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[实用新型]准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构-CN201320463213.9有效
发明人：水川;许柏 -专利权人：安徽大晟新能源设备科技有限公司
申请日： 2013-08-01 - 公布日： 2014-01-08 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构，包括上保温体、下保温体、侧发热体、上发热体、石墨平台、石英坩埚、坩埚护板和坩埚盖板，所述石墨平台底部设有下发热体，所述下发热体、石墨平台与升降立柱连接本实用新型结构合理，形成了一个动态六面热场，六面式热场加热方式采用上、下发热体和一组侧面发热体，三组发热体均可独立控制，整个热场横向温度梯度小，熔化硅料时间短，提高单晶率，缩短工艺周期，提高了设备的生产效率
准单晶铸锭保温体六面式热场结构

[实用新型]单晶炉拉晶热场结构及单晶炉-CN202321220004.1有效
发明人：王新强;周涛 -专利权人：双良硅材料（包头）有限公司
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶炉拉晶热场结构，包括水冷屏和导流筒，所述导流筒套设在所述水冷屏的外侧，所述导流筒包括保温材料层和外导流筒，所述保温材料层包裹在所述水冷屏的外侧，所述外导流筒包设在所述保温材料层外侧本实用新型的单晶炉拉晶热场结构，提高了所述导流筒的保温性能，减少了水冷屏从炉内带走的热量，屏口距一定，提高了拉晶工艺的通配性，提高了产量。本实用新型还提供了一种单晶炉。
单晶炉拉晶热场结构单晶炉

[实用新型]直拉单晶炉热场装置-CN201220614909.2有效
发明人：李定武;周锐;李侨 -专利权人：西安隆基硅材料股份有限公司;无锡隆基硅材料有限公司;宁夏隆基硅材料有限公司;银川隆基硅材料有限公司
申请日： 2012-11-19 - 公布日： 2013-06-19 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：一种直拉单晶炉热场装置，包括炉体及设置于炉体内部的坩埚、加热器及保温机构，加热器及保温机构依次环绕坩埚设置，还包括与炉体外部相连通的排气机构，排气机构嵌设于保温机构内。本实用新型直拉单晶炉热场装置在保温机构内嵌设排气机构，避免了挥发物聚集，降低了晶体中氧含量，可减少碳扩散入晶体中；减少了挥发物对热场部件的侵蚀，延长了热场部件的使用寿命，避免了挥发物因受冷沉积于排出路径
直拉单晶炉热场装置

[发明专利]具有多个均布向下的排气管道的直拉式硅单晶炉热场-CN201110189217.8有效
发明人：曹建伟;傅林坚;石刚;叶欣;邱敏秀 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司;杭州慧翔电液技术开发有限公司
申请日： 2011-07-06 - 公布日： 2012-01-11 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明涉及直拉式硅单晶炉中的热场结构技术，旨在提供一种具有多个均布向下的排气管道的直拉式硅单晶炉热场。在热场底部的圆周上均匀分布至少3个用于排出废气的排气管道，每个排气管道均具备以下结构：由导气横管、导气竖管和石英管依次连接组成，导气横管和导气竖管为石墨件；导气横管与导气竖管呈90°直角相接，且以平面接触方式配合；导气竖管与石英管相互对接，且以环形凸台方式配合；石英管与炉底板的排气孔以环形凸台方式配合。以上因素都有利于提高硅单晶生长的成晶率。
具有多个均布向下排气管道直拉式硅单晶炉热场

[实用新型]能够测量熔硅液面与导流筒之间距离的单晶炉热场装置-CN201120239884.8有效
发明人：张俊;曹建伟;严绍军;邱敏秀 -专利权人：杭州慧翔电液技术开发有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2011-07-07 - 公布日： 2012-04-25 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及直拉式硅单晶炉中的热场结构技术，旨在提供一种能够测量熔硅液面与导流筒之间距离的单晶炉热场装置。，该石英棒相对于通孔的位置变化使其能具备下述两种状态：(1)石英棒的下部末端垂直向下伸出内导流筒或外导流筒的下沿以作为测量距离的标尺；或(2)石英棒的下部末端收回至内导流筒或外导流筒的最下缘之上以便于单晶炉热场装置的移动
能够测量液面导流之间距离单晶炉热场装置

[实用新型]具有多个均布向下的排气管道的直拉式硅单晶炉热场-CN201120234885.3有效
发明人：曹建伟;傅林坚;石刚;叶欣;邱敏秀 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司;杭州慧翔电液技术开发有限公司
申请日： 2011-07-06 - 公布日： 2012-04-25 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及直拉式硅单晶炉中的热场结构技术，旨在提供一种具有多个均布向下的排气管道的直拉式硅单晶炉热场。在热场底部的圆周上均匀分布至少3个用于排出废气的排气管道，每个排气管道均具备以下结构：由导气横管、导气竖管和石英管依次连接组成，导气横管和导气竖管为石墨件；导气横管与导气竖管呈90°直角相接，且以平面接触方式配合；导气竖管与石英管相互对接，且以环形凸台方式配合；石英管与炉底板的排气孔以环形凸台方式配合。以上因素都有利于提高硅单晶生长的成晶率。
具有多个均布向下排气管道直拉式硅单晶炉热场

[实用新型]一种单晶炉热场-CN201020630751.9有效
发明人：黄东;邢国强;吕亭;陶龙忠 -专利权人：奥特斯维能源（太仓）有限公司
申请日： 2010-11-30 - 公布日： 2011-09-21 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶炉热场，它包括：炉腔、大盖、导流筒、加热器、保温筒、炉底压片层，所述炉腔内炉底压片层由硬毡层和软毡层混合叠加而成。本实用新型有效的提高了单晶炉内热能的利用率，减少了热能的损失，有效的降低了拉晶的功率，提高了整棒率和成晶率。
一种单晶炉热场

[实用新型]一种单晶硅炉的温场稳定装置-CN200920147956.9在审
发明人：冯焕培;朱仁德;刘旭峰 -专利权人：北京京运通硅材料设备有限公司
申请日： 2009-04-01 - 公布日： 2010-06-09 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本实用新型属于一种单晶硅炉温场的稳定装置，在生产大直径单晶硅棒的制备过程中，采用在原加热器的底部增加一个散射状圆盘加热器装置，通过辐射使单晶炉内需要形成一个温度变化在5~10℃相对稳定的热场；本实用新型改变晶体制备过程中产生温场轴向温度梯度过大
一种单晶硅稳定装置

[实用新型]一种软轴单晶炉快速拆装的热场结构-CN202220086343.4有效
发明人：马幼学;关树军;张宇辉;王楠;任杰 -专利权人：乌海市京运通新材料科技有限公司
申请日： 2022-01-13 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及单晶硅生产领域，公开了一种软轴单晶炉快速拆装的热场结构，包括炉体，所述炉体上部设置有炉盖，所述炉盖下侧外周固定连接有上翼环，所述炉体上部外周固定连接有下翼环，所述下翼环左右两侧均转动连接有螺纹杆本实用新型中，通过驱动减速电机，快速、省力的打开热场，对内部的热场结构进行维修，通过驱动伺服电机，使得支撑杆带动托盘上下移动，方便根据生产工艺对坩埚的高度进行调整。
一种软轴单晶炉快速拆装结构

[实用新型]一种泡生法单晶炉热场中的可调节保温结构-CN201520410072.3有效
发明人：左洪波;杨鑫宏;张学军;李铁 -专利权人：哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司
申请日： 2015-06-15 - 公布日： 2015-12-16 - 主分类号： C30B17/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种泡生法单晶炉热场中的可调节保温结构，它包括小炉盖、大炉盖、电极连接板、加热体、上部保温结构、侧面保温结构及底部保温结构，小炉盖设置在大炉盖上方，电极连接板连接加热体，上部保温结构、侧面保温结构及底部保温结构分别设置在加热体四周，加热体与侧面保温结构之间靠近加热体位置设置有可旋转保温层，大炉盖上设置有圆环形滑道，可旋转保温层通过连接件固定在圆环形滑道上。本实用新型针对热场可能由于各种原因引起侧面某一方位热量散失过快，导致冷心偏离轴心的现象，对单晶炉侧面保温结构进行调整，在靠近加热体位置增加了一个可旋转保温层，以减小散热过快方向的热量损失，形成均匀对称的温场
一种泡生法单晶炉热场中的调节保温结构

[实用新型]节能用单晶炉保温热场-CN201120270328.7有效
发明人：葛相麟;周帆;周静 -专利权人：江苏兆晶光电科技发展有限公司
申请日： 2011-07-28 - 公布日： 2012-03-14 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及单晶炉技术领域，尤其涉及一种节能用单晶炉保温热场，包括设置在单晶炉炉体内壁处的保温筒，保温筒内圈设有加热器，加热器的内腔设有由埚杆支撑的坩埚，坩埚与埚杆之间安装有贴于坩埚底面的埚托，加热器的底部还安装有反射板本实用新型的节能用单晶炉保温热场由于在加热器底部增加了反射板，保证加热器的温度不向下散发，增加了底部的保温效果，增强了热场整体的保温性能，安装反射板后的平均拉晶功率由原来的65kw/h降至50～55kw
节能用单晶炉保温热

[发明专利]直拉单晶炉水冷屏装置及单晶炉-CN202111639257.8在审
发明人：丁亚国;李玲玲;梁万亮;马国忠;顾燕滨 -专利权人：宁夏申和新材料科技有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种直拉单晶炉水冷屏装置，属于提高晶棒收率工艺的技术领域，所述水冷屏的侧壁与单晶炉的中轴线夹角为15°/2‑20°，当水冷屏与单晶炉的中轴线夹角为15°/2‑20°时，使得整个热场的温度得到改变
直拉单晶炉水冷装置单晶炉

[发明专利]一种单晶炉连续投料输送机构-CN201811553599.6在审
发明人：胡建荣;高宇;傅林坚;曹建伟;叶钢飞;倪军夫;王鹏飞;阮文星;春伟博 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2018-12-19 - 公布日： 2019-03-08 - 主分类号： C30B15/02 文献下载
摘要：本发明涉及直拉硅单晶炉设备技术领域，尤其是涉及一种单晶炉连续投料输送机构。包括主炉室，主炉室内设有热场保温桶，热场保温桶内装设有石英坩埚；主炉室和热场保温桶侧壁上设有投料口。主炉室侧壁投料口处设有阀门；投料机构包括圆筒状的外壳体，外壳体前端设有波纹管用于连接阀门；外壳体内部前侧设有输料管，输料管下方的外壳体内设有支撑装置；外壳体底部后侧设有直线运动机构，直线运动机构上设有旋转机构安装板
旋转机构石英坩埚保温桶输料管主炉室热场直线运动机构进料装置连续投料输送机构安装板单晶炉投料口外壳体侧壁设备技术领域有效降低成本直拉硅单晶炉外壳体前端多晶硅料连接阀门生产效率投料机构支撑装置波纹管侧端口体内部圆筒状阀门硅液内装主炉体内室内

[实用新型]带支撑环的单晶炉热场-CN201220025219.3有效
发明人：吴学军;周凯平 -专利权人：宁夏日晶新能源装备股份有限公司
申请日： 2012-01-19 - 公布日： 2013-01-02 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：带支撑环的单晶炉热场属于冶炼机电技术领域，特别涉及单晶硅热场带支撑环的升降机构；热场零件安装在中炉体和下炉体内外筒体之间的空腔内；支撑环为石墨件，它的下端面由支撑块支撑，支撑块通过螺钉固定在中炉体的下法兰上
支撑单晶炉热场

[实用新型]一种单晶炉导流筒及提升装置-CN202122007322.7有效
发明人：史慧敏;贾海洋;周宏邦;张强;王淼;王立刚;娄中士 -专利权人：内蒙古中环领先半导体材料有限公司;中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2021-08-25 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种单晶炉导流筒及提升装置，包括导流筒和设置于导流筒上方的炉盖；所述导流筒用于单晶炉热场的保温隔热，所述炉盖用于阻隔热气的散出，以及还包括：软轴和设置于所述软轴上端的提升机构，所述提升机构用于牵拉所述软轴本实用新型的有益效果是：使用导流筒提升软轴代替传统的导流筒提升杆，不再需要对导流筒提升盖板打孔，也无需在保温盖上开设定位孔，避免了提升过程中位置不对准导致的导流筒定位错误，同时也避免了导流筒提升杆限重后对热场件的挤压，防止热场件损坏，软轴在导流筒限重后自然弯曲，不会对晶体生长造成影响。
一种单晶炉导流提升装置