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- [发明专利]硬掩模用组合物-CN201910406716.4在审
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金烔永;赵庸桓;崔汉永
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东友精细化工有限公司
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2019-05-16
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2020-02-28
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G03F7/11
- 本发明涉及一种硬掩模用组合物，其包含下述化学式1所表示的聚合物和溶剂，下述化学式1中，R1为取代或非取代的碳原子数6～40的芳基、取代或非取代的碳原子数6～40的杂芳基、或者取代或非取代的碳原子数1～4的烷基，R2为氢、羟基、取代或非取代的碳原子数6～40的芳基、或者取代或非取代的碳原子数6～40的杂芳基，R3为取代或非取代的碳原子数6～40的芳基、或者取代或非取代的碳原子数6～40的杂芳基，从而能够形成具有优异的耐蚀刻性、涂布性和耐化学性的硬掩模层。
- 硬掩模用组合
- [发明专利]粘接性组合物-CN202111239225.9在审
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山手太轨
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日本曹达株式会社
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2017-07-04
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2022-01-21
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C07C233/07
- 本发明的粘接性组合物含有具有源自式(I)Y‑N(Ar)(R)式(I)所示的聚合性化合物的重复单元的聚合物，式中，Ar表示无取代的或具有取代基的C6～C14的芳基、或者无取代的或具有取代基的C6～C10芳基R表示无取代的或具有取代基的C1～C6的烷基、无取代的或具有取代基的C3～C6环烷基、无取代的或具有取代基的C6～C14的芳基、或者无取代的或具有取代基的C6～C10芳基C1～C3烷基。其中，Ar上的取代基可以与R上的取代基一起形成二价有机基团。
- 粘接性组合
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