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[发明专利]基板处理装置、对位装置、基板处理方法以及对位方法-CN201810851969.8有效
发明人： 桑原丈二 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2018-07-30 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供一种对基板进行处理的基板处理装置、相对于固定构件对可动构件进行对位的对位装置、基板处理方法以及对位方法。在基板处理装置的向处理单元搬送基板的手部上设置有光学传感器，在与处理单元内的旋转卡盘具有固定的位置关系的固定构件上设置有光纤。当手部相对于处理单元的旋转卡盘处于预先设定的位置关系时，从光学传感器的第一光出射部出射的光由光纤的第二受光部接收并引导至光纤的第二光出射部，从第二光出射部出射的光由第一受光部接收。从光学传感器输出与第一受光部的受光量对应的受光信号。
处理装置对位方法以及

[发明专利]周缘处理装置和周缘处理方法-CN201810330395.X有效
发明人： 桑原丈二;楠原充也 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2018-04-13 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明涉及周缘处理装置和周缘处理方法。检测用于确定基板相对于基准面的倾斜的倾斜确定信息。基于检测出的倾斜确定信息和第一角度，在与基准面平行的方向上对由旋转保持部所保持的基板的保持位置进行修正，以使由周缘区域处理部处理的基板的部分和基板的中心之间的距离维持恒定。该状态下，由旋转保持部旋转基板，且由周缘区域处理部对基板的周缘区域进行具有相对于基准面倾斜第一角度的指向性的处理。
周缘处理装置方法

[发明专利]基板搬运装置、基板处理装置以及基板搬运方法-CN201810094828.6有效
发明人： 桑原丈二 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2018-01-31 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及一种基板搬运装置、基板处理装置以及基板搬运方法，部分位置计算部基于第一检测器至第五检测器的检测信号，计算基板的第一部分至第五部分在手部上的位置。假想圆计算部根据第一部分至第四部分的位置分别计算4个假想圆，计算各假想圆的中心位置。基板位置判断部计算多个中心位置之间的多个偏移量。在多个偏移量均为阈值以下的情况下，基板位置判断部基于4个假想圆中的某假想圆或者全部假想圆，判断基板在手部上的位置。在多个偏移量中的至少一个超过阈值的情况下，基板位置判断部选择4个假想圆中的经过第五部分的位置的假想圆，基于所选择的假想圆，判断基板在手部上的位置。基于判断结果，控制基板的搬运动作。
搬运装置处理以及方法

[发明专利]位置判定装置、衬底搬送装置、位置判定方法及衬底搬送方法-CN202111024947.2在审
发明人： 桑原丈二 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2021-09-02 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种位置判定装置、衬底搬送装置、位置判定方法及衬底搬送方法。衬底搬送装置具备保持衬底的机械手、使机械手在水平面内分别移动的支撑部件、旋转部件及移动部件。此外，衬底搬送装置具备：检测器，具有检测区域；及搬送控制部，在搬送衬底时控制支撑部件的移动、旋转部件的旋转及移动部件的移动。搬送控制部以由机械手保持的衬底的外周端部中的多个部分依序位于检测器的检测区域的方式，进行所述各部的控制。基于检测器的输出信号分别算出机械手中多个部分的位置。基于算出的多个部分的位置，判定机械手中的衬底的位置。
位置判定装置衬底方法

[发明专利]基板搬送装置、检测位置校正方法及基板处理装置-CN201711473933.2有效
发明人： 桑原丈二 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供能提高基板的搬送精度的基板搬送装置、检测位置校正方法及基板处理装置。检测坐标计算部在进行检测位置校正动作时和进行基板搬送动作时，计算在机械手的基准位置上放置的基准基板或基板的外周部的检测坐标。偏移量计算部在进行检测位置校正动作时，基于检测坐标和设计坐标计算多个检测器的偏移量。检测坐标修正部在进行基板搬送动作时，基于多个检测器的偏移量修正检测坐标；坐标信息修正部基于修正后的检测坐标修正坐标信息。移动控制部基于修正后的坐标信息来控制上下方向驱动电动机、水平方向驱动电动机及旋转方向驱动电动机，并控制上机械手进退用驱动电动机或下机械手进退用驱动电动机，以将基板从接收位置搬送到放置位置。
基板搬送装置检测位置校正方法处理

[发明专利]衬底处理装置及衬底搬送方法-CN202011254921.2在审
发明人： 桑原丈二;金山幸司 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2020-11-11 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种衬底处理装置及衬底搬送方法。第1处理区块具备配置在上下方向上的显影处理层及传递层。因此，传递层能够连结于传载区块。另外，传载区块的衬底搬送机构将衬底从衬底缓冲器的位于特定高度位置的缓冲部朝衬底缓冲器的位于其它高度位置的缓冲部搬送。因此，传递层只要进出于与传递层的高度对应的缓冲部即可。因此，能够使传递层精简化。另外，由于传递层配置在显影处理层的上下方向，所以能够减小占据面积。
衬底处理装置方法

[发明专利]衬底处理装置-CN202011123927.6在审
发明人： 桑原丈二 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2020-10-20 - 公布日： 2021-05-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种能够容易地确认是否按用户需要的规格构成的衬底处理装置。判别部(89)将来自相机(77)的机器信息与来自臂控制部(97)的检测位置信息进行比较，判别机器信息的位置信息与检测位置信息是否一致，以及将来自相机(77)的机器信息与用户规格信息存储部(87)的用户规格信息进行比较，判别机器信息与用户规格信息是否一致。当判别结果不一致时，报知部(91)发出警报。因此，能够根据报知部(91)有无发出警报来确认构成的正误，所以能够容易地确认是否按用户的规格构成。
衬底处理装置

[发明专利]衬底处理系统及衬底搬送方法-CN202010737435.X在审
发明人： 桑原丈二 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2020-07-28 - 公布日： 2021-03-05 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种衬底处理系统及衬底搬送方法。移载传送区块的衬底搬送机构能够对载置在载置台的载体取放衬底(W)。进而，衬底搬送机构在第1处理区块及第2处理区块的位于不同高度位置的例如2个处理层间搬送衬底(W)。因此，无须像现有技术那样在移载传送区块与处理区块之间设置用来使衬底在上下方向的2个处理层间移动的交接区块。因此能够抑制衬底处理系统的占据面积。
衬底处理系统方法

[发明专利]衬底处理系统及衬底搬送方法-CN202010620424.3在审
发明人： 桑原丈二 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2020-07-01 - 公布日： 2021-01-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种衬底处理系统及衬底搬送方法。例如ID区块、第1处理区块及第2处理区块以该顺序配置。为了将由第2处理区块处理过的衬底搬送到移载传送区块，虽然不利用第1处理区块进行处理，也必须通过第1处理区块。然而，第1处理区块及第2处理区块均连结于移载传送区块。因此，能够将衬底从第2处理区块直接搬送到移载传送区块而不经过第1处理区块。所以能够抑制产能降低。
衬底处理系统方法

[发明专利]衬底处理装置及衬底搬送方法-CN202010620693.X在审
发明人： 桑原丈二 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2020-07-01 - 公布日： 2021-01-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理装置的衬底搬送方法。2个处理区块不以堆积的方式配置，第1处理区块、ID区块、第2处理区块在水平方向上呈直线状连结。因此，能够抑制高度并增加处理层的个数。第1处理区块及第2处理区块分别直接连结于ID区块。因此，能够抑制通过处理区块却不进行衬底处理的步骤，由此，能够防止产能降低。另外，将2个处理区块均能够搬送衬底W的衬底缓冲区配置在2个处理区块的中间，因此能够减少衬底处理装置的占据面积。
衬底处理装置方法

[发明专利]衬底处理装置、载具搬送方法及载具缓冲装置-CN201911348442.4在审
发明人： 桑原丈二 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2019-12-24 - 公布日： 2020-08-07 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及一种衬底处理装置、载具搬送方法及载具缓冲装置。载具搬送机构(51)在2个开启机构(9、10)的载置台(13)与多个载具保管架(53)之间搬送载具(C)。多个载具保管架(53)及载具搬送机构(51)分别搭载在第1处理块(3)之上。因此，也可以不像以往那样从装载块在水平方向上延长地设置多个载具保管架(53)及载具搬送机构(51)，能够削减在水平方向上延长的设置面积。即，能够减小衬底处理装置(1)的占据面积。
衬底处理装置载具搬送方法缓冲

[发明专利]衬底处理装置及衬底搬送方法-CN201911168674.1在审
发明人： 桑原丈二;金山幸司 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2019-11-25 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种衬底处理装置及该衬底的搬送方法。在第1ID块(2)设有载置台(13)，在第2ID块(4)设有载置台(74)。以往，仅在第1ID块(2)设有载具载置台。因此，在去路及返路这两条路径中，在第1ID块(2)与第2处理块(5)之间搬送衬底。根据本发明，在返路中，未将衬底移回到第1ID块(2)，而将衬底移回到配置在2个处理块(3、5)之间的第2ID块(4)。因此，在返路中，第1ID块(2)与第2ID块(4)之间的第1处理块(3)的搬送工序被削减。结果，能够提高衬底处理装置(1)整体的处理量。
衬底处理装置方法

[发明专利]衬底处理装置及衬底搬送方法-CN201911284037.0在审
发明人： 桑原丈二 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种衬底处理装置及衬底搬送方法。本发明的衬底处理装置依序配置着ID块(2)、涂布块(3)、显影块(4)及IF块(6)。在ID块(2)上设有载置台(13)，在IF块(6)上设有载置台(47)。以往，仅在ID块上设有载具载置台。因此，在去路及返路这两个路径中，在ID块与IF块之间搬送衬底。根据本发明，在返路中，将衬底(W)从IF块(6)搬送到显影块(4)之后，不搬送到涂布块(3)，而将衬底(W)从显影块(4)移回到IF块(6)。因此，由于在返路中，削减了利用涂布块(3)进行的搬送工序，结果，能够提高衬底处理装置(1)整体的处理量。
衬底处理装置方法

[发明专利]衬底处理装置及衬底搬送方法-CN201911285908.0在审
发明人： 桑原丈二 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种衬底处理装置及衬底搬送方法。在第1ID块(2)上设有载置台(13)，在第2ID块(4)上设有载置台(47)。以往，仅在第1ID块(2)上设有载具载置台。因此，在去路及返路这两个路径中，在第1ID块(2)与IF块(6)之间搬送衬底。根据本发明，在返路中，不将衬底从IF块(6)搬送到第1ID块(2)，而将衬底输送到配置在涂布块(3)及显影块(5)之间的第2ID块(4)。因此，在返路中，削减了由配置在第1ID块(2)与第2ID块(4)之间的涂布块(3)进行的搬送工序。结果，能够提高衬底处理装置(1)整体的处理量。
衬底处理装置方法

[发明专利]衬底处理装置及衬底搬送方法-CN201911260164.7在审
发明人： 桑原丈二;金山幸司 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2019-12-10 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种衬底处理装置及衬底搬送方法。第1 ID块(2)从载置在载置台(13)上的载具(C)取出衬底(W)，并将所取出的衬底(W)输送到6个处理层(3A～3F)中的任一个。另外，第2 ID块(4)例如将从处理层(3A)输送来的衬底(W)移回到载置在载置台(47)上的载具(C)。由此，第1 ID块(2)能够将较多的衬底(W)更迅速地搬送到配置在上下方向的6个处理层(3A～3F)。另外，同时，第2 ID块(4)能够将从配置在上下方向的6个处理层(3A～3F)输送来的多个衬底(W)更迅速地搬送到载具(C)。结果，能够提高衬底处理装置(1)的处理量。
衬底处理装置方法

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