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- [实用新型]一种单晶炉用热场-CN202122514136.2有效
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王培业;吴超慧
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宇泽半导体（云南）有限公司
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2021-10-19
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2022-06-14
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C30B15/14
- 本实用新型公开了一种单晶炉用热场，属于单晶生产设备技术领域。它包括上盖；保温筒，其连接于上盖下方，保温筒自上而下依次包括上保温筒、中保温筒和下保温筒，中保温筒和下保温筒外径相同；炉底，其连接于保温筒下方；保温筒内设有埚帮；中保温筒与埚帮间设有加热器圈；还包括中保支撑环本实用新型中保支撑环的结构设置能在单晶发生打火导致加热器脚断裂时，对掉落的加热器圈提供有效支撑，避免其掉落损坏及砸坏单晶其他热场，减少热场在事故中的损耗，增加热场的使用寿命，具有结构简单、设计合理、易于制造的优点
- 一种单晶炉用热场
- [实用新型]一种单晶炉热场系统-CN202320659374.9有效
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尹燕刚;黄鸣
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北京北方华创真空技术有限公司
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2023-03-29
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2023-08-01
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C30B15/00
- 本申请涉及一种单晶炉热场系统，涉及单晶制造设备技术领域，一种单晶炉热场系统包括上炉盖、下炉体和潜望CCD，上炉盖的顶端开设有供晶棒提升的出料孔，潜望CCD倾斜设置在上炉盖上且朝向上炉盖与下炉体组成的内部空腔，潜望CCD位于上炉盖的顶端中部且位于出料孔的一侧位置，下炉体内设置有导流筒和保温组件，导流筒内设置有用于冷却晶棒的水冷屏。本申请中潜望CCD的安装位置靠近上炉盖的正中心位置，能够减少与导流筒以及保温组件的干涉，从而使得导流筒可以做得更长，有利于提高炉内的温度梯度，相应的，保温组件可以加厚，提高保温效果，增加提拉速率。
- 一种单晶炉热场系统
- [实用新型]一种直拉单晶炉用热场-CN201120055890.8有效
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钮应喜;张志强;黄振飞
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常州天合光能有限公司
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2011-03-05
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2011-10-05
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C30B15/00
- 本实用新型涉及一种直拉单晶炉用热场，热场从上到下，有上保温盖，上保温层，热屏支撑环和保温筒，保温筒分为上保温筒、中保温筒和下保温筒，热场底部具有底部保温层，热场中心设有支承轴，支承轴上具有坩埚托盘，坩埚托盘上依次是碳碳坩埚和石英坩埚，保温筒和碳碳坩埚之间设有加热器，热屏支撑环连接有热屏，热屏为内外两层，中间有碳毡隔热层，上保温层的厚度为20～40mm，上保温筒内径与加热器内径之间的距离5～10mm，底部保温层厚度为100～140mm本方案通过优化热屏的结构和调整底部保温结构，来改善单晶炉的保温效果，改善热场分布，从而降低能量消耗，本方案相比现有热场能耗降低了30％左右，同时长晶速度也提高了20％。
- 一种直拉单晶炉用热场
- [发明专利]一种热场供热稳定的单晶炉-CN201910121318.8有效
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不公告发明人
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博兴战新产业发展有限公司
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2019-02-19
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2020-12-15
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C30B15/14
- 本发明涉及光伏领域技术领域，且公开了一种热场供热稳定的单晶炉，包括加热系统、水冷却系统和隔离系统，加热系统包括用于加热的加热圈，所述加热圈的内圈活动套装有在初始状态下等高的石英坩埚，所述加热圈的高度与石英坩埚的高度值相同该热场供热稳定的单晶炉，当轴杆进入加热圈内圈的内部，稳定轴承随轴杆上升，使得转轴逐步挤压软管，最终使得两个软管同步断流，从而隔绝了水冷却法兰对轴杆进行加热，使得轴杆的中部失却了降温系统，降低了冷却系统的负担，同时轴杆的热传导效应不明显，控温系统无需根据单晶炉内部温差变化而进行持续供热，降低了加热系统所需的能耗，节约了整个单晶炉所需的能耗。
- 一种供热稳定单晶炉
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