[实用新型]一种单晶炉热场缺口外部填充机构有效
| 申请号： | 201920009441.6 | 申请日： | 2019-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN209836365U | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 胡建荣;高宇;傅林坚;曹建伟;叶钢飞;倪军夫;王鹏飞;阮文星;春伟博 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 33212 杭州中成专利事务所有限公司 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及直拉硅单晶炉设备技术领域，尤其是涉及一种单晶炉热场缺口外部填充机构。包括安装机构及热场填充机构；安装机构设于直线运动机构上；安装机构包括安装座，安装座内部中空，内部沿水平方向设有一连接杆，安装座前端设有铰链结构与锁紧机构，外部套设有外壳体；连接杆前端连接热场填充机构，后端伸出安装座并与端盖相连，伸出部分外罩设有波纹管；波纹管前后端分别与外壳体和端盖相连；热场填充机构包括填充物，热场填充机构与铰链机构相连；直线运动机构为气动直线运动机构、丝杆直线运动机构或手动直线运动机构。本实用新型本实用新型可在不需要停炉的情况下实现热场缺口的填充，减低能耗，提高单晶硅生产品质。 | ||
| 搜索关键词： | 直线运动机构 填充机构 热场 安装座 本实用新型 安装机构 波纹管 连接杆 外壳体 端盖 设备技术领域 直拉硅单晶炉 伸出 单晶硅生产 单晶炉热场 填充物 铰链机构 铰链结构 内部中空 锁紧机构 外部 丝杆 停炉 外罩 填充 能耗 | ||
【主权项】：
1.一种单晶炉热场缺口外部填充机构，其特征在于，包括安装机构及热场填充机构；/n所述安装机构设于直线运动机构上；安装机构包括安装座，安装座内部中空，内部沿水平方向设有一连接杆，安装座前端设有铰链机构与锁紧机构，外部套设有外壳体；所述连接杆前端连接热场填充机构，后端伸出安装座并与端盖相连，伸出部分外罩设有波纹管；波纹管前后端分别与外壳体和端盖相连；/n所述热场填充机构包括填充物，热场填充机构与所述铰链机构相连；/n所述直线运动机构为气动直线运动机构、丝杆直线运动机构或手动直线运动机构。/n
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