够抑制装置的大型化。
  • 周缘曝光装置显影方法
  • [发明专利]布线图形检查装置及方法-CN200410090559.4无效
  • 笹部高史 - 优志旺电机株式会社
  • 2004-11-08 - 2005-05-11 - G01N21/956
  • 在TAB带(10)的检查对象图形(10a)上,使摄像装置(1c)、透射照明装置(1a)、落射照明装置(1b)进行扫描,而获得透射照明图像和落射照明图像,此外,在预先设定的每个检查区域中,将前述透射照明图像及落射照明图像与作为检查标准的标准图形进行比较,以判定布线图形是否合格,在器件孔的周缘区域或将树脂薄膜部分剥离的缝隙部的周缘区域等、横跨前述透光性基板的周缘而形成布线的区域中,基于前述落射照明图像,检查布线图形是否合格,在其以外的区域基于透射照明图像进行检查
  • 布线图形检查装置方法
  • [发明专利]基板定位方法、基板位置检测方法、基板回收方法-CN200780020791.2有效
  • 新藤健弘 - 东京毅力科创株式会社
  • 2007-08-20 - 2009-06-17 - H01L21/68
  • 即使在晶圆位置偏移大到无法检测晶圆周缘部的情况下,也不损坏晶圆而对晶圆进行定位等。根据来自沿着晶圆周缘部形状配设的多个摄像单元的输出图像来分别检测成为对象的晶圆的周缘部(步骤S210),根据能够检测出晶圆周缘部的摄像单元的个数来进行晶圆的位置偏移校正(步骤S220)、倾角校正(步骤S230在无法由所有摄像单元检测出晶圆周缘部的情况下,使晶圆向根据来自各摄像单元的输出图像的组合而得到的位置调整方向移动即对晶圆位置进行调整(步骤S240)。
  • 定位方法位置检测回收

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