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[实用新型]一种单晶炉用低氧热场-CN202222739482.5有效
发明人：周瑶;王思林;王昱;方奇 -专利权人：安徽昱搏新材料科技有限公司
申请日： 2022-10-18 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： C30B27/02 文献下载
摘要：本实用新型属于低氧热场技术领域，尤其是一种单晶炉用低氧热场，包括导流筒和环形加热器，环形加热器内部设置有气流加速装置，气流加速装置包括用于气流加速的石英坩埚和异形环，氩气沿着石英坩埚的内壁向上后，沿着环形加热器的内外壁向下移动后受到异形环的阻碍使气流速度加快，该单晶炉用低氧热场，通过设置气流加速装置，氩气沿着石英坩埚的内壁向上，沿着环形加热器的内外壁向下移动后受到异形环的阻碍使氩气流出速度加快，带走更多一氧化硅，实现降低晶棒氧含量，解决了现有的单晶炉热场氩气流速慢，无法将挥发出来的一氧化硅快速从石英坩埚内排出，导致一氧化硅分凝进入单晶硅棒后使其氧含量增加的技术问题。
一种单晶炉用低氧

[实用新型]一种直拉单晶炉热场系统用的下反射板-CN201420083892.1有效
发明人：刘进;张波;周水生;董建明;罗晓斌;赵科巍;赵彩霞 -专利权人：山西潞安太阳能科技有限责任公司
申请日： 2014-02-27 - 公布日： 2014-07-23 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及单晶炉领域，具体是一种直拉单晶炉热场系统用的下反射板。一种直拉单晶炉热场系统用的下反射板，该反射板中间有托杆孔，该反射板为放置在9层碳毡上的圆饼，在该圆饼上的电极孔和辅助电极孔之间的一条直径的两端有两个排气孔，在一对辅助电极孔上各覆盖一块石墨板，在每块石墨板中间开一个绝缘陶瓷放置口本实用新型的有益效果是：在不影响产品质量的前提下，通过热场改造，降低发热件损耗或增强热场系统保温性能，以达到缩短等径时间、降低生产成本的目的。
一种直拉单晶炉热场系统反射

[实用新型]一种单晶炉热场缺口外部填充机构-CN201920009441.6有效
发明人：胡建荣;高宇;傅林坚;曹建伟;叶钢飞;倪军夫;王鹏飞;阮文星;春伟博 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2019-01-04 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及直拉硅单晶炉设备技术领域，尤其是涉及一种单晶炉热场缺口外部填充机构。包括安装机构及热场填充机构；安装机构设于直线运动机构上；安装机构包括安装座，安装座内部中空，内部沿水平方向设有一连接杆，安装座前端设有铰链结构与锁紧机构，外部套设有外壳体；连接杆前端连接热场填充机构，后端伸出安装座并与端盖相连，伸出部分外罩设有波纹管；波纹管前后端分别与外壳体和端盖相连；热场填充机构包括填充物，热场填充机构与铰链机构相连；直线运动机构为气动直线运动机构、丝杆直线运动机构或手动直线运动机构。本实用新型本实用新型可在不需要停炉的情况下实现热场缺口的填充，减低能耗，提高单晶硅生产品质。
直线运动机构填充机构热场安装座本实用新型安装机构波纹管连接杆外壳体端盖设备技术领域直拉硅单晶炉伸出单晶硅生产单晶炉热场填充物铰链机构铰链结构内部中空锁紧机构外部丝杆停炉外罩填充能耗

[实用新型]一种定位热场的炉底盘-CN202220291588.0有效
发明人：乃家旺;陈浩;李国华;刘忠琼;王旭东;张军;马自成 -专利权人：四川永祥光伏科技有限公司
申请日： 2022-02-14 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种定位热场的炉底盘，涉及单晶炉技术领域。本实用新型包括炉底盘本体，炉底盘本体上设有铜电极，热场底固毡设置于炉底盘本体上，热场底固毡上设有电极护套，铜电极外围的炉底盘本体上设有定位组件，所述定位组件具有与电极护套侧壁适配的定位部，所述电极护套与所述定位部接触实现与铜电极同轴
一种定位底盘

[发明专利]一种减少太阳能单晶硅热场系统能耗的方法及热场系统-CN200910264837.6无效
发明人：唐旭辉 -专利权人：江苏聚能硅业有限公司
申请日： 2009-12-24 - 公布日： 2011-06-29 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本发明揭示了一种减少太阳能单晶硅热场系统能耗的方法及热场系统，所述热场系统的下炉室的保温筒内底层设置有正面朝向加热器中心的反射板，这样可以促进热能的集中使用；另外，下炉室的保温筒的内底层和外地层均铺垫有均匀分布的碳毡，可促进炉室的保温，降低了热场系统的能耗。
一种减少太阳能单晶硅系统能耗方法

[发明专利]生长大尺寸蓝宝石单晶板材的单晶炉热场结构及方法-CN202210653098.5有效
发明人：安希超;褚春波;李佳伟 -专利权人：太原彩源新材料科技有限公司
申请日： 2022-06-10 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： C30B29/20 文献下载
摘要：本发明涉及蓝宝石单晶板材制备技术，具体涉及一种生长大尺寸蓝宝石单晶板材的单晶炉热场结构及方法，解决蓝宝石制备中最后形态为大尺寸板材状的问题。生长大尺寸蓝宝石单晶板材的单晶炉热场结构及方法，包括保温箱、坩埚组、坩埚托板、支撑杆、导热杆、导热杆电机、加热体、电极、电极连接杆、坩埚盖，保温箱内设有加热体，坩埚组位于加热体之间，坩埚组包含平板形坩埚该热场温度梯度合理、温场稳定、保温效果良好，能够生产大尺寸蓝宝石板材，确保晶体的高质量。
生长尺寸蓝宝石板材单晶炉热场结构方法

[实用新型]一种低功耗硅单晶生长热场装置-CN201020291768.6有效
发明人：邹攀;赵能伟;傅志斌;黄伟冬 -专利权人：江西赛维LDK太阳能高科技有限公司
申请日： 2010-08-13 - 公布日： 2011-06-29 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于光伏或半导体领域的硅单晶制造设备，尤其涉及一种用于CZ法直拉硅单晶生长的节能热场装置。该装置主要包括单晶炉壁(1)、保温装置(2)、单晶炉底板(3)、保温碳毡(4)、热场底板(5)、石英护套(6)、石墨护套(7)，其特征在于：在保温装置中增加了定位环(8)和支撑座(9)。通过本实用新型提供的定位环(8)和支撑座(9)不仅能够保证加热体与保温部件之间距离的均一性和对中性，同时也实现了单晶炉底板(3)和热场底板(5)之间的点接触，从而减少了两者之间直接面接触造成的热量流失，
一种功耗硅单晶生长装置

[发明专利]一种可提高单晶炉生长速度的冷却装置-CN201110062659.6无效
发明人：张志强;黄振飞 -专利权人：常州天合光能有限公司
申请日： 2011-03-16 - 公布日： 2011-06-22 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明涉及太阳能单晶炉热场技术领域，特别是一种可提高单晶炉生长速度的冷却装置，包括冷却器，冷却器为具有锥度的筒状，设置在热屏内侧。冷却器和紧贴热屏内侧，和热屏内侧具有相同的锥度。冷却器通过连接管连接到炉筒上，冷却器的冷却介质进出口均设置在炉筒上，冷却介质通过冷却介质进出口并沿连接管进入冷却器进行冷却。炉筒为一段独立的副炉筒。冷却介质进出口上设置流量调节阀。本冷却装置结构设计合理，杜绝了冷却介质与冷却器之间的传递过程存在泄漏的可能，而且在热场中采用本冷却装置后强化对晶棒的冷却效果，从而增强晶棒纵向温度梯度，提高硅单晶的生长速度，达到快速生长单晶硅棒的目的。
一种提高单晶炉生长速度冷却装置

[发明专利]一种热炉内用于直拉单晶时的液面定位装置-CN201710459529.3在审
发明人：刘伟;王岩;尚伟泽;王军磊;武志军;刘学;张全顺;张文霞 -专利权人：内蒙古中环光伏材料有限公司
申请日： 2017-06-16 - 公布日： 2017-09-08 - 主分类号： C30B15/20 文献下载
摘要：本发明创造提供了一种热炉内用于直拉单晶时的液面定位装置，所述热炉内设有热场结构，该热场结构包括导流筒、坩埚、固定导流筒的支撑板及控制坩埚位置的举升机构，所述液面定位装置和热场结构绝缘设置，包括设置在热炉外的控制平台本发明创造所述的一种热炉内用于直拉单晶时的液面定位装置，结构简单，制造成本交低，通过本装置，保证单晶硅稳定化时的液面位置一致性、可控性，同时由于本装置为自动调整，因此提高了安全性能。
一种热炉内用于直拉单晶时液面定位装置

[实用新型]一种热炉内用于直拉单晶时的液面定位装置-CN201720705151.6有效
发明人：刘伟;王岩;尚伟泽;王军磊;武志军;刘学;张全顺;张文霞 -专利权人：内蒙古中环光伏材料有限公司
申请日： 2017-06-16 - 公布日： 2018-03-23 - 主分类号： C30B15/20 文献下载
摘要：本实用新型创造提供了一种热炉内用于直拉单晶时的液面定位装置，所述热炉内设有热场结构，该热场结构包括导流筒、坩埚、固定导流筒的支撑板及控制坩埚位置的举升机构，所述液面定位装置和热场结构绝缘设置，包括设置在热炉外的控制平台本实用新型创造所述的一种热炉内用于直拉单晶时的液面定位装置，结构简单，制造成本交低，通过本装置，保证单晶硅稳定化时的液面位置一致性、可控性，同时由于本装置为自动调整，因此提高了安全性能。
一种热炉内用于直拉单晶时液面定位装置

[发明专利]热屏组件及单晶提拉炉热场结构-CN201610728299.1在审
发明人：邓先亮;赵向阳;陈强 -专利权人：上海新昇半导体科技有限公司
申请日： 2016-08-25 - 公布日： 2018-03-09 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本发明提供一种热屏组件及单晶提拉炉热场结构，所述热屏组件包括热屏及位于所述热屏外围的排气管。本发明的热屏组件通过在热屏的外围设置一组排气管，将所述热屏组件用于单晶提拉炉热场结构时，所述排气管可以作为新增的氩气出口，可以改变氩气在热场结构内流动的路径，使得氩气在热场结构内不易形成涡旋。同时可以将从熔体中挥发的SiO及时排出，减少氩气流中的SiO进入熔体及与坩埚下方的高温石墨元件反应，从而延长各石墨组件的使用寿命，降低晶体中的氧含量和碳含量，并降低长晶结束后清炉的难度；同时，所述热屏组件还可以通过改变排气管中的流速，调节热屏附近的温度梯度。
组件单晶提拉炉热场结构

[实用新型]一种单晶炉中保温支撑装置-CN201821400831.8有效
发明人：王建平;高兵 -专利权人：内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司
申请日： 2018-08-29 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种单晶炉中保温支撑装置，包括固定部、连接部和调节部，固定部与单晶炉炉筒连接，连接部一端与固定部连接，连接部另一端与调节部连接，调节部与连接部均与中保温桶支撑环接触。本实用新型的有益效果是使得单晶炉中保温支撑装置结构简单，耐用不易损坏，采用分体式结构，便于拆卸维修，且调节部的设置，便于中保温筒在热场中对中，保证中保温筒在热场中同心同轴，对中可靠。
单晶炉保温支撑固定部本实用新型保温筒热场分体式结构便于拆卸同心同轴装置结构保温桶支撑环炉筒维修保证

[发明专利]一种单晶炉热场结构、单晶炉及晶棒-CN202010505348.1在审
发明人：毛勤虎;沈福哲;其他发明人请求不公开姓名 -专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请日： 2020-06-05 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本发明提供一种单晶炉热场结构、单晶炉及晶棒，其特征在于，包括：炉体，所述炉体的内部中央设有坩埚；侧部加热器，所述侧部加热器设置于所述坩埚外围；导流组件，所述导流组件设置于所述侧部加热器和所述坩埚之间，用于与所述坩埚的外壁形成气体流动通道以将气体排出所述炉体外根据本发明实施例的单晶炉热场结构，可以通过形成的气体流动通道对通入单晶炉内的气体进行引导排出炉外，以对炉内的加热器进行隔离保护，避免气体中裹挟的一氧化硅对加热器造成损坏，从而提高炉内加热器的使用寿命、确保加热器的正常工作
一种单晶炉热场结构单晶炉

[发明专利]一种单晶炉参数自动调节的工艺方法-CN202111605785.1在审
发明人：赵国伟 -专利权人：内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司
申请日： 2021-12-25 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： C30B15/20 文献下载
摘要：本发明提供一种单晶炉参数自动调节的工艺方法，包括，设定剩料重量参考值；获取在拉晶过程中坩埚内剩料重量实际值；根据剩料重量参考值和剩料实际值，计算减重比；根据减重比，计算执行系数；根据执行系数，计算热场温度的变化量，控制拉晶过程中热场温度。本发明的有益效果是以不同剩料重量为依据自动调节参数，保证单晶拉制后期单晶炉内温度一致，无需调节，减少单晶尾部因温度不适造成的品质缺陷及断苞现象，提高单晶品质、增加产出。
一种单晶炉参数自动调节工艺方法

[发明专利]一种固定大尺寸单晶炉热场的支架结构-CN201810376647.2在审
发明人：左洪波;杨鑫宏;李铁;周德印 -专利权人：哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司
申请日： 2018-04-25 - 公布日： 2018-07-13 - 主分类号： C30B17/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种固定蓝宝石单晶炉热场的支架结构，该结构整体由上部圆形支撑板结构、下部圆形支撑板结构和中间连接结构组成。本发明支架结构可以将单晶炉内的热场结构固定，避免热场结构在高温情况下发生形变和位移，致使热场不对称，防止晶体出现粘埚及其它缺陷，更利于大尺寸、高品质蓝宝石单晶的生长。
圆形支撑板支架结构不锈钢圆管蓝宝石单晶热场结构中间连接炉热大尺寸单晶圆形不锈钢不锈钢板倒角设计结构整体结构组成内外两层不对称单晶炉高品质圆筒状形变热场焊接生长支撑